公开(公告)号：CN114334756A

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202210057723.X

申请日：2022-01-19

Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司

Inventor： 林志园 ,  洪金居 ,  梁基麟 ,  陈龙 ,  陈乐 ,  崔恒平 ,  蔡玉梅 ,  蔡海防

IPC: H01L21/673 ,  H01L21/687 ,  H01L33/00 ,  C23C14/02 ,  C23C14/06 ,  C23C14/24 ,  C23C14/50

Abstract: 本发明提供了一种用于LED晶圆制程的装置，包括载盘和压环，载盘侧面为倾斜面，载盘侧面与晶圆放置面形成载盘倾斜角，压环用于固定载盘，压环定位角用于定位载盘倾斜角，压片部用于压住载盘边缘。本发明设置压环定位角与载盘倾斜角的形状、角度相匹配，在适当增大载盘尺寸的同时，既避免载盘过大导致压环无法压住载盘的问题，使机台能正常工作，又能避免制程时传入到腔室内，载盘与压环产生摩擦过程中，载盘易偏离压环的固定，可有效保证载盘的寿命和晶圆加工良率，实现稳定规模化量产。

公开(公告)号：CN216624228U

公开(公告)日：2022-05-27

申请号：CN202220133938.0

申请日：2022-01-19

Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司

Inventor： 林志园 ,  洪金居 ,  梁基麟 ,  陈龙 ,  陈乐 ,  崔恒平 ,  蔡玉梅 ,  蔡海防

IPC: H01L21/673 ,  H01L21/687 ,  H01L33/00 ,  C23C14/02 ,  C23C14/06 ,  C23C14/24 ,  C23C14/50

Abstract: 本实用新型提供了一种用于LED晶圆制程的装置，包括载盘和压环，载盘侧面为倾斜面，载盘侧面与晶圆放置面形成载盘倾斜角，压环用于固定载盘，压环定位角用于定位载盘倾斜角，压片部用于压住载盘边缘。本实用新型设置压环定位角与载盘倾斜角的形状、角度相匹配，在适当增大载盘尺寸的同时，既避免载盘过大导致压环无法压住载盘的问题，使机台能正常工作，又能避免制程时传入到腔室内，载盘与压环产生摩擦过程中，载盘易偏离压环的固定，可有效保证载盘的寿命和晶圆加工良率，实现稳定规模化量产。