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公开(公告)号：CN106671302A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201510749642.6
申请日：2015-11-06
Applicant: 北京中电科电子装备有限公司
Abstract: 本发明提供了一种划片机参数测量方法及装置，属于集成电路封装设备制造领域。所述划片机参数测量装置，应用于划片机，所述划片机包括工作台和位于所述工作台上方的刀体，所述参数测量装置包括：与所述刀体连接的主轴；带动所述主轴向下运动进而使所述刀体与所述工作台接触的运动机构，所述运动机构能够在所述刀体与所述工作台接触后带动所述主轴向上运动进而使所述刀体与所述工作台脱离接触；与所述主轴连接，能够在所述刀体与所述工作台接触时记录所述工作台的水平高度的记录器。本发明的技术方案在利用划片机对晶圆或硅片进行分割之前能够对承载晶圆或硅片的工作台进行精确测高。
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公开(公告)号：CN106404800A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201610945583.4
申请日：2016-11-02
Applicant: 北京中电科电子装备有限公司
IPC: G01N21/95
Abstract: 本发明涉及一种划片机视觉切换控制系统及划片机，所述划片机视觉切换控制系统包括第一视觉模块、第二视觉模块及切换控制模块，所述切换控制模块用于根据控制信号控制所述第一视觉模块或所述第二视觉模块观察观察目标，实现所述第一视觉模块与所述第二视觉模块的切换。本发明，抗干扰能力强，切换控制可靠，可以避免划片机工作过程中视觉系统效果对划切质量的影响，避免对准效果差、切割道模糊及刀痕偏移等现象，而且，具有结构简单，成本低廉的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106679894A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201510751007.1
申请日：2015-11-06
Applicant: 北京中电科电子装备有限公司
IPC: G01M3/16
CPC classification number: G01M3/165
Abstract: 本发明提供了一种划片机漏水检测方法及装置，属于集成电路封装设备制造领域。所述划片机放置在两条相对设置的导轨上，所述导轨放置在导轨安装基座上，所述漏水检测装置包括：设置在所述导轨安装基座上、相互绝缘并行缠绕的第一漏水检测线和第二漏水检测线，所述第一漏水检测线和第二漏水检测线的第一端均悬空；与所述第一漏水检测线和第二漏水检测线的第二端分别连接的漏水检测电路，在所述划片机漏水时，所述漏水检测电路的输出端的输出电位能够发生变化；与所述漏水检测电路的输出端连接的处理器，能够根据所述漏水检测电路的输出电位判断所述划片机是否漏水。本发明的技术方案能够检测划片机的划切箱是否漏水。
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公开(公告)号：CN103137515A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201110377546.5
申请日：2011-11-23
Applicant: 北京中电科电子装备有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供一种电主轴热漂移的控制装置、补偿方法及划片机，其中，控制装置包括：温度控制模块，用于对高速运转的电主轴进行冷却；热漂移补偿模块，用于获得冷却后的电主轴产生的热漂移量，并根据所述热漂移量对所述电主轴进行补偿。本发明的方案可以在划片机切割晶圆时对电主轴进行高效冷却，并通过划片机上配置的PC对电主轴热漂移进行补偿。
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公开(公告)号：CN106404800B
公开(公告)日：2019-08-30
申请号：CN201610945583.4
申请日：2016-11-02
Applicant: 北京中电科电子装备有限公司
IPC: G01N21/95
Abstract: 本发明涉及一种划片机视觉切换控制系统及划片机，所述划片机视觉切换控制系统包括第一视觉模块、第二视觉模块及切换控制模块，所述切换控制模块用于根据控制信号控制所述第一视觉模块或所述第二视觉模块观察观察目标，实现所述第一视觉模块与所述第二视觉模块的切换。本发明，抗干扰能力强，切换控制可靠，可以避免划片机工作过程中视觉系统效果对划切质量的影响，避免对准效果差、切割道模糊及刀痕偏移等现象，而且，具有结构简单，成本低廉的优点。
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公开(公告)号：CN103630537A
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201210296515.1
申请日：2012-08-20
Applicant: 北京中电科电子装备有限公司
IPC: G01N21/84
Abstract: 本发明提供了一种划片机刀具状态检测装置、方法及划片机，通过设置用于按预设采集周期及采集数量，采集通过划片机刀具刃口的光纤信号的光纤信号采集模块；用于将所述光纤信号采集模块采集的光纤信号转换为对应的离散数字信号的数据转换模块；用于根据所述数据转换模块获取的离散数字信号数据，计算获取划片机刀具磨损状态参数，并基于磨损状态参数，确定划片机刀具的磨损状态的数据处理模块；用于当所述数据处理模块确定刀具的磨损状态参数超过对应的预设门限值时，执行报警动作，并停止划片机工作的报警模块。从而在不影响划片机正常工作的情况下，实现对划片机刀具的快速检测，具有检测精度高、抗干扰强等优点。
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公开(公告)号：CN103137515B
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201110377546.5
申请日：2011-11-23
Applicant: 北京中电科电子装备有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供一种电主轴热漂移的控制装置、补偿方法及划片机，其中，控制装置包括：温度控制模块，用于对高速运转的电主轴进行冷却；热漂移补偿模块，用于获得冷却后的电主轴产生的热漂移量，并根据所述热漂移量对所述电主轴进行补偿。本发明的方案可以在划片机切割晶圆时对电主轴进行高效冷却，并通过划片机上配置的PC对电主轴热漂移进行补偿。
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