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公开(公告)号：CN103258788B
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201310133768.1
申请日：2013-04-17
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/768
Abstract: 本发明公开了一种基于双向填充的通孔互联结构制作方法，包括：（a）在基片第一表面上加工制得第一盲孔；（b）在第一表面上淀积绝缘层、阻挡层和种子层；（c）在第二表面上套刻加工制得第二盲孔，且其深度止于露出第一盲孔中的绝缘层；（d）在第二表面上淀积绝缘层和阻挡层；（e）在第二表面的阻挡层上平铺贴合干膜并执行曝光显影；（f）以干膜作为掩膜，对绝缘层和阻挡层执行刻蚀处理仅保留下种子层；（g）执行填充操作。本发明中还公开了相应的通孔互联结构产品。通过本发明，能够以便于操控、高效率的方式执行填充过程，并获得填充效果好的产品，同时可以突破现有成膜技术的瓶颈，拓宽其应用范围，并尤其适于满足超高深宽比的场合。
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公开(公告)号：CN116826793A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310621850.2
申请日：2023-05-29
Applicant: 国网湖北省电力有限公司电力科学研究院 , 华中科技大学
IPC: H02J3/28 , H02J3/06 , H02J3/12 , H02J3/24 , G06Q10/0631 , G06Q50/06 , G06F30/18 , G06F30/20 , G06F111/04 , G06F113/04
Abstract: 一种基于支路潮流法的配电网分布式储能配置方法、装置、系统及存储介质，该方法包括：建立配电网系统分布式储能配置优化模型，所述优化模型的目标函数为储能系统日运行收益FP,ESS最大，优化模型的约束条件包括节点电压、支路电流、支路功率约束、储能变量约束、储能系统状态约束、储能系统能量平衡约束以及新能源出力约束；对优化模型的约束条件中的含二次项以及整数项的非凸潮流约束转化为二阶锥规划约束，建立配电网系统支路潮流模型；对所述配电网系统支路潮流模型进行优化求解，得到配电网分布式储能的配置方案。本发明将配电网非线性潮流约束转化为线性约束以便求解，同时兼顾各方利益主体，选取适当的目标函数对分布式储能进行配置。
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公开(公告)号：CN112365193B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202011389220.X
申请日：2020-12-01
Applicant: 国网湖北省电力有限公司电力科学研究院 , 国家电网有限公司 , 华中科技大学
Abstract: 本发明提供一种考虑线路传输安全的电力市场集中式出清方法及装置，构建了包含电网、发电商和柔性负荷商等主体的集中式电力市场，建立了相应的出清优化模型并设计了出清机制，综合考虑了多主体和多方面因素，为使优化目标合理化、市场化，将社会总福利最大化设立为优化目标；同时考虑了电力系统运行中的节点安全约束和线路安全约束，并可以根据各条线路的不同情况设置不同的安全裕度，提高电力系统的运行稳定性，从而兼顾安全性与经济性。
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公开(公告)号：CN104637831B
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201510075419.8
申请日：2015-02-12
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/60 , H01L21/603
CPC classification number: H01L2224/11
Abstract: 本发明公开了一种铜纳米线的铜铜键合工艺。在基片表面依次沉积粘附层和种子层；在种子层上制备一层光刻胶，并在光刻胶上制作圆孔；在圆孔中电镀铜，得到铜凸点；利用水热法在铜凸点表面生长Cu(OH)2纳米线；去除残余的光刻胶；对Cu(OH)2纳米线进行热分解，得到CuO纳米线；对CuO纳米线进行还原，得到铜纳米线；利用上述步骤分别在两个基片上制得铜纳米线，通过热压方式对这两个基片上的铜纳米线进行键合。本发明通过还原制得铜纳米线，直接应用于后续键合，避免了额外的去氧化层步骤，能在较低的温度和压力下得到致密的键合层，且制备工艺简单，无需复杂的设备，成本低，具有极大的应用价值。
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公开(公告)号：CN103325700B
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201310168540.6
申请日：2013-05-09
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/60 , H01L21/288 , H01L21/74 , H01L23/528 , H01L23/532
Abstract: 本发明公开了一种通过自底向上填充实现通孔互联的方法，包括：（a）在基片的一个表面上加工制得盲孔；（b）在加工盲孔的基片表面上依次生长绝缘层、阻挡层和种子层；（c）向种子层表面上涂布光刻胶并填平盲孔，然后执行曝光及显影处理，以使光刻胶仅在盲孔底部的种子层表面上残留；（d）去除未覆盖光刻胶的种子层，而盲孔底部的种子层不受影响；（e）去除残留的光刻胶；（f）向盲孔中填充导电材料完成自底向上的生长；（g）减薄基片未加工盲孔的表面形成通孔，由此完成通孔互联过程。本发明还公开了相应的通孔互联结构产品。通过本发明，能够以便于操控、低成本、高效率的方式执行通孔电镀过程，并获得填充效果更好的通孔互联结构产品。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103258788A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201310133768.1
申请日：2013-04-17
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/768
Abstract: 本发明公开了一种基于双向填充的通孔互联结构制作方法，包括：（a）在基片第一表面上加工制得第一盲孔；（b）在第一表面上淀积绝缘层、阻挡层和种子层；（c）在第二表面上套刻加工制得第二盲孔，且其深度止于露出第一盲孔中的绝缘层；（d）在第二表面上淀积绝缘层和阻挡层；（e）在第二表面的阻挡层上平铺贴合干膜并执行曝光显影；（f）以干膜作为掩膜，对绝缘层和阻挡层执行刻蚀处理仅保留下种子层；（g）执行填充操作。本发明中还公开了相应的通孔互联结构产品。通过本发明，能够以便于操控、高效率的方式执行填充过程，并获得填充效果好的产品，同时可以突破现有成膜技术的瓶颈，拓宽其应用范围，并尤其适于满足超高深宽比的场合。
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公开(公告)号：CN112365193A
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN202011389220.X
申请日：2020-12-01
Applicant: 国网湖北省电力有限公司电力科学研究院 , 国家电网有限公司 , 华中科技大学
Abstract: 本发明提供一种考虑线路传输安全的电力市场集中式出清方法及装置，构建了包含电网、发电商和柔性负荷商等主体的集中式电力市场，建立了相应的出清优化模型并设计了出清机制，综合考虑了多主体和多方面因素，为使优化目标合理化、市场化，将社会总福利最大化设立为优化目标；同时考虑了电力系统运行中的节点安全约束和线路安全约束，并可以根据各条线路的不同情况设置不同的安全裕度，提高电力系统的运行稳定性，从而兼顾安全性与经济性。
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公开(公告)号：CN103077402B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201210581013.3
申请日：2012-12-28
Applicant: 国家电网公司 , 国网湖北省电力公司电力科学研究院 , 华中科技大学
CPC classification number: G01R31/027 , G01R31/1272 , G06K9/00523 , G06K9/00536 , G06K9/6234
Abstract: 本发明公开了一种基于奇异值分解算法的变压器局部放电模式识别方法，包括训练模型和分类识别过程，包括：首先搭建人工缺陷实验环境并采集数据样本，计算每个样本的统计特征参量，构成数据样本矩阵；对样本矩阵进行奇异值分解，通过判断保留矩阵的特征是否明显，确定最佳保留矩阵的阶数，从而得到降维后的类型特征描述矩阵和类中心描述向量组；对待识别的样本进行预处理得到样本向量，用类型特征空间描述矩阵将其线性变换，得到降维后的样本描述空间的向量，然后计算该向量与类型向量组中的每个向量的相似度大小，从而得到分类判断结果。该算法简单而且高效，能够实现局部放电检测中干扰信号和放电信号的可靠区分，提高局部放电模式诊断的准确性。
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公开(公告)号：CN116799785A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202310642579.0
申请日：2023-05-29
Applicant: 国网湖北省电力有限公司电力科学研究院 , 华中科技大学
IPC: H02J3/00 , H02J3/14 , G06Q10/04 , G06Q50/06 , G06Q10/0631 , G06Q10/067
Abstract: 一种计及多温控负荷时段内灵活性的气电综合能源系统随机优化调度方法及装置，该方法包括：建立不同类型温控负荷的连续时间需求响应模型；基于不同类型温控负荷的连续时间需求响应模型，综合系统运营商在充分考虑天然气网络动态能流的基础上，协调P2G机组、燃气机组和温控负荷综合需求响应对系统的灵活性提升能力，建立气电综合能源系统连续时间随机优化调度模型；基于建立的连续时间随机优化调度模型，设计基于Bernstein微分算子和积分算子的空间映射方法，将难以求解的函数优化问题转化为可求解的代数优化问题进行求解，实现多类型温控负荷灵活性在气电综合能源系统中的协同优化。本发明使气电综合能源系统的优化调度更加安全经济。
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公开(公告)号：CN113887892A
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN202111087670.8
申请日：2021-09-16
Applicant: 国网湖北省电力有限公司电力科学研究院 , 国家电网有限公司 , 华中科技大学
Abstract: 本发明提供一种分布式电源即插即用终端交互控制方法，具体包括3个步骤：基于聚类分区的规模化分布式电源分区划分方法，实现了配电网管控终端内分布式电源区域的合理划分；提出了分布式电源管控终端与主站之间的即插即用交互机制，实现了分布式电源管控终端与配电网主站之间的即插即用交互；提出分布式电源管控终端的控制策略，实现分布式电源聚合后的控制。本发明通过分布式电源聚合管控终端实现了一定区域内分布式电源的分组化管理，每个分布式电源组受一个分布式电源管控终端的聚合控制，避免了配电网主站对分布式电源的直接控制时的“维数灾”问题。
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