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公开(公告)号：CN107131825B
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201710181021.1
申请日：2017-03-24
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种判别并记录硅片位置的检测装置及方法，属于半导体搬运设备技术领域。硅片盒的插槽排列方式为梯形排列，上端有开口，从上向下看可以观测到每层硅片的边缘，红外线距离传感器安装在硅片盒的上方，信号发射路线沿竖直方向，气缸推动传感器进行直线运动，同时传感器的信号发射二极管通过硅片盒上端的开口向硅片发射信号，信号经过每层硅片边缘反射回来被接收二极管接收，位于不同层的硅片反射的信号不同，反射回来的信号经过采集卡传输给工控机，工控机通过软件对采集到的信号进行分析归类，机械手再根据工控机的数据进行工艺操作。本发明为硅片位置的识别和机械手操作的可靠性提供了实验基础。
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公开(公告)号：CN107131825A
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201710181021.1
申请日：2017-03-24
Applicant: 北京工业大学
CPC classification number: G01B11/002 , B25J9/12
Abstract: 本发明公开了一种判别并记录硅片位置的检测装置及方法，属于半导体搬运设备技术领域。硅片盒的插槽排列方式为梯形排列，上端有开口，从上向下看可以观测到每层硅片的边缘，红外线距离传感器安装在硅片盒的上方，信号发射路线沿竖直方向，气缸推动传感器进行直线运动，同时传感器的信号发射二极管通过硅片盒上端的开口向硅片发射信号，信号经过每层硅片边缘反射回来被接收二极管接收，位于不同层的硅片反射的信号不同，反射回来的信号经过采集卡传输给工控机，工控机通过软件对采集到的信号进行分析归类，机械手再根据工控机的数据进行工艺操作。本发明为硅片位置的识别和机械手操作的可靠性提供了实验基础。
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公开(公告)号：CN106379730B
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201610985244.9
申请日：2016-11-09
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明公开了采用母旋转式滚珠花键的双臂晶圆传输机器人旋转机构，机器人本体主要包括如下四个部分：底座机构、升降机构、旋转机构、手臂机构，升降机构安装在底座机构上，升降机构通过旋转机构与手臂机构连接。将T轴电机悬挂在Z轴升降台增加Z轴电机负载的缺点，采用母旋转式滚珠花键，实现T轴电机与升降台分离，减小Z轴电机负载。采用内外环一体型交叉滚珠轴环，其内外圈均可利用螺钉来固定，不需要过盈安装，可实现旋转机构的简易安装与拆卸。质量与转动惯量都很大会增加电机负载，且减小R轴电机安装空间的缺点，采用两头带螺纹孔的圆柱导杆实现转矩传递，可减小机器人重量，且使R轴电机安装空间更加紧凑。
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公开(公告)号：CN106379730A
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：CN201610985244.9
申请日：2016-11-09
Applicant: 北京工业大学
IPC: B65G47/80
CPC classification number: B65G47/80
Abstract: 本发明公开了采用母旋转式滚珠花键的双臂晶圆传输机器人旋转机构，机器人本体主要包括如下四个部分：底座机构、升降机构、旋转机构、手臂机构，升降机构安装在底座机构上，升降机构通过旋转机构与手臂机构连接。将T轴电机悬挂在Z轴升降台增加Z轴电机负载的缺点，采用母旋转式滚珠花键，实现T轴电机与升降台分离，减小Z轴电机负载。采用内外环一体型交叉滚珠轴环，其内外圈均可利用螺钉来固定，不需要过盈安装，可实现旋转机构的简易安装与拆卸。质量与转动惯量都很大会增加电机负载，且减小R轴电机安装空间的缺点，采用两头带螺纹孔的圆柱导杆实现转矩传递，可减小机器人重量，且使R轴电机安装空间更加紧凑。
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