公开(公告)号：CN110673240B

公开(公告)日：2021-01-01

申请号：CN201911090081.8

申请日：2019-11-08

Applicant: 厦门大学

Inventor： 王凌云 ,  黄翔 ,  金航 ,  林四英 ,  林志鸿

IPC: G02B3/14

Abstract: 一种带有S型流道的电流体驱动可变焦液体透镜，涉及微光学。设有成像腔室、驱动腔室、驱动腔盖板、透镜上下盖板、侧盖板、弹性薄膜、电流体、E形电极；成像腔室内填充绝缘透明液体，透镜上盖板固接成像腔室上表面，透明下盖板紧固于成像腔室下表面；上盖板弹性薄膜贴合并紧固于透镜上盖板的圆孔处；驱动腔室内设有两个E形电极构成的“S”型流道，电流体填充于“S”型流道内，驱动腔盖板设于两个E形电极上表面，驱动腔盖板上表面固接上置磁铁，驱动腔室下表面固接下置磁铁，驱动腔室一侧设方形凹槽，侧盖板中心与方形凹槽配合固接，侧盖板弹性薄膜贴合固接于侧盖板通孔处；驱动腔室与成像腔室间通过内部流道连接。结构简单、操作方便。

公开(公告)号：CN110673240A

公开(公告)日：2020-01-10

申请号：CN201911090081.8

申请日：2019-11-08

Applicant: 厦门大学

Inventor： 王凌云 ,  黄翔 ,  金航 ,  林四英 ,  林志鸿

IPC: G02B3/14

Abstract: 一种带有S型流道的电流体驱动可变焦液体透镜，涉及微光学。设有成像腔室、驱动腔室、驱动腔盖板、透镜上下盖板、侧盖板、弹性薄膜、电流体、E形电极；成像腔室内填充绝缘透明液体，透镜上盖板固接成像腔室上表面，透明下盖板紧固于成像腔室下表面；上盖板弹性薄膜贴合并紧固于透镜上盖板的圆孔处；驱动腔室内设有两个E形电极构成的“S”型流道，电流体填充于“S”型流道内，驱动腔盖板设于两个E形电极上表面，驱动腔盖板上表面固接上置磁铁，驱动腔室下表面固接下置磁铁，驱动腔室一侧设方形凹槽，侧盖板中心与方形凹槽配合固接，侧盖板弹性薄膜贴合固接于侧盖板通孔处；驱动腔室与成像腔室间通过内部流道连接。结构简单、操作方便。

公开(公告)号：CN109896497A

公开(公告)日：2019-06-18

申请号：CN201910097427.0

申请日：2019-01-31

Applicant: 厦门大学

Inventor： 王凌云 ,  林志鸿 ,  卜振翔

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 一种面向MEMS封装的纳米玻璃粉回流工艺，涉及一种纳米玻璃粉的回流工艺。硅微腔刻蚀；纳米玻璃粉填充；纳米玻璃粉热熔回流；硅盖帽与MEMS器件基底键合。采用纳米玻璃粉代替块状玻璃进行玻璃回流工艺，能够有效的解决玻璃块与硅需要进行复杂的键合、玻璃回流时间长、易形成晶体、腔体边缘填充不足或内部容易形成空腔无法满足真空度要求等缺点，采用该工艺回流后的玻璃还能够具有商用玻璃的优良特性。此外，该工艺便捷高效，易于推广。