公开(公告)号：CN116264144A

公开(公告)日：2023-06-16

申请号：CN202211629161.8

申请日：2022-12-12

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： A.施蒙茨 ,  G.沃特 ,  B.斯坦克 ,  G.施密德

IPC: H01J37/02 ,  H01J37/26

Abstract: 本发明涉及一种气体供应装置、粒子辐射设备、用于操作气体供应装置的方法、用于操作粒子辐射设备的方法、以及计算机程序产品，该气体供应装置具有：第一前体储存器，用于接纳第一前体；第二前体储存器，用于接纳第二前体；和供应单元，用于将气态状态的第一前体和/或气态状态的第二前体供应到物体的表面上。第一引导装置布置在第一前体储存器与供应单元之间。第二引导装置布置在第二前体储存器与供应单元之间。第一阀布置在第一引导装置与供应单元之间。第二阀布置在第二引导装置与供应单元之间。用于供应气态状态的第一前体和/或气态状态的第二前体的控制阀与第一阀、第二阀和供应单元相连接。

公开(公告)号：CN116313719A

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN202211610168.5

申请日：2022-12-12

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： A.施蒙茨 ,  G.沃特 ,  B.斯坦克 ,  G.施密德

IPC: H01J37/32 ,  H01J37/02

Abstract: 本发明涉及一种气体供应装置、具有该气体供应装置的系统以及粒子辐射设备，该气体供应装置具有：供应单元，用于供应气态状态的第一前体和/或气态状态的第二前体；第一引导装置(L1)，用于将气态状态的第一前体引导至供应单元；以及第二引导装置(L2)，用于将气态状态的第二前体引导至供应单元。第一阀(V1)布置在第一引导装置(L1)与供应单元之间。第二阀(V2)布置在第二引导装置(L2)与供应单元之间。控制阀与第一阀(V1)相连接并且布置在第一阀(V1)与供应单元之间。控制阀与第二阀(V2)相连接并且布置在第二阀(V2)与供应单元之间。第一阀(V1)、第二阀(V2)和/或控制阀被设计为电磁阀。

公开(公告)号：CN112750674A

公开(公告)日：2021-05-04

申请号：CN202011123457.3

申请日：2020-10-20

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： A.施蒙兹 ,  G.沃特 ,  S.希勒

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  G02B21/06 ,  G02B21/28 ,  G02B21/30 ,  G02B21/26 ,  G01N23/2251 ,  H02P8/00 ,  H02P8/40 ,  H02P6/00 ,  H02P6/04 ,  H02P29/00 ,  H02P5/00

Abstract: 本发明涉及粒子辐射设备和光学显微镜及用于操作其的方法。方法包括改变物体的第一温度，物体布置在物体接收装置处，物体接收装置能通过至少一个用电源电流工作的电机移动。通过改变物体的第一温度，将物体接收装置的第二温度从第一温度值改变到第二温度值。方法还包括：将电机的电源电流从第一电流值改变到第二电流值，电源电流设计为用于固定物体接收装置；及基于电机产生的热量将物体接收装置的温度从第二温度值改变到第三温度值，热量通过电源电流的第二电流值实现且送至物体接收装置。TOT1‑15℃≤TOT3≤TOT1+15℃成立，其中TOT1为物体接收装置的第一温度值且TOT3为物体接收装置的第三温度值。