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公开(公告)号：CN109828365A
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201910137549.8
申请日：2019-02-25
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种Mirau型超分辨率干涉显微物镜，利用干涉显微物镜实现亚纳米级轴向分辨率，利用微球透镜突破衍射极限，实现二维横向超分辨。本文提出将干涉显微物镜和微球透镜相融合的超分辨干涉显微物镜，在干涉显微物镜和待测样品之间加入微球透镜，优化设计参考平板、分光平板、显微物镜的参数，获得清晰的三维超分辨干涉条纹，实现三维高分辨率成像。本方法能够以简单的光学手段实现横向超分辨，获取待测微结构的三维高分辨信息，无需对样品进行复杂的标记处理，可以实现快速、无损的测量，具有很强的实用价值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111521130A
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN202010386720.1
申请日：2020-05-09
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种快速判断并消除蝙蝠翼效应的微结构光学检测方法，通过理论建模分析干涉显微物镜的数值孔径NA、待测微结构线宽和台阶高度之间的关系，即横向分辨率与纵向分辨率之间的关系，并结合实际情况进行理论推导获得三者之间存在的耦合关系，能够在知晓待测微结构理论三维信息的基础上快速判断其在光学检测中是否会出现蝙蝠翼效应，并对出现的蝙蝠翼效应用一种简单的校正算法进行消除，从而获得准确的三维形貌信息。本发明可通过Mirau型显微干涉仪进行实验验证，使用PSI和VSI两种测量模式进行形貌信息复原。
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公开(公告)号：CN109828365B
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN201910137549.8
申请日：2019-02-25
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种Mirau型超分辨率干涉显微物镜，利用干涉显微物镜实现亚纳米级轴向分辨率，利用微球透镜突破衍射极限，实现二维横向超分辨。本文提出将干涉显微物镜和微球透镜相融合的超分辨干涉显微物镜，在干涉显微物镜和待测样品之间加入微球透镜，优化设计参考平板、分光平板、显微物镜的参数，获得清晰的三维超分辨干涉条纹，实现三维高分辨率成像。本方法能够以简单的光学手段实现横向超分辨，获取待测微结构的三维高分辨信息，无需对样品进行复杂的标记处理，可以实现快速、无损的测量，具有很强的实用价值。
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公开(公告)号：CN109751971A
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201910063167.5
申请日：2019-01-23
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种高精度短相干光三维形貌快速测量算法，首先驱动压电陶瓷按照π/2的相位步进量在一定扫描长度内进行时序垂直扫描，对应每个步进量存储1幅干涉图；将干涉图计算处理融入到时序垂直扫描存储干涉图的过程中，实现快速测量；在时序垂直扫描并记录干涉图完成的同时，完成空域上各像素点移相扫描精相位以及多幅干涉图的对比度求解。对多幅干涉图的对比度进行处理，得到垂直扫描粗相位；再将移相扫描精相位与垂直扫描粗相位融合得到三维形貌测量结果；最后，采用二维离散差分算法判断及消除待测样品中在阶跃形貌的边缘处产生的蝙蝠翼误差，得到高精度三维形貌测量结果。本发明算法简单，速度快，精度及可信度高，抗环境噪声能力强。
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公开(公告)号：CN109751971B
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN201910063167.5
申请日：2019-01-23
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种高精度短相干光三维形貌快速测量算法，首先驱动压电陶瓷按照π/2的相位步进量在一定扫描长度内进行时序垂直扫描，对应每个步进量存储1幅干涉图；将干涉图计算处理融入到时序垂直扫描存储干涉图的过程中，实现快速测量；在时序垂直扫描并记录干涉图完成的同时，完成空域上各像素点移相扫描精相位以及多幅干涉图的对比度求解。对多幅干涉图的对比度进行处理，得到垂直扫描粗相位；再将移相扫描精相位与垂直扫描粗相位融合得到三维形貌测量结果；最后，采用二维离散差分算法判断及消除待测样品中在阶跃形貌的边缘处产生的蝙蝠翼误差，得到高精度三维形貌测量结果。本发明算法简单，速度快，精度及可信度高，抗环境噪声能力强。
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公开(公告)号：CN111521130B
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202010386720.1
申请日：2020-05-09
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种快速判断并消除蝙蝠翼效应的微结构光学检测方法，通过理论建模分析干涉显微物镜的数值孔径NA、待测微结构线宽和台阶高度之间的关系，即横向分辨率与纵向分辨率之间的关系，并结合实际情况进行理论推导获得三者之间存在的耦合关系，能够在知晓待测微结构理论三维信息的基础上快速判断其在光学检测中是否会出现蝙蝠翼效应，并对出现的蝙蝠翼效应用一种简单的校正算法进行消除，从而获得准确的三维形貌信息。本发明可通过Mirau型显微干涉仪进行实验验证，使用PSI和VSI两种测量模式进行形貌信息复原。
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