公开(公告)号：CN114454095A

公开(公告)日：2022-05-10

申请号：CN202210055038.3

申请日：2022-01-18

Applicant: 北京烁科精微电子装备有限公司

Inventor： 郑宗浩 ,  李伟 ,  周博伦 ,  尹影

IPC: B24B53/14

Abstract: 本发明提供的一种用于抛光垫的修整装置，属于抛光技术领域，包括：基座，基座上具有向外伸出的连接杆；修整辊，通过安装架连接在连接杆上，修整辊可轴向转动的设于安装架上；修整辊具有用于修整抛光垫的工作段，该工作段的长度不小于抛光垫的半径；第一驱动件，设于所述安装架上，用于驱动所述修整辊转动。本发明的修整装置在修整过程中，第一驱动件驱动修整辊进行自转，修整辊在待修整区域内的线速度保持恒定、且在待修整区域的各个部位停留的时间也一致，使抛光垫各处的修整量均匀。另外，修整辊与抛光垫为线接触，易控制修整辊与抛光垫压紧，且易使抛光垫各部位的受力更加均匀，进一步使抛光垫各处的修整量均匀一致。

公开(公告)号：CN114473848A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202210099458.1

申请日：2022-01-27

Applicant: 北京烁科精微电子装备有限公司

Inventor： 周博伦 ,  刘福强 ,  李伟 ,  史霄

IPC: B24B37/10 ,  B24B37/12 ,  B24B37/34 ,  B24B55/02 ,  B24B41/04 ,  B24B49/00

Abstract: 本发明提供的一种具有冷却功能的抛光装置，包括：抛光盘具有上下贴合连接的第一盘体和第二盘体，第二盘体上开设有用于传感器穿过的避让孔；旋转轴连接在第二盘体上，用于驱动抛光盘旋转；冷却回路呈螺旋状盘布在第一盘体与第二盘体之间,冷却回路中适于流通冷却液；冷却回路的进/回液口均连通有软管，该软管穿过旋转轴的穿轴孔后、适于与冷却液箱连通；冷却回路对避让孔进行绕包，冷却液先流经绕包在避让孔周向的冷却回路；驱动组件至少部分设于旋转轴上，用于驱动旋转轴转动。本发明的冷却回路能够对抛光盘进行循环冷却，降低因热影响抛光液的化学反应；避让孔被冷却回路绕包，能够对传感器进行充分冷却，减小因安装传感器导致的散热不均问题。

公开(公告)号：CN115132623A

公开(公告)日：2022-09-30

申请号：CN202210698674.8

申请日：2022-06-20

Applicant: 北京烁科精微电子装备有限公司

Inventor： 刘福强 ,  尹影 ,  李婷 ,  史霄 ,  李伟 ,  舒福璋 ,  周博伦

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/687 ,  H01L21/02 ,  H01L21/304 ,  H01L21/463 ,  B24B27/00 ,  B24B41/00

Abstract: 本发明提供的一种晶圆研磨抛光装置及传输方法，属于晶圆制造技术领域，晶圆研磨抛光装置包括：依次设置的抛光区、清洗区和储存区；所述抛光区具有对称设置的第一抛光区和第二抛光区；所述清洗区具有对称设置的第一清洗区和第二清洗区；本发明的晶圆研磨抛光装置，通过抛光区和清洁区的对称设置，同时零部件具有100％替换性，既可以单侧工作，亦可以双侧共同工作，大大提高了设备的稳定性和可靠性；进一步的，设置结构合理，传输方便，提高了晶圆的流转效率，提高了抛光研磨装置的产能，进而也提高了晶圆产品的产率。