半导体封装结构及其制作方法

    公开(公告)号:CN102956547B

    公开(公告)日:2015-07-29

    申请号:CN201110320424.2

    申请日:2011-10-11

    IPC分类号: H01L21/768 H01L23/535

    摘要: 本发明提出一种半导体封装结构及其制作方法。该方法包括以下步骤:提供一具有多个贯孔的第一介电层。提供一具有多个导电通孔及一芯片容纳开口的第二介电层。将第二介电层压合于第一介电层上。将一芯片配置于芯片容纳开口中,并使芯片贴附于芯片容纳开口所暴露出的第一介电层上。芯片的一背面贴附于第一介电层上。于第二介电层上形成一重配置线路层。部分重配置线路层从第二介电层延伸至芯片的一有源表面与导电通孔上,以使芯片通过部分重配置线路层与导电通孔电性连接。于第一介电层上形成多个焊球。焊球位于贯孔内且通过导电通孔及重配置线路层而与芯片电性连接。本发明的半导体封装结构具有较佳可靠度与较小的封装厚度。

    具有加强物的凸块结构的制造方法

    公开(公告)号:CN101241866B

    公开(公告)日:2010-12-01

    申请号:CN200710001888.0

    申请日:2007-02-05

    发明人: 黄成棠

    IPC分类号: H01L21/60 H01L23/485

    摘要: 本发明公开了一种具有加强物的凸块结构的制造方法。提供一基板,而基板具有多个接垫与一保护层,其中保护层具有多个开口,且各开口分别暴露出相对应的接垫的一部分。在基板上形成一球底金属材料层,以覆盖保护层与保护层所暴露出的接垫。在球底金属材料层上形成多个凸块,其中各凸块的底面积小于开口的底面积。在各凸块周围的球底金属材料层上形成一加强物,其中各加强物分别与凸块接触,且加强物的材质为一聚合物。图案化球底金属材料层,以形成多个球底金属层,其中各球底金属层的底面积大于开口的底面积。因此,此种凸块具有平坦的顶面,可以改善现有技术所具有的城墙效应。