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公开(公告)号：CN111121661B
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN201911302926.5
申请日：2019-12-17
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种用于光滑表面形貌测量的窄带非单色光n+1幅相移测试算法，本算法通过窄带非单色光干涉测量实现对光滑样品表面形貌的复原，适用于光源为白光加窄带滤光片的干涉测试系统。驱动相移器按照π/2的相移间隔进行z轴垂直扫描，共采集连续的干涉图N幅，并对干涉图进行相位φ(z)求解，再根据φ(z)求解对比度U(z)，找出对比度最大的干涉图；以对比度最大的干涉图为第(n+1)/2幅干涉图，在其前后共取连续的n+1幅干涉图，第1幅至n幅相移干涉图采用n幅相移算法复原得到相位φ1，第2幅至n+1幅相移干涉图同样采用n幅相移算法复原得到相位φ2，将φ1和φ2的平均值作为最终相位。本算法能够有效消除相位复原误差，是一种实用、快速、高精度的形貌复原算法。
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公开(公告)号：CN109975820B
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN201910137473.9
申请日：2019-02-25
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统，包括白光光源、准直镜、第一1/4波片、激光光源，科勒照明系统、偏振棱镜、透反射镜、立方分光棱镜、两个显微物镜、参考平面、第二1/4波片、检偏镜、聚焦透镜、分光棱镜、x方向线阵CCD、y方向线阵CCD。白光光源产生白光，经准直，偏振等手段形成平面偏振光，经立方分光棱镜分光后，分别经两个显微物镜照射到参考平面和被测样品，返回光经分光棱镜分光后分别照射到x,y方向线阵CCD生成干涉条纹图像，根据图像离焦像差变化实现检焦。激光经柯勒照明系统后均匀出射，经偏振棱镜等反射，透过立方分光棱镜等直写样品。本发明具有数据处理快、实时定焦、获取被测样品位置及形貌信息的优点。
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公开(公告)号：CN111127338A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201911229320.3
申请日：2019-12-04
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于图像清晰评价优化的计算像差自动校正方法，包括如下步骤：首先建立基于图像清晰评价优化的像差校正数学模型；接着建立基于图像清晰评价优化的相位滤波器数学模型；再利用计算像差BPSO算法求解像差校正系数值：BPSO算法包括反向传播优化和粒子群随即优化算法，利用像差校正系数求解校正像差后清晰图像。本发明的基于图像清晰评价优化的计算像差自动校正方法，其具有可以灵活选定评价指标，实现快速计算像差自动校正，校正结果准确度高的优点。
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公开(公告)号：CN109828365A
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201910137549.8
申请日：2019-02-25
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种Mirau型超分辨率干涉显微物镜，利用干涉显微物镜实现亚纳米级轴向分辨率，利用微球透镜突破衍射极限，实现二维横向超分辨。本文提出将干涉显微物镜和微球透镜相融合的超分辨干涉显微物镜，在干涉显微物镜和待测样品之间加入微球透镜，优化设计参考平板、分光平板、显微物镜的参数，获得清晰的三维超分辨干涉条纹，实现三维高分辨率成像。本方法能够以简单的光学手段实现横向超分辨，获取待测微结构的三维高分辨信息，无需对样品进行复杂的标记处理，可以实现快速、无损的测量，具有很强的实用价值。
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公开(公告)号：CN111127338B
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN201911229320.3
申请日：2019-12-04
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于图像清晰评价优化的计算像差自动校正方法，包括如下步骤：首先建立基于图像清晰评价优化的像差校正数学模型；接着建立基于图像清晰评价优化的相位滤波器数学模型；再利用计算像差BPSO算法求解像差校正系数值：BPSO算法包括反向传播优化和粒子群随即优化算法，利用像差校正系数求解校正像差后清晰图像。本发明的基于图像清晰评价优化的计算像差自动校正方法，其具有可以灵活选定评价指标，实现快速计算像差自动校正，校正结果准确度高的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109751971B
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN201910063167.5
申请日：2019-01-23
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种高精度短相干光三维形貌快速测量算法，首先驱动压电陶瓷按照π/2的相位步进量在一定扫描长度内进行时序垂直扫描，对应每个步进量存储1幅干涉图；将干涉图计算处理融入到时序垂直扫描存储干涉图的过程中，实现快速测量；在时序垂直扫描并记录干涉图完成的同时，完成空域上各像素点移相扫描精相位以及多幅干涉图的对比度求解。对多幅干涉图的对比度进行处理，得到垂直扫描粗相位；再将移相扫描精相位与垂直扫描粗相位融合得到三维形貌测量结果；最后，采用二维离散差分算法判断及消除待测样品中在阶跃形貌的边缘处产生的蝙蝠翼误差，得到高精度三维形貌测量结果。本发明算法简单，速度快，精度及可信度高，抗环境噪声能力强。
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公开(公告)号：CN108775861B
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201810745423.4
申请日：2018-07-09
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明公开了一种基于等效波长π/(2k)相移的双波长时域相位解调方法，在双波长同时移相干涉检测中，实现了双波长莫尔条纹中等效波长相位的提取。通过以等效波长的π/(2k)为移相步进量进行移相，对莫尔条纹干涉光强信息加乘处理，结合时域移相干涉处理方法和频谱选通技术，获取了等效波长π/(2k)移相间隔干涉图。对其干涉图序列间隔k帧抽取π/2移相间隔的干涉图序列，得到等效波长π/2移相间隔干涉图。利用移相算法处理，最终实现了零载频引入条件下莫尔条纹种等效波长相位信息的提取，解决了传统双波长同时移相干涉中莫尔条纹处理方法对空域载频的依赖问题。
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公开(公告)号：CN109828365B
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN201910137549.8
申请日：2019-02-25
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种Mirau型超分辨率干涉显微物镜，利用干涉显微物镜实现亚纳米级轴向分辨率，利用微球透镜突破衍射极限，实现二维横向超分辨。本文提出将干涉显微物镜和微球透镜相融合的超分辨干涉显微物镜，在干涉显微物镜和待测样品之间加入微球透镜，优化设计参考平板、分光平板、显微物镜的参数，获得清晰的三维超分辨干涉条纹，实现三维高分辨率成像。本方法能够以简单的光学手段实现横向超分辨，获取待测微结构的三维高分辨信息，无需对样品进行复杂的标记处理，可以实现快速、无损的测量，具有很强的实用价值。
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公开(公告)号：CN111121661A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201911302926.5
申请日：2019-12-17
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种用于光滑表面形貌测量的窄带非单色光n+1幅相移测试算法，本算法通过窄带非单色光干涉测量实现对光滑样品表面形貌的复原，适用于光源为白光加窄带滤光片的干涉测试系统。驱动相移器按照π/2的相移间隔进行z轴垂直扫描，共采集连续的干涉图N幅，并对干涉图进行相位φ(z)求解，再根据φ(z)求解对比度U(z)，找出对比度最大的干涉图；以对比度最大的干涉图为第(n+1)/2幅干涉图，在其前后共取连续的n+1幅干涉图，第1幅至n幅相移干涉图采用n幅相移算法复原得到相位φ1，第2幅至n+1幅相移干涉图同样采用n幅相移算法复原得到相位φ2，将φ1和φ2的平均值作为最终相位。本算法能够有效消除相位复原误差，是一种实用、快速、高精度的形貌复原算法。
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公开(公告)号：CN109975820A
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201910137473.9
申请日：2019-02-25
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统，包括白光光源、准直镜、第一1/4波片、激光光源，科勒照明系统、偏振棱镜、透反射镜、立方分光棱镜、两个显微物镜、参考平面、第二1/4波片、检偏镜、聚焦透镜、分光棱镜、x方向线阵CCD、y方向线阵CCD。白光光源产生白光，经准直，偏振等手段形成平面偏振光，经立方分光棱镜分光后，分别经两个显微物镜照射到参考平面和被测样品，返回光经分光棱镜分光后分别照射到x,y方向线阵CCD生成干涉条纹图像，根据图像离焦像差变化实现检焦。激光经柯勒照明系统后均匀出射，经偏振棱镜等反射，透过立方分光棱镜等直写样品。本发明具有数据处理快、实时定焦、获取被测样品位置及形貌信息的优点。
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