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公开(公告)号：CN105016293B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201510232926.8
申请日：2015-05-08
Applicant: 华东师范大学 , 上海欧普泰科技创业有限公司
Abstract: 本发明公开了一种制作球面硅微通道板的装置及其制备方法，包括切割成圆形的硅微通道板，所述的硅微通道板置于一模具台中，所述的模具台由中心设有与硅微通道板大小匹配的台阶孔，硅微通道板置于台阶孔中；模具台上设置有重压片，所述重压片完全覆盖台阶孔；模具台置于一石英架上；将石英架、模具台、重压片和硅微通道板置于氧化炉管中。本发明具有以下有益效果：1.本发明是通过模具对热氧化时的氧气进行引导形成梯度。并且模具还会对球面微通道表面起到一定的约束作用，以助于达到确定的曲率半径。2.使用模具台控制氧化梯度，使得氧化层厚度也形成梯度，引起梯度应力，释放该应力即形成球面的硅微通道板。
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公开(公告)号：CN104828774B
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201510122203.2
申请日：2015-03-20
Applicant: 华东师范大学 , 上海欧普泰科技创业有限公司
Abstract: 本发明涉及纳米材料与微结构技术领域，公开了一种基于均匀的化学镀镍硅微通道衬底结构上生长均匀纳米结构材料的方法，其步骤包括：通过激光切割出所需形状的从硅衬底剥离的硅微通道，用化学镀镍的方法在微通道表面均匀生长一层镍导电层；调整沉积镍的时间使得所得到的镀镍硅微通道的电阻低于两欧姆；然后在镀镍微通道表面通过水热法生长一层纳米结构，这层纳米结构是由CoMoO4这种复合金属氧化物构成的，本发明利用水热法在微米孔径的镀镍硅微通道表面和内部生长纳米结构，提高了结构的均匀性与稳定性，避免了物理方法输运材料到微通道内部造成的微通道的严重堵塞，同时自身具有良好的电化学活性，有望应用于新能源领域。
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公开(公告)号：CN104843636A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510124934.0
申请日：2015-03-20
Applicant: 华东师范大学 , 上海欧普泰科技创业有限公司
Abstract: 本发明公开了一种改进型压差法在硅微通道内壁上液流沉积薄膜的方法和装置，它包括容器；所述的容器由隔板将腔体分隔成两个腔体：第一腔体和第二腔体；第一腔体和第二腔体之间的隔板上设置有连通两个腔体的卡槽；所述的卡槽上放置有硅微通道；在第一腔体和第二腔体之间设置有循环泵，其中，循环泵的进水口设置于第二腔体的底部，出水口设置于第一腔体的上方；所述的第一腔体内注有进行液流沉积的镀液。本发明的有益效果在于：明显的改善了用传统沉积方法与传统的压差沉积法进行薄膜沉积时，硅微通道内壁上出现的薄膜沉积不均匀的现象，用此改进型压差液流沉积法进行薄膜沉积的硅微通道作为锂离子电池的电极，可提高锂离子电池的整体性能。
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公开(公告)号：CN104326439A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201410419030.6
申请日：2014-08-22
Applicant: 华东师范大学 , 上海欧普泰科技创业有限公司
Abstract: 本发明公开了一种改进硅微通道板表面形貌的方法，其步骤为：(1)在硅微通道板完成刻蚀后，采用激光切割使之形成所需大小的圆形薄片；(2)采用PECVD在硅微通道板的两侧依次淀积上300～500nm的SiO2层和100～200nm的Si3N4层薄膜，双面对称等厚；(3)按照干氧-湿氧-干氧的顺序进行氧化，氧化的温度为900-1100℃，干氧的时间控制在15-20分钟，湿氧的时间控制在40-90分钟；得到改进表面形貌的硅微通道板。本发明具有以下有益效果：解决了采取氧化工艺制作绝缘层，由于表面属于自由端，在氧化过程中由于竞争机制，出现交叉处凸起这种使表面凹凸不平的问题。本发明所采用的氧化方法形成绝缘层的工艺，其成品率可以达到80％。
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公开(公告)号：CN104326439B
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201410419030.6
申请日：2014-08-22
Applicant: 华东师范大学 , 上海欧普泰科技创业有限公司
Abstract: 本发明公开了一种改进硅微通道板表面形貌的方法，其步骤为：(1)在硅微通道板完成刻蚀后，采用激光切割使之形成所需大小的圆形薄片；(2)采用PECVD在硅微通道板的两侧依次淀积上300～500nm的SiO2层和100～200nm的Si3N4层薄膜，双面对称等厚；(3)按照干氧‑湿氧‑干氧的顺序进行氧化，氧化的温度为900‑1100℃，干氧的时间控制在15‑20分钟，湿氧的时间控制在40‑90分钟；得到改进表面形貌的硅微通道板。本发明具有以下有益效果：解决了采取氧化工艺制作绝缘层，由于表面属于自由端，在氧化过程中由于竞争机制，出现交叉处凸起这种使表面凹凸不平的问题。本发明所采用的氧化方法形成绝缘层的工艺，其成品率可以达到80％。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104828774A
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201510122203.2
申请日：2015-03-20
Applicant: 华东师范大学 , 上海欧普泰科技创业有限公司
Abstract: 本发明涉及纳米材料与微结构技术领域，公开了一种基于均匀的化学镀镍硅微通道衬底结构上生长均匀纳米结构材料的方法，其步骤包括：通过激光切割出所需形状的从硅衬底剥离的硅微通道，用化学镀镍的方法在微通道表面均匀生长一层镍导电层；调整沉积镍的时间使得所得到的镀镍硅微通道的电阻低于两欧姆；然后在镀镍微通道表面通过水热法生长一层纳米结构，这层纳米结构是由CoMoO4这种复合金属氧化物构成的，本发明利用水热法在微米孔径的镀镍硅微通道表面和内部生长纳米结构，提高了结构的均匀性与稳定性，避免了物理方法输运材料到微通道内部造成的微通道的严重堵塞，同时自身具有良好的电化学活性，有望应用于新能源领域。
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公开(公告)号：CN101117206B
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN200710044569.8
申请日：2007-08-03
Applicant: 上海欧普泰科技创业有限公司 , 华东师范大学
Abstract: 本发明公开了一种电化学方法制作硅微通道过程中在微通道结构与衬底之间产生断层的方法，其制作步骤为：a)选取晶向硅片；b)制作掩模层；c)利用光刻的办法，先定义孔的位置；d)电化学阳极氧化，阳极使用浓度控制在2～5mol/l的氢氟酸与DMF或酒精的混合液，混合体积比为1∶1；e)调节F离子浓度，刻蚀电流大于10mA/cm2，可以在界面附近产生较强的横向刻蚀，从而形成断层。本发明的意义在于，利用产生断层的时机的控制，还可以有效控制所制作的硅微通道板的厚度，无需进行可能造成微通道板损坏的减薄和抛光，提高成品率。
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公开(公告)号：CN105016293A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201510232926.8
申请日：2015-05-08
Applicant: 华东师范大学 , 上海欧普泰科技创业有限公司
Abstract: 本发明公开了一种制作球面硅微通道板的装置及其制备方法，包括切割成圆形的硅微通道板，所述的硅微通道板置于一模具台中，所述的模具台由中心设有与硅微通道板大小匹配的台阶孔，硅微通道板置于台阶孔中；模具台上设置有重压片，所述重压片完全覆盖台阶孔；模具台置于一石英架上；将石英架、模具台、重压片和硅微通道板置于氧化炉管中。本发明具有以下有益效果：1.本发明是通过模具对热氧化时的氧气进行引导形成梯度。并且模具还会对球面微通道表面起到一定的约束作用，以助于达到确定的曲率半径。2.使用模具台控制氧化梯度，使得氧化层厚度也形成梯度，引起梯度应力，释放该应力即形成球面的硅微通道板。
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公开(公告)号：CN204778807U
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201520295497.4
申请日：2015-05-08
Applicant: 华东师范大学 , 上海欧普泰科技创业有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种制作球面硅微通道板的装置，包括切割成圆形的硅微通道板，所述的硅微通道板置于一模具台中，所述的模具台由中心设有与硅微通道板大小匹配的台阶孔，硅微通道板置于台阶孔中；模具台上设置有重压片，所述重压片完全覆盖台阶孔；模具台置于一石英架上；将石英架、模具台、重压片和硅微通道板置于氧化炉管中。本实用新型具有以下有益效果：1.本实用新型是通过模具对热氧化时的氧气进行引导形成梯度。并且模具还会对球面微通道表面起到一定的约束作用，以助于达到确定的曲率半径。2.使用模具台控制氧化梯度，使得氧化层厚度也形成梯度，引起梯度应力，释放该应力即形成球面的硅微通道板。
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公开(公告)号：CN113903965A
公开(公告)日：2022-01-07
申请号：CN202111177221.2
申请日：2021-10-09
Applicant: 华东师范大学
IPC: H01M8/18
Abstract: 本发明公开了一种新型锌碘水溶液电池及其制备方法。新型的锌碘水溶液电池总共有三个腔室构成，在常规的两腔室中间加入一个新的腔室，分别用阴/阳离子膜进行隔离，中间腔室实现了阴/阳离子的分离和汇聚，具有决定电池性能的特性。本发明的工作电极采用碳量子点处理的石墨毡，中间腔室为一定浓度的锌碘溶液，阳极电解液为含锌离子溶液，阴极电解液为含碘离子溶液。这种锌碘电池能够很好的抑制锌碘电池的自放电现象，提高电池的工作稳定性，并能很好地抑制锌枝晶的生成，提高锌碘电池的循环性。与已知技术相比较，此种结构的水溶液锌碘电池具有优异的循环性能和储能稳定性。这项发明有助于扩展水溶液锌离子电池的应用范畴。
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