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公开(公告)号：CN108754556A
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201810685698.3
申请日：2018-06-28
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: C25D3/66
CPC classification number: C25D3/665
Abstract: 一种简单体系电沉积锌涂层的方法，包括如下步骤；(1)离子液体液制备：首先将氯化胆碱、氯化锌混合、加热，恒温搅拌至透明粘稠状，生成氯化胆碱‑氯化锌离子液体；(2)电沉积反应：采用锌片作为可溶性阳极，紫铜作为阴极，以上组成电极，然后将电极浸入步骤(1)制备的离子液体中并通过铜丝与电源连接，进行恒电流电沉积反应；(3)样品制备：电沉积反应完成后取出样品进行超声清洗、干燥。本发明采用氯化胆碱和氯化锌为原料，形成为离子液体，以该离子液体为电解液通过直接电沉积制备金属锌涂层，原料组成简单，操作简易，绿色环保，安全无毒，对锌的增值利用具有重要的现实意义。
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公开(公告)号：CN108039379A
公开(公告)日：2018-05-15
申请号：CN201711205257.0
申请日：2017-11-27
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: H01L31/0224 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开了一种金属箔片表面金属掺杂的氧化锌复合电极薄膜。是在金属箔片上利用双层辉光等离子物理溅射沉积技术一步来实现金属箔片/ZnO薄膜电极的制备。具体是将金属箔片作为基片丙酮清洗，高压氮气烘干处理；高纯低熔点金属Zn靶作为ZnO的金属元素溅射源，用丙酮进行清洗，同时通入氩气和氧气作为金属氧化物的合成气氛条件；将预处理好的基片和靶材样品放入双层辉光等离子溅射腔室内，同步实现基体金属元素在氧化物薄膜中的掺杂而形成的氧化物复合薄膜。
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公开(公告)号：CN106939405A
公开(公告)日：2017-07-11
申请号：CN201710176713.7
申请日：2017-03-23
Applicant: 南京信息工程大学
CPC classification number: C23C14/086 , C23C8/02 , C23C8/20 , C23C14/3485
Abstract: 本发明公开了一种石墨烯/氧化物复合光学薄膜的制备方法。是一种在石英片上利用双层辉光等离子物理溅射沉积技术通过两步法实现石墨烯/氧化物复合光学薄膜的制备。具体是将石英片丙酮清洗，高压氮气烘干处理；高纯低熔点和高熔点金属靶作为氧化物的金属元素溅射源，用丙酮进行清洗，同时通入一定比例的氩气和氧气作为金属氧化物的合成气氛条件；将预处理好的基片和靶材样品放入双层辉光等离子溅射腔室内，采用两步法工艺实现氧化物薄膜的制备。
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公开(公告)号：CN106756835A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611253178.2
申请日：2016-12-30
Applicant: 南京信息工程大学
CPC classification number: C23C14/34 , C23C14/0605
Abstract: 本发明涉及一种石墨烯透明电极薄膜的制备方法，以氧化还原石墨片为石墨烯溅射的靶材元素，借助双阴极辉光等离子放电作用在不同基体表面溅射沉积石墨烯薄膜的方法。本发明中石墨烯在溅射成膜过程中由于两个阴极的等离子同时产生作用，增强了体系的辉光放电成膜效率。因此，所得石墨烯薄膜质量较好，性能较为稳定。本发明对基体的材料及形状具有较大的选择性，可以在不同形状及不同材料的基体上制备石墨烯薄膜，所制备的石墨烯薄膜较为均匀，而且可以大面积量制备。
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公开(公告)号：CN106756792B
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201611253177.8
申请日：2016-12-30
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明涉及一种氧化物透明电极薄膜的制备方法，在石英片上利用双层辉光等离子溅射反应成膜的方法实现低熔点氧化锌透明电极薄膜的制备。本发明以低熔点金属元素为靶材，为了提高元素及氧元素反应的供应量和供应效率，在基片和靶材周围形成双层辉光等离子放电，成膜仅需要10‑30min。本发明通过低熔点金属元素和氧元素的溅射反应形成大面积高质量的氧化物透明薄膜电极，薄膜的厚度在5‑10微米。本发明得到的薄膜表面质量高，具有高度的c轴(002)取向，在可见光波段平均透过率能够达到80％以上，并且薄膜能有效的屏蔽紫外光。该方法所制备的氧化物薄膜表面质量高、工艺可控性好、制备快速、成本低，尤其适合大面积快速制备。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106756835B
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201611253178.2
申请日：2016-12-30
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明涉及一种石墨烯透明电极薄膜的制备方法，以氧化还原石墨片为石墨烯溅射的靶材元素，借助双阴极辉光等离子放电作用在不同基体表面溅射沉积石墨烯薄膜的方法。本发明中石墨烯在溅射成膜过程中由于两个阴极的等离子同时产生作用，增强了体系的辉光放电成膜效率。因此，所得石墨烯薄膜质量较好，性能较为稳定。本发明对基体的材料及形状具有较大的选择性，可以在不同形状及不同材料的基体上制备石墨烯薄膜，所制备的石墨烯薄膜较为均匀，而且可以大面积量制备。
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公开(公告)号：CN106756792A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611253177.8
申请日：2016-12-30
Applicant: 南京信息工程大学
CPC classification number: C23C14/086 , C23C14/0036 , C23C14/021 , C23C14/08 , C23C14/081 , C23C14/3478
Abstract: 本发明涉及一种氧化物透明电极薄膜的制备方法，在石英片上利用双层辉光等离子溅射反应成膜的方法实现低熔点氧化锌透明电极薄膜的制备。本发明以低熔点金属元素为靶材，为了提高元素及氧元素反应的供应量和供应效率，在基片和靶材周围形成双层辉光等离子放电，成膜仅需要10‑30min。本发明通过低熔点金属元素和氧元素的溅射反应形成大面积高质量的氧化物透明薄膜电极，薄膜的厚度在5‑10微米。本发明得到的薄膜表面质量高，具有高度的c轴(002)取向，在可见光波段平均透过率能够达到80％以上，并且薄膜能有效的屏蔽紫外光。该方法所制备的氧化物薄膜表面质量高、工艺可控性好、制备快速、成本低，尤其适合大面积快速制备。
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公开(公告)号：CN108039379B
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201711205257.0
申请日：2017-11-27
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: H01L31/0224 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开了一种金属箔片表面金属掺杂的氧化锌复合电极薄膜。是在金属箔片上利用双层辉光等离子物理溅射沉积技术一步来实现金属箔片/ZnO薄膜电极的制备。具体是将金属箔片作为基片丙酮清洗，高压氮气烘干处理；高纯低熔点金属Zn靶作为ZnO的金属元素溅射源，用丙酮进行清洗，同时通入氩气和氧气作为金属氧化物的合成气氛条件；将预处理好的基片和靶材样品放入双层辉光等离子溅射腔室内，同步实现基体金属元素在氧化物薄膜中的掺杂而形成的氧化物复合薄膜。
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公开(公告)号：CN106939405B
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201710176713.7
申请日：2017-03-23
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种石墨烯/氧化物复合光学薄膜的制备方法。是一种在石英片上利用双层辉光等离子物理溅射沉积技术通过两步法实现石墨烯/氧化物复合光学薄膜的制备。具体是将石英片丙酮清洗，高压氮气烘干处理；高纯低熔点和高熔点金属靶作为氧化物的金属元素溅射源，用丙酮进行清洗，同时通入一定比例的氩气和氧气作为金属氧化物的合成气氛条件；将预处理好的基片和靶材样品放入双层辉光等离子溅射腔室内，采用两步法工艺实现氧化物薄膜的制备。
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公开(公告)号：CN108754556B
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN201810685698.3
申请日：2018-06-28
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: C25D3/66
Abstract: 一种简单体系电沉积锌涂层的方法，包括如下步骤；(1)离子液体液制备：首先将氯化胆碱、氯化锌混合、加热，恒温搅拌至透明粘稠状，生成氯化胆碱‑氯化锌离子液体；(2)电沉积反应：采用锌片作为可溶性阳极，紫铜作为阴极，以上组成电极，然后将电极浸入步骤(1)制备的离子液体中并通过铜丝与电源连接，进行恒电流电沉积反应；(3)样品制备：电沉积反应完成后取出样品进行超声清洗、干燥。本发明采用氯化胆碱和氯化锌为原料，形成为离子液体，以该离子液体为电解液通过直接电沉积制备金属锌涂层，原料组成简单，操作简易，绿色环保，安全无毒，对锌的增值利用具有重要的现实意义。
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