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公开(公告)号：CN106671302A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201510749642.6
申请日：2015-11-06
Applicant: 北京中电科电子装备有限公司
Abstract: 本发明提供了一种划片机参数测量方法及装置，属于集成电路封装设备制造领域。所述划片机参数测量装置，应用于划片机，所述划片机包括工作台和位于所述工作台上方的刀体，所述参数测量装置包括：与所述刀体连接的主轴；带动所述主轴向下运动进而使所述刀体与所述工作台接触的运动机构，所述运动机构能够在所述刀体与所述工作台接触后带动所述主轴向上运动进而使所述刀体与所述工作台脱离接触；与所述主轴连接，能够在所述刀体与所述工作台接触时记录所述工作台的水平高度的记录器。本发明的技术方案在利用划片机对晶圆或硅片进行分割之前能够对承载晶圆或硅片的工作台进行精确测高。
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公开(公告)号：CN106493617A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201611064530.8
申请日：2016-11-28
Applicant: 北京中电科电子装备有限公司
CPC classification number: B24B55/03 , B24B7/228 , H01L21/67126
Abstract: 本发明实施例提供了一种中心通冷却液冷却的电主轴及减薄机，其中，电主轴的转轴上布置有第一冷却液通道，用于输入冷却液以及控制所述冷却液的流向；同时电主轴的转轴上端外周设置有气体密封及溢流通道，用于防止异常状况下冷却液从第一冷却液通道上端溢出时进入电机转子及其相邻零部件，本发明的方案能够在减薄机工作时对电主轴进行可靠有效冷却。
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公开(公告)号：CN102476194B
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201010567342.3
申请日：2010-11-25
Applicant: 北京中电科电子装备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种空气静压电主轴和空气静压电主轴的冷却装置，该空气静压电主轴包括壳体、套筒、径向轴承、转轴和转子等，其中，壳体的内壁具有至少一个沟槽，沟槽在轴向上在壳体的内壁延伸，套筒的外壁与壳体的内壁固定并贴合，使沟槽形成用于容纳冷却物的通道；套筒的内壁与径向轴承的外壁贴合；径向轴承呈筒状，其中容纳有转轴，径向轴承用于在径向轴承的内壁与转轴之间形成空气膜，并通过空气膜支撑转轴，并且，转轴的一端与转子固定连接。本发明能够对径向轴承、转轴等部分进行有效冷却，避免了因缺少对径向轴承部分的散热措施而使空气静压电主轴中的转轴等部件出现热变形而影响精度的问题。
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公开(公告)号：CN102347275A
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN201010243418.7
申请日：2010-08-02
Applicant: 北京中电科电子装备有限公司
IPC: H01L21/78
Abstract: 本发明提供一种划片机刀片的修整方法，涉及集成电路封装设备应用领域，为解决现有技术中晶圆切割品质低的技术问题而发明。所述方法包括：将刀片安装到划片机的主轴上，将修整板吸附在所述划片机的吸片台上；所述主轴带动所述刀片旋转，同时所述修整板以第一修整深度沿着划切方向移动，使所述刀片在所述修整板上进行第一次修整，所述第一修整深度为所述刀片在所述修整板上的划切痕迹的深度。本发明能够提高晶圆的切割品质。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118596024A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410801963.5
申请日：2024-06-20
Applicant: 北京中电科电子装备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种减薄机的磨抛气浮主轴及气浮方法，磨抛气浮主轴至少包括止推轴承、径向轴承和设置在径向轴承内的旋转体；止推轴承包括上止推轴承和连接在上止推轴承下方的下止推轴承，径向轴承设置在上止推轴承和下止推轴承之间；主轴上还设置有送气口和排气口，旋转体上设有排气结构，止推轴承和径向轴承上设有送气结构，旋转体分别与径向轴承、上止推轴承和下止推轴承之间形成有中间缝隙，送气口、送气结构、中间缝隙、排气结构和排气口形成所述主轴内的气浮通路。本发明制备的减薄机的磨抛气浮主轴及其气浮方法，可以简化排气道设计，更好保证排气顺畅，避免产生自激振动，同时可以利用排气对电机定、转子进行风冷，稳定主轴工作状态。
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公开(公告)号：CN105354858B
公开(公告)日：2018-04-24
申请号：CN201510901352.9
申请日：2015-12-09
Applicant: 北京中电科电子装备有限公司
Abstract: 本发明的实施例提供了一种划片机查找同一街区特征点的方法、装置及划片机，其中，该方法包括：在划片机采集到的待分割工件的图片中，存在多个与划片机中预先存储的标准模板数据相匹配的特征点时，获取待分割工件在一坐标系中X轴方向的第一分度值，以及Y轴方向的第二分度值；获取多个特征点中每个特征点在坐标系中X轴上的第一坐标值，以及Y轴上的第二坐标值；根据第一分度值、第二分度值、多个特征点的第一坐标值和第二坐标值，从多个特征点中查找出位于同一街区的特征点，本发明的实施例能在划片机工作的过程中，快速、准确地找到一幅图片中位于同一街区的特征点，提高划片机自动对准性能的可靠性。
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公开(公告)号：CN103137515B
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201110377546.5
申请日：2011-11-23
Applicant: 北京中电科电子装备有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供一种电主轴热漂移的控制装置、补偿方法及划片机，其中，控制装置包括：温度控制模块，用于对高速运转的电主轴进行冷却；热漂移补偿模块，用于获得冷却后的电主轴产生的热漂移量，并根据所述热漂移量对所述电主轴进行补偿。本发明的方案可以在划片机切割晶圆时对电主轴进行高效冷却，并通过划片机上配置的PC对电主轴热漂移进行补偿。
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公开(公告)号：CN102480092B
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201010567341.9
申请日：2010-11-25
Applicant: 北京中电科电子装备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种碳刷的制造方法、碳棒的制造方法、以及碳刷，该碳刷的制造方法包括：对石墨粉、铅粉和铜粉进行混合，得到混合物，其中，混合物中石墨粉的重量占混合物总重量的71％-79％，铅粉的重量占混合物总重量的17％-23％，铜粉的重量占混合物总重量的4％-6％；将粘接剂加入到混合物中并与混合物进行均匀混合；对加入粘接剂后的混合物进行成型处理，并对成型后的混合物进行加热；对加热后的混合物进行石墨化处理得到碳棒；将弹簧的一端与碳棒的一端连接，并将弹簧的另一端与具有导电性的连接轴的一端连接，将连接轴的另一端与后座固定。
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