-
公开(公告)号：CN104267495B
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201410453043.5
申请日：2009-10-06
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G03F7/70116 , G02B26/0841 , G02B27/0043 , G03B27/72 , G03F7/70075 , G03F7/702 , G03F7/70525
Abstract: 微光刻投射曝光设备的照明系统(10)中的微反射镜阵列(22)的微反射镜(24)，可关于两个倾斜轴(x、y)通过各倾斜角度(αx、αy)倾斜。微反射镜(24)被分配三个驱动器(E1、E2、E3)，所述三个驱动器可以通过控制信号(U1、U2、U3)被分别驱动，从而使得微反射镜(24)关于所述两个倾斜轴(x、y)倾斜。规定两个控制变量(SGx、SGy)，其每个被分配给一个倾斜轴(x、y)且其两者被分配给未被干扰的倾斜角度(αx、αy)。对于两个控制变量(SGx、SGy)的任何希望的组合，根据两个控制变量(SGx、SGy)，选择三个驱动器中的一个驱动器(E1)并将其控制信号(U1)设为常数值，具体地0。确定控制信号(U1、U2、U3)，使得当控制信号(U1、U2、U3)被施加到其它两个驱动器(E2、E3)时，微反射镜(24)根据两个控制变量(SGx、SGy)采用未被干扰倾斜角度(αx、αy)。
-
公开(公告)号：CN105045045B
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201510317621.7
申请日：2008-12-19
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
Inventor： 简.霍恩 , 克里斯琴.肯普特 , 沃尔夫冈.法洛特-伯格哈特
IPC: G03F7/20
Abstract: 微光刻投射曝光设备的照明系统表现了布置为多镜阵列且能够经由至少一个驱动器倾斜的镜。此外，照明系统表现了用于该镜的驱动电子装置，该驱动电子装置表现了具有第一分辨率的粗数模转换器(68)、具有第二分辨率的精数模转换器(70)，以及加法器(72)，第二分辨率高于第一分辨率，通过两个数模转换器(68、70)输出的输出量能够利用该加法器(72)相加以产生总量。该总量至少能够间接施加于该镜的至少一个驱动器。
-
公开(公告)号：CN104267495A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201410453043.5
申请日：2009-10-06
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G03F7/70116 , G02B26/0841 , G02B27/0043 , G03B27/72 , G03F7/70075 , G03F7/702 , G03F7/70525
Abstract: 微光刻投射曝光设备的照明系统(10)中的微反射镜阵列(22)的微反射镜(24)，可关于两个倾斜轴(x、y)通过各倾斜角度(αx、αy)倾斜。微反射镜(24)被分配三个驱动器(E1、E2、E3)，所述三个驱动器可以通过控制信号(U1、U2、U3)被分别驱动，从而使得微反射镜(24)关于所述两个倾斜轴(x、y)倾斜。规定两个控制变量(SGx、SGy)，其每个被分配给一个倾斜轴(x、y)且其两者被分配给未被干扰的倾斜角度(αx、αy)。对于两个控制变量(SGx、SGy)的任何希望的组合，根据两个控制变量(SGx、SGy)，选择三个驱动器中的一个驱动器(E1)并将其控制信号(U1)设为常数值，具体地0。确定控制信号(U1、U2、U3)，使得当控制信号(U1、U2、U3)被施加到其它两个驱动器(E2、E3)时，微反射镜(24)根据两个控制变量(SGx、SGy)采用未被干扰倾斜角度(αx、αy)。
-
公开(公告)号：CN103034075A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201210586425.6
申请日：2008-12-19
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
Inventor： 简.霍恩 , 克里斯琴.肯普特 , 沃尔夫冈.法洛特-伯格哈特
CPC classification number: G03F7/70116
Abstract: 微光刻投射曝光设备的照明系统表现了布置为多镜阵列且能够经由至少一个驱动器倾斜的镜。此外，照明系统表现了用于该镜的驱动电子装置，该驱动电子装置表现了具有第一分辨率的粗数模转换器(68)、具有第二分辨率的精数模转换器(70)，以及加法器(72)，第二分辨率高于第一分辨率，通过两个数模转换器(68、70)输出的输出量能够利用该加法器(72)相加以产生总量。该总量至少能够间接施加于该镜的至少一个驱动器。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103345128B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201310276200.5
申请日：2008-02-06
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
Inventor： 斯蒂芬.泽尔特 , 关彦彬 , 安德拉斯.G.梅杰 , 曼弗雷德.莫尔 , 约翰尼斯.艾森门格 , 达米安.菲奥尔卡 , 简.霍恩 , 马库斯.德冈瑟 , 弗洛里安.巴赫 , 迈克尔.帕特拉 , 约翰尼斯.万格勒 , 迈克尔.莱
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70258 , G01B11/002 , G01B11/272 , G01M11/30 , G01N21/55 , G02B26/0833 , G03F7/70058 , G03F7/70116 , G03F7/70133 , G03F7/702 , G03F7/70291 , G03F7/70516 , G03F7/7085 , G05B13/048 , Y10S359/904
Abstract: 本发明涉及一种微光刻投射曝光设备(10)的照明系统(12)，包括光瞳面和由优选地可单独控制、用于光瞳面可变地照明的射束偏转元件(28)组成的基本上平面状的布置。可以根据施加在射束偏转元件(28)上的控制信号，通过每个射束偏转元件(28)使得入射到它上的投射光束(32)产生偏转。测量照明装置(54、56、58、60；88；90；98)将与投射光束(32)无关的测量光束(36)被引导到射束偏转元件(28)上。检测装置检测在射束偏转元件(28)上偏转后的测量光束(38)。评估单元根据检测装置提供的测试信号确定投射光束(32)的偏转。
-
公开(公告)号：CN105045045A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510317621.7
申请日：2008-12-19
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
Inventor： 简.霍恩 , 克里斯琴.肯普特 , 沃尔夫冈.法洛特-伯格哈特
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70116
Abstract: 微光刻投射曝光设备的照明系统表现了布置为多镜阵列且能够经由至少一个驱动器倾斜的镜。此外，照明系统表现了用于该镜的驱动电子装置，该驱动电子装置表现了具有第一分辨率的粗数模转换器(68)、具有第二分辨率的精数模转换器(70)，以及加法器(72)，第二分辨率高于第一分辨率，通过两个数模转换器(68、70)输出的输出量能够利用该加法器(72)相加以产生总量。该总量至少能够间接施加于该镜的至少一个驱动器。
-
公开(公告)号：CN103034075B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201210586425.6
申请日：2008-12-19
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
Inventor： 简.霍恩 , 克里斯琴.肯普特 , 沃尔夫冈.法洛特-伯格哈特
CPC classification number: G03F7/70116
Abstract: 微光刻投射曝光设备的照明系统表现了布置为多镜阵列且能够经由至少一个驱动器倾斜的镜。此外，照明系统表现了用于该镜的驱动电子装置，该驱动电子装置表现了具有第一分辨率的粗数模转换器(68)、具有第二分辨率的精数模转换器(70)，以及加法器(72)，第二分辨率高于第一分辨率，通过两个数模转换器(68、70)输出的输出量能够利用该加法器(72)相加以产生总量。该总量至少能够间接施加于该镜的至少一个驱动器。
-
公开(公告)号：CN103345128A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310276200.5
申请日：2008-02-06
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
Inventor： 斯蒂芬.泽尔特 , 关彦彬 , 安德拉斯.G.梅杰 , 曼弗雷德.莫尔 , 约翰尼斯.艾森门格 , 达米安.菲奥尔卡 , 简.霍恩 , 马库斯.德冈瑟 , 弗洛里安.巴赫 , 迈克尔.帕特拉 , 约翰尼斯.万格勒 , 迈克尔.莱
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70258 , G01B11/002 , G01B11/272 , G01M11/30 , G01N21/55 , G02B26/0833 , G03F7/70058 , G03F7/70116 , G03F7/70133 , G03F7/702 , G03F7/70291 , G03F7/70516 , G03F7/7085 , G05B13/048 , Y10S359/904
Abstract: 本发明涉及一种微光刻投射曝光设备(10)的照明系统(12)，包括光瞳面和由优选地可单独控制、用于光瞳面可变地照明的射束偏转元件(28)组成的基本上平面状的布置。可以根据施加在射束偏转元件(28)上的控制信号，通过每个射束偏转元件(28)使得入射到它上的投射光束(32)产生偏转。测量照明装置(54、56、58、60；88；90；98)将与投射光束(32)无关的测量光束(36)被引导到射束偏转元件(28)上。检测装置检测在射束偏转元件(28)上偏转后的测量光束(38)。评估单元根据检测装置提供的测试信号确定投射光束(32)的偏转。
-
公开(公告)号：CN102177460A
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN200980139821.0
申请日：2009-10-06
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G03F7/70116 , G02B26/0841 , G02B27/0043 , G03B27/72 , G03F7/70075 , G03F7/702 , G03F7/70525
Abstract: 微光刻投射曝光设备的照明系统(10)中的微反射镜阵列(22)的微反射镜(24)，可关于两个倾斜轴(x、y)通过各倾斜角度(αx、αy)倾斜。微反射镜(24)被分配三个驱动器(E1、E2、E3)，所述三个驱动器可以通过控制信号(U1、U2、U3)被分别驱动，从而使得微反射镜(24)关于所述两个倾斜轴(x、y)倾斜。规定两个控制变量(SGx、SGy)，其每个被分配给一个倾斜轴(x、y)且其两者被分配给未被干扰的倾斜角度(αx、αy)。对于两个控制变量(SGx、SGy)的任何希望的组合，根据两个控制变量(SGx、SGy)，选择三个驱动器中的一个驱动器(E1)并将其控制信号(U1)设为常数值，具体地0。确定控制信号(U1、U2、U3)，使得当控制信号(U1、U2、U3)被施加到其它两个驱动器(E2、E3)时，微反射镜(24)根据两个控制变量(SGx、SGy)采用未被干扰倾斜角度(αx、αy)。
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
9
records
(took 0.036 seconds)
