公开(公告)号：CN101117206B

公开(公告)日：2012-09-26

申请号：CN200710044569.8

申请日：2007-08-03

Applicant: 上海欧普泰科技创业有限公司 ,  华东师范大学

Inventor： 王连卫 ,  林继磊 ,  陈晓明 ,  徐少辉 ,  王振

IPC: B81C1/00 ,  B81B1/00

Abstract: 本发明公开了一种电化学方法制作硅微通道过程中在微通道结构与衬底之间产生断层的方法，其制作步骤为：a)选取晶向硅片；b)制作掩模层；c)利用光刻的办法，先定义孔的位置；d)电化学阳极氧化，阳极使用浓度控制在2～5mol/l的氢氟酸与DMF或酒精的混合液，混合体积比为1∶1；e)调节F离子浓度，刻蚀电流大于10mA/cm2，可以在界面附近产生较强的横向刻蚀，从而形成断层。本发明的意义在于，利用产生断层的时机的控制，还可以有效控制所制作的硅微通道板的厚度，无需进行可能造成微通道板损坏的减薄和抛光，提高成品率。

公开(公告)号：CN101117206A

公开(公告)日：2008-02-06

申请号：CN200710044569.8

申请日：2007-08-03

Applicant: 上海交大学子科技创业有限公司 ,  华东师范大学

Inventor： 王连卫 ,  林继磊 ,  陈晓明 ,  徐少辉 ,  王振

IPC: B81C1/00 ,  B81B1/00

Abstract: 本发明公开了一种电化学方法制作硅微通道过程中在微通道结构与衬底之间产生断层的方法，其制作步骤为：a)选取晶向硅片；b)制作掩模层；c)利用光刻的办法，先定义孔的位置；d)电化学阳极氧化，阳极使用浓度控制在2～5mol/l的氢氟酸与DMF或酒精的混合液，混合体积比为1∶1；e)调节F离子浓度，刻蚀电流大于10mA/cm2，可以在界面附近产生较强的横向刻蚀，从而形成断层。本发明的意义在于，利用产生断层的时机的控制，还可以有效控制所制作的硅微通道板的厚度，无需进行可能造成微通道板损坏的减薄和抛光，提高成品率。

公开(公告)号：CN1820704A

公开(公告)日：2006-08-23

申请号：CN200610024689.7

申请日：2006-03-15

Applicant: 上海纳晶科技有限公司 ,  华东师范大学

Inventor： 王连卫 ,  汪潇 ,  陈晓明 ,  孙卓

IPC: A61B5/15

Abstract: 本发明涉及医学微机电系统技术领域，具体的说是一种微针头微量血液采集装置，包括微针头、支撑底座、加热装置、连接管和采集血液的驱动系统，微针头插入支撑底座排列成面积≥3×3mm2的微针头阵列，微针头阵列的底端连接连接管一端，连接管的另一端连接采集血液的驱动系统，与微针头阵列支撑底座底部相邻的连接管上套有一个加热装置。本发明与现有技术相比，热量是通过传导的方式给微针头和其基座加热的，所需温度较低，只需非常安全的低电压即可，加热时间也短，同时保证抽取的血液具有较高的活性，便于准确诊断。

公开(公告)号：CN101054158A

公开(公告)日：2007-10-17

申请号：CN200710037961.X

申请日：2007-03-09

Applicant: 华东师范大学

Inventor： 王连卫 ,  陈晓明 ,  林继磊

IPC: B81C1/00 ,  B81B1/00

Abstract: 本发明公开了一种硅微通道结构的自分离制作方法，其步骤包括：1.预处理；2.电化学过程；3.剥离，具体为：a.氧化/淀积掩膜；b.光刻；c.氢氧化钾腐蚀；d.去除掩膜；e.电化学深刻；f.微通道板剥离。利用本发明所阐述的制作方法制作出的大孔硅微通道，可具有易得高深宽比，容易分离等优点。

公开(公告)号：CN1817783A

公开(公告)日：2006-08-16

申请号：CN200610023143.X

申请日：2006-01-06

Applicant: 上海纳晶科技有限公司 ,  华东师范大学

Inventor： 王连卫 ,  汪潇 ,  陈晓明 ,  孙卓

IPC: B81C1/00 ,  A61M5/32 ,  A61M5/158

Abstract: 本发明涉及医疗器械和生物材料应用技术领域，具体的说是一种微针头的制造方法，其工艺步骤为：硅的微机械方法设计制作实心模具：首先制作腐蚀微针头模具所需的掩模，掩模材料采用厚度为1－3微米的厚氧化硅或Si3N4；通过光刻确定掩模的图形和微针头的中心位置；采用100晶向的Si制作针头硅模具、模具表面处理、电镀、针头和模具的分离工艺。本发明与现有技术相比，工艺简单，针头模具可反复使用，成本低廉，极具实用价值，值得推广。