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公开(公告)号：CN109975820B
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN201910137473.9
申请日：2019-02-25
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统，包括白光光源、准直镜、第一1/4波片、激光光源，科勒照明系统、偏振棱镜、透反射镜、立方分光棱镜、两个显微物镜、参考平面、第二1/4波片、检偏镜、聚焦透镜、分光棱镜、x方向线阵CCD、y方向线阵CCD。白光光源产生白光，经准直，偏振等手段形成平面偏振光，经立方分光棱镜分光后，分别经两个显微物镜照射到参考平面和被测样品，返回光经分光棱镜分光后分别照射到x,y方向线阵CCD生成干涉条纹图像，根据图像离焦像差变化实现检焦。激光经柯勒照明系统后均匀出射，经偏振棱镜等反射，透过立方分光棱镜等直写样品。本发明具有数据处理快、实时定焦、获取被测样品位置及形貌信息的优点。
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公开(公告)号：CN111308700A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN202010165640.3
申请日：2020-03-11
Applicant: 南京理工大学
IPC: G02B27/00
Abstract: 本发明公开了一种基于倾斜照明反射式PIE光学系统的反射角误差校正算法，首先，构建反射角误差理论模型，获得复原图像振幅；再基于图像复原误差评价函数求解最优反射角。图像复原误差评价函数为均方根（MSE）函数，通过对反射角数值的更新寻找MSE函数极值点，该点对应的反射角即为最佳反射角，将该反射角代入反射式PIE成像过程即可得到优质成像结果。本发明通过建模将反射角误差来源本质进行剖析，增强了校正结果的准确性和有效性；同时能够快速地判断反射角搜索方向，并具有无偏性、单峰性、灵敏度高等优点。
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公开(公告)号：CN111307675B
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN201911151710.3
申请日：2019-11-22
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01N15/06
Abstract: 本发明公开一种基于毫米波辐射计的近地PM2.5浓度进行监测方法，包括如下步骤：(10)辐射计功率值获取：利用毫米波辐射计对近地大气进行测量，得到辐射计功率值P；(20)近地大气温度确定：根据测得的辐射计功率值P和辐射计功率值与近地大气温度的固有关系式，得到所测近地大气温度T(c)；(30)细颗粒物浓度确定：根据近地大气温度与PM2.5浓度的对应关系，计算得到PM2.5浓度c；(40)近地大气监测：通过得到的PM2.5浓度来判断当地的环境指标是否达标。本发明基于毫米波辐射计的PM2.5浓度进行监测方法，测量精度高、监测范围大、受外界影响小。
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公开(公告)号：CN110987972B
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN201911151708.6
申请日：2019-11-22
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01N22/00
Abstract: 本发明公开一种基于毫米波辐射计的近地大气SO2监测方法，包括如下步骤：(10)辐射计功率值获取：利用毫米波辐射计对近地大气进行测量，得到辐射计功率值P；(20)近地大气温度确定：根据测得的辐射计功率值P和辐射计功率值与近地大气温度的固有关系式，得到所测近地大气温度T(g)；(30)污染气体含量确定：根据近地大气温度与污染气体SO2含量的对应关系，计算得到污染气体SO2的含量g；(40)近地大气监测：通过得到的污染气体SO2含量来判断当地的环境指标是否达标。本发明基于毫米波辐射计的近地大气SO2监测方法，操作过程简单、受外界影响小、测量精度高。
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公开(公告)号：CN111121661B
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN201911302926.5
申请日：2019-12-17
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种用于光滑表面形貌测量的窄带非单色光n+1幅相移测试算法，本算法通过窄带非单色光干涉测量实现对光滑样品表面形貌的复原，适用于光源为白光加窄带滤光片的干涉测试系统。驱动相移器按照π/2的相移间隔进行z轴垂直扫描，共采集连续的干涉图N幅，并对干涉图进行相位φ(z)求解，再根据φ(z)求解对比度U(z)，找出对比度最大的干涉图；以对比度最大的干涉图为第(n+1)/2幅干涉图，在其前后共取连续的n+1幅干涉图，第1幅至n幅相移干涉图采用n幅相移算法复原得到相位φ1，第2幅至n+1幅相移干涉图同样采用n幅相移算法复原得到相位φ2，将φ1和φ2的平均值作为最终相位。本算法能够有效消除相位复原误差，是一种实用、快速、高精度的形貌复原算法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111127338B
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN201911229320.3
申请日：2019-12-04
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于图像清晰评价优化的计算像差自动校正方法，包括如下步骤：首先建立基于图像清晰评价优化的像差校正数学模型；接着建立基于图像清晰评价优化的相位滤波器数学模型；再利用计算像差BPSO算法求解像差校正系数值：BPSO算法包括反向传播优化和粒子群随即优化算法，利用像差校正系数求解校正像差后清晰图像。本发明的基于图像清晰评价优化的计算像差自动校正方法，其具有可以灵活选定评价指标，实现快速计算像差自动校正，校正结果准确度高的优点。
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公开(公告)号：CN111307675A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201911151710.3
申请日：2019-11-22
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01N15/06
Abstract: 本发明公开一种基于毫米波辐射计的近地PM2.5浓度进行监测方法，包括如下步骤：(10)辐射计功率值获取：利用毫米波辐射计对近地大气进行测量，得到辐射计功率值P；(20)近地大气温度确定：根据测得的辐射计功率值P和辐射计功率值与近地大气温度的固有关系式，得到所测近地大气温度T(c)；(30)细颗粒物浓度确定：根据近地大气温度与PM2.5浓度的对应关系，计算得到PM2.5浓度c；(40)近地大气监测：通过得到的PM2.5浓度来判断当地的环境指标是否达标。本发明基于毫米波辐射计的PM2.5浓度进行监测方法，测量精度高、监测范围大、受外界影响小。
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公开(公告)号：CN111121661A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201911302926.5
申请日：2019-12-17
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种用于光滑表面形貌测量的窄带非单色光n+1幅相移测试算法，本算法通过窄带非单色光干涉测量实现对光滑样品表面形貌的复原，适用于光源为白光加窄带滤光片的干涉测试系统。驱动相移器按照π/2的相移间隔进行z轴垂直扫描，共采集连续的干涉图N幅，并对干涉图进行相位φ(z)求解，再根据φ(z)求解对比度U(z)，找出对比度最大的干涉图；以对比度最大的干涉图为第(n+1)/2幅干涉图，在其前后共取连续的n+1幅干涉图，第1幅至n幅相移干涉图采用n幅相移算法复原得到相位φ1，第2幅至n+1幅相移干涉图同样采用n幅相移算法复原得到相位φ2，将φ1和φ2的平均值作为最终相位。本算法能够有效消除相位复原误差，是一种实用、快速、高精度的形貌复原算法。
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公开(公告)号：CN110542653A
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：CN201910809450.8
申请日：2019-08-29
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01N21/01 , G01N21/47 , G01N21/956
Abstract: 本发明公开了一种基于倾斜照明的反射式交叠衍射成像光学系统，包括激光器、平面反射镜、扩束器、孔径光阑、CCD，电控旋转台和X-Y平移台，激光器发出光照射到样品表面之后发生反射，CCD接收光源经过反射后的衍射图样。图样采集过程中，利用电控旋转台设置反射角、X-Y平移台移动待测样品，使光路和样品产生相对位移，保持其它装置的位置不变，每移动一次样品，记录一幅衍射光强图样，从而获得一系列具有重叠区域的衍射图样，根据所获得衍射图样利用相应交叠衍射成像迭代算法，得到被测样品的振幅信息和相位信息。本发明具有适用反射式样品、照明光透明、强吸收特性的短波领域的特点；系统结构简单，对环境稳定性条件要求较低的优点。
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公开(公告)号：CN109975820A
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201910137473.9
申请日：2019-02-25
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统，包括白光光源、准直镜、第一1/4波片、激光光源，科勒照明系统、偏振棱镜、透反射镜、立方分光棱镜、两个显微物镜、参考平面、第二1/4波片、检偏镜、聚焦透镜、分光棱镜、x方向线阵CCD、y方向线阵CCD。白光光源产生白光，经准直，偏振等手段形成平面偏振光，经立方分光棱镜分光后，分别经两个显微物镜照射到参考平面和被测样品，返回光经分光棱镜分光后分别照射到x,y方向线阵CCD生成干涉条纹图像，根据图像离焦像差变化实现检焦。激光经柯勒照明系统后均匀出射，经偏振棱镜等反射，透过立方分光棱镜等直写样品。本发明具有数据处理快、实时定焦、获取被测样品位置及形貌信息的优点。
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