一种三维微型传感器用微纳原电池的制备方法

    公开(公告)号:CN112133884B

    公开(公告)日:2021-12-14

    申请号:CN202011042603.X

    申请日:2020-09-28

    Abstract: 一种三维微型传感器用微纳原电池的制备方法,所述微纳原电池包括金属阳极层、绝缘层、阴极层、电解质通孔和阳极孔,其制备方法包括以下步骤:采用直流偏压模式在硅体上生长制备出厚度为400~500μm的金属阳极层;采用射频模式在金属阳极上制备厚度为200~1000nm的绝缘层;生长石墨阴极层,石墨厚度为2~3μm;在高浓度等离子刻蚀机上,使用Cl2气体为刻蚀气体,在金属阳极层上先刻蚀阳极孔,再刻蚀电解质通孔;划片,切割;本发明通过将二维边沿电池变成三维微纳原电池,并采用阳极孔倒置方式,使得雨水等杂物脱离了阳极孔,从而将电池的使用性能提高50%。

    一种三维微型传感器用微纳原电池的制备方法

    公开(公告)号:CN112133884A

    公开(公告)日:2020-12-25

    申请号:CN202011042603.X

    申请日:2020-09-28

    Abstract: 一种三维微型传感器用微纳原电池的制备方法,所述微纳原电池包括金属阳极层、绝缘层、阴极层、电解质通孔和阳极孔,其制备方法包括以下步骤:采用直流偏压模式在硅体上生长制备出厚度为400~500μm的金属阳极层;采用射频模式在金属阳极上制备厚度为200~1000nm的绝缘层;生长石墨阴极层,石墨厚度为2~3μm;在高浓度等离子刻蚀机上,使用Cl2气体为刻蚀气体,在金属阳极层上先刻蚀阳极孔,再刻蚀电解质通孔;划片,切割;本发明通过将二维边沿电池变成三维微纳原电池,并采用阳极孔倒置方式,使得雨水等杂物脱离了阳极孔,从而将电池的使用性能提高50%。

    一种表面梯度纳米结构辅助超声波焊接扁铜线的方法

    公开(公告)号:CN118237718A

    公开(公告)日:2024-06-25

    申请号:CN202410654052.4

    申请日:2024-05-24

    Abstract: 一种表面梯度纳米结构辅助超声波焊接扁铜线的方法,涉及焊接技术领域,其步骤如下:采用超声接触扫描方法对待焊接扁铜线表面进行处理,使该表面形成梯度纳米结构,将具有表面梯度纳米结构的扁铜线相互搭接后,进行超声波焊接,在焊接前期,表面梯度纳米结构降低焊接界面的摩擦系数,使两扁铜线之间相对运动的速度上升以及振幅增大;在焊接后期,随着焊接界面温度升高并结合大振幅和长持续时间的超声振动加速焊接界面材料的动态再结晶进程,使更多焊接界面产生冶金结合。本方案可提高超声波焊接扁铜线界面的焊合率以及可焊接扁铜线的厚度,从而达到提高超声波焊接扁铜线接头的力学性能和导电性能的目的。

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