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公开(公告)号：CN114388364B
公开(公告)日：2024-11-05
申请号：CN202111580209.6
申请日：2021-12-22
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L21/34 , H01L21/44 , H01L29/423 , H01L29/786
Abstract: 本发明公开了一种通过界面补偿消除柔性集成器件残余应力的方法。所述方法为：(1)通过氧气等离子处理衬底，提高衬底分子键合能力，实现PI与缓冲层的高粘附性；(2)利用沉积速率较温和的等离子体增强化学气相沉积制备SiOx/SiNx叠层薄膜，作为PI缓冲层、栅绝缘层和钝化层；SiOx/SiNx叠层薄膜与铜合金残余应力种类相反，可以相互补偿抵消，减少残余应力；(3)铜合金电极在高温退火后，微量掺杂的CrZr被排出晶格，在半导体/电极界面处与铟锌反应吸收能量，可以将部分界面残余应力的机械能转化为化学能，可以进一步消除残余应力。本发明所提出的工艺路径可以从制备器件的源头消除残余应力，是一种行之有效的方法。
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公开(公告)号：CN115368595A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202110540220.3
申请日：2021-05-18
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种聚乙烯醇有机介电层及其制备方法与应用。所述方法具体为：通过双溶剂体系，利用高分子的溶解原理，调整聚乙烯醇在溶液中的分子形态，使其发生蜷缩，所得旋涂液通过旋涂和退火处理后，以这种蜷缩态存在的聚乙烯醇制备有机介电层薄膜可以减少薄膜表面羟基分子。本发明方法制得的有机介电层蜷缩的高分子结构可以解决聚乙烯醇薄膜表面羟基分子过多的问题，从而提高薄膜的介电性能，降低漏电流。
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公开(公告)号：CN113359361A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202110498074.2
申请日：2021-05-08
Applicant: 华南理工大学
IPC: G02F1/15 , G02F1/1514 , G02F1/153 , G02F1/155
Abstract: 本发明公开了一种微腔注入型电致变色器件及其制备方法与应用。所述器件的结构包括电动推杆、储液袋、微腔和储气袋；微腔上下两端设有开口，微腔结构依次为玻璃基板、ITO电极、金属钨薄膜、玻璃微珠、金属钨薄膜、ITO)电极和玻璃基板，玻璃微珠间隙形成空腔；储液袋、微腔、储气袋相连形成一个密闭空间，储液袋装有电致变色液，电动推杆与储液袋相连。本发明的电致变色器件变色和褪色完全不依赖电致变色层，本发明褪色机理为电负性不同的着色态阴离子和溶剂或储液袋内表面发生摩擦而发生电子交换转移，失去电子氧化成无色的高价态阴离子，因此不存在离子侵蚀的问题。
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公开(公告)号：CN114179518B
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN202111410677.9
申请日：2021-11-25
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于虹膜涡扇的微压电喷头及喷嘴孔径调控方法。本基于虹膜涡扇的微压电喷头包括待主动齿轮的微电机、与主动齿轮相互啮合的虹膜涡扇，设于虹膜涡扇上方的压电喷头。虹膜涡扇的外部通过一体成型的外从动齿轮和内从动齿轮，与主动齿轮啮合。虹膜涡扇的内部通过设有叶片齿轮的多个薄形金属叶片与内从动齿轮啮合，多个叶片相互重叠后形成孔径大小可调整了喷嘴。本发明的有益效果在于，可以灵活调整喷嘴的孔径大小，实现用一个压电喷头喷印不同精度大小的功能，满足多种喷印目标的需求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114388364A
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202111580209.6
申请日：2021-12-22
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L21/34 , H01L21/44 , H01L29/423 , H01L29/786
Abstract: 本发明公开了一种通过界面补偿消除柔性集成器件残余应力的方法。所述方法为：(1)通过氧气等离子处理衬底，提高衬底分子键合能力，实现PI与缓冲层的高粘附性；(2)利用沉积速率较温和的等离子体增强化学气相沉积制备SiOx/SiNx叠层薄膜，作为PI缓冲层、栅绝缘层和钝化层；SiOx/SiNx叠层薄膜与铜合金残余应力种类相反，可以相互补偿抵消，减少残余应力；(3)铜合金电极在高温退火后，微量掺杂的CrZr被排出晶格，在半导体/电极界面处与铟锌反应吸收能量，可以将部分界面残余应力的机械能转化为化学能，可以进一步消除残余应力。本发明所提出的工艺路径可以从制备器件的源头消除残余应力，是一种行之有效的方法。
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公开(公告)号：CN114179518A
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN202111410677.9
申请日：2021-11-25
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于虹膜涡扇的微压电喷头及喷嘴孔径调控方法。本基于虹膜涡扇的微压电喷头包括待主动齿轮的微电机、与主动齿轮相互啮合的虹膜涡扇，设于虹膜涡扇上方的压电喷头。虹膜涡扇的外部通过一体成型的外从动齿轮和内从动齿轮，与主动齿轮啮合。虹膜涡扇的内部通过设有叶片齿轮的多个薄形金属叶片与内从动齿轮啮合，多个叶片相互重叠后形成孔径大小可调整了喷嘴。本发明的有益效果在于，可以灵活调整喷嘴的孔径大小，实现用一个压电喷头喷印不同精度大小的功能，满足多种喷印目标的需求。
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公开(公告)号：CN116445044A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310261443.5
申请日：2023-03-17
Applicant: 华南理工大学
IPC: C09D129/04 , H01B13/00 , H01B5/14 , C09D7/61
Abstract: 本发明属于电子技术领域，具体涉及一种复合结构柔性透明介电层及其低温制备方法与应用。将含有铪、镁、钛、钇、锆的前驱体溶液与含有极性基团的有机大分子前驱体溶液等体积混合，分散均匀，旋涂于衬底上，进行预退火，然后进行热退火，得到所述的复合结构柔性透明介电层。本发明通过结合低漏电流的高熵金属氧化物薄膜和高抗弯折性的有机大分子来制备柔性介电层。两者通过配位螯合以及氧化还原反应形成稳定的网络结构，可以增加薄膜抗弯折的能力，并且降低退火温度，使其符合柔性基板的要求。
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公开(公告)号：CN116445044B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202310261443.5
申请日：2023-03-17
Applicant: 华南理工大学
IPC: C09D129/04 , H01B13/00 , H01B5/14 , C09D7/61
Abstract: 本发明属于电子技术领域，具体涉及一种复合结构柔性透明介电层及其低温制备方法与应用。将含有铪、镁、钛、钇、锆的前驱体溶液与含有极性基团的有机大分子前驱体溶液等体积混合，分散均匀，旋涂于衬底上，进行预退火，然后进行热退火，得到所述的复合结构柔性透明介电层。本发明通过结合低漏电流的高熵金属氧化物薄膜和高抗弯折性的有机大分子来制备柔性介电层。两者通过配位螯合以及氧化还原反应形成稳
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公开(公告)号：CN113359361B
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202110498074.2
申请日：2021-05-08
Applicant: 华南理工大学
IPC: G02F1/15 , G02F1/1514 , G02F1/153 , G02F1/155
Abstract: 本发明公开了一种微腔注入型电致变色器件及其制备方法与应用。所述器件的结构包括电动推杆、储液袋、微腔和储气袋；微腔上下两端设有开口，微腔结构依次为玻璃基板、ITO电极、金属钨薄膜、玻璃微珠、金属钨薄膜、ITO)电极和玻璃基板，玻璃微珠间隙形成空腔；储液袋、微腔、储气袋相连形成一个密闭空间，储液袋装有电致变色液，电动推杆与储液袋相连。本发明的电致变色器件变色和褪色完全不依赖电致变色层，本发明褪色机理为电负性不同的着色态阴离子和溶剂或储液袋内表面发生摩擦而发生电子交换转移，失去电子氧化成无色的高价态阴离子，因此不存在离子侵蚀的问题。
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