一种通过界面补偿消除柔性集成器件残余应力的方法

    公开(公告)号:CN114388364B

    公开(公告)日:2024-11-05

    申请号:CN202111580209.6

    申请日:2021-12-22

    Abstract: 本发明公开了一种通过界面补偿消除柔性集成器件残余应力的方法。所述方法为:(1)通过氧气等离子处理衬底,提高衬底分子键合能力,实现PI与缓冲层的高粘附性;(2)利用沉积速率较温和的等离子体增强化学气相沉积制备SiOx/SiNx叠层薄膜,作为PI缓冲层、栅绝缘层和钝化层;SiOx/SiNx叠层薄膜与铜合金残余应力种类相反,可以相互补偿抵消,减少残余应力;(3)铜合金电极在高温退火后,微量掺杂的CrZr被排出晶格,在半导体/电极界面处与铟锌反应吸收能量,可以将部分界面残余应力的机械能转化为化学能,可以进一步消除残余应力。本发明所提出的工艺路径可以从制备器件的源头消除残余应力,是一种行之有效的方法。

    基于CAN现场总线和LLC谐振变换器的脉冲MIG焊电源系统及其控制方法

    公开(公告)号:CN108422065A

    公开(公告)日:2018-08-21

    申请号:CN201810352867.1

    申请日:2018-04-19

    Abstract: 本发明公开了一种基于CAN现场总线和LLC谐振变换器的脉冲MIG焊电源系统及其控制方法,包括三相交流输入电网、焊接电源、电弧负载和人机界面模块;焊接电源由脉冲峰值模块和脉冲基值模块组成,脉冲峰值模块由若干个子系统并联组成,脉冲基值模块由一个子系统组成,子系统包括主电路、驱动模块、故障保护模块、电压电流检测模块和控制模块,控制模块包括DSP数字化控制模块,分别与故障保护模块、驱动模块和电压电流检测模块连接。本发明实现脉冲MIG焊脉冲峰值和基值输出时,LLC谐振变换器工作于谐振频率最佳工作点,原边电流接近正弦电流,电磁干扰小,使得系统稳定而可靠,功率器件得到最优利用,减少开关损耗,提高电源效率。

    基于CAN现场总线和LLC谐振变换器的脉冲MIG焊电源系统及其控制方法

    公开(公告)号:CN108422065B

    公开(公告)日:2023-06-20

    申请号:CN201810352867.1

    申请日:2018-04-19

    Abstract: 本发明公开了一种基于CAN现场总线和LLC谐振变换器的脉冲MIG焊电源系统及其控制方法,包括三相交流输入电网、焊接电源、电弧负载和人机界面模块;焊接电源由脉冲峰值模块和脉冲基值模块组成,脉冲峰值模块由若干个子系统并联组成,脉冲基值模块由一个子系统组成,子系统包括主电路、驱动模块、故障保护模块、电压电流检测模块和控制模块,控制模块包括DSP数字化控制模块,分别与故障保护模块、驱动模块和电压电流检测模块连接。本发明实现脉冲MIG焊脉冲峰值和基值输出时,LLC谐振变换器工作于谐振频率最佳工作点,原边电流接近正弦电流,电磁干扰小,使得系统稳定而可靠,功率器件得到最优利用,减少开关损耗,提高电源效率。

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