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公开(公告)号:CN105016293B
公开(公告)日:2017-03-22
申请号:CN201510232926.8
申请日:2015-05-08
Applicant: 华东师范大学 , 上海欧普泰科技创业有限公司
Abstract: 本发明公开了一种制作球面硅微通道板的装置及其制备方法,包括切割成圆形的硅微通道板,所述的硅微通道板置于一模具台中,所述的模具台由中心设有与硅微通道板大小匹配的台阶孔,硅微通道板置于台阶孔中;模具台上设置有重压片,所述重压片完全覆盖台阶孔;模具台置于一石英架上;将石英架、模具台、重压片和硅微通道板置于氧化炉管中。本发明具有以下有益效果:1.本发明是通过模具对热氧化时的氧气进行引导形成梯度。并且模具还会对球面微通道表面起到一定的约束作用,以助于达到确定的曲率半径。2.使用模具台控制氧化梯度,使得氧化层厚度也形成梯度,引起梯度应力,释放该应力即形成球面的硅微通道板。
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公开(公告)号:CN104828774B
公开(公告)日:2017-01-04
申请号:CN201510122203.2
申请日:2015-03-20
Applicant: 华东师范大学 , 上海欧普泰科技创业有限公司
Abstract: 本发明涉及纳米材料与微结构技术领域,公开了一种基于均匀的化学镀镍硅微通道衬底结构上生长均匀纳米结构材料的方法,其步骤包括:通过激光切割出所需形状的从硅衬底剥离的硅微通道,用化学镀镍的方法在微通道表面均匀生长一层镍导电层;调整沉积镍的时间使得所得到的镀镍硅微通道的电阻低于两欧姆;然后在镀镍微通道表面通过水热法生长一层纳米结构,这层纳米结构是由CoMoO4这种复合金属氧化物构成的,本发明利用水热法在微米孔径的镀镍硅微通道表面和内部生长纳米结构,提高了结构的均匀性与稳定性,避免了物理方法输运材料到微通道内部造成的微通道的严重堵塞,同时自身具有良好的电化学活性,有望应用于新能源领域。
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公开(公告)号:CN105016293A
公开(公告)日:2015-11-04
申请号:CN201510232926.8
申请日:2015-05-08
Applicant: 华东师范大学 , 上海欧普泰科技创业有限公司
Abstract: 本发明公开了一种制作球面硅微通道板的装置及其制备方法,包括切割成圆形的硅微通道板,所述的硅微通道板置于一模具台中,所述的模具台由中心设有与硅微通道板大小匹配的台阶孔,硅微通道板置于台阶孔中;模具台上设置有重压片,所述重压片完全覆盖台阶孔;模具台置于一石英架上;将石英架、模具台、重压片和硅微通道板置于氧化炉管中。本发明具有以下有益效果:1.本发明是通过模具对热氧化时的氧气进行引导形成梯度。并且模具还会对球面微通道表面起到一定的约束作用,以助于达到确定的曲率半径。2.使用模具台控制氧化梯度,使得氧化层厚度也形成梯度,引起梯度应力,释放该应力即形成球面的硅微通道板。
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公开(公告)号:CN104828774A
公开(公告)日:2015-08-12
申请号:CN201510122203.2
申请日:2015-03-20
Applicant: 华东师范大学 , 上海欧普泰科技创业有限公司
Abstract: 本发明涉及纳米材料与微结构技术领域,公开了一种基于均匀的化学镀镍硅微通道衬底结构上生长均匀纳米结构材料的方法,其步骤包括:通过激光切割出所需形状的从硅衬底剥离的硅微通道,用化学镀镍的方法在微通道表面均匀生长一层镍导电层;调整沉积镍的时间使得所得到的镀镍硅微通道的电阻低于两欧姆;然后在镀镍微通道表面通过水热法生长一层纳米结构,这层纳米结构是由CoMoO4这种复合金属氧化物构成的,本发明利用水热法在微米孔径的镀镍硅微通道表面和内部生长纳米结构,提高了结构的均匀性与稳定性,避免了物理方法输运材料到微通道内部造成的微通道的严重堵塞,同时自身具有良好的电化学活性,有望应用于新能源领域。
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公开(公告)号:CN204778807U
公开(公告)日:2015-11-18
申请号:CN201520295497.4
申请日:2015-05-08
Applicant: 华东师范大学 , 上海欧普泰科技创业有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种制作球面硅微通道板的装置,包括切割成圆形的硅微通道板,所述的硅微通道板置于一模具台中,所述的模具台由中心设有与硅微通道板大小匹配的台阶孔,硅微通道板置于台阶孔中;模具台上设置有重压片,所述重压片完全覆盖台阶孔;模具台置于一石英架上;将石英架、模具台、重压片和硅微通道板置于氧化炉管中。本实用新型具有以下有益效果:1.本实用新型是通过模具对热氧化时的氧气进行引导形成梯度。并且模具还会对球面微通道表面起到一定的约束作用,以助于达到确定的曲率半径。2.使用模具台控制氧化梯度,使得氧化层厚度也形成梯度,引起梯度应力,释放该应力即形成球面的硅微通道板。
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