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公开(公告)号：CN114911140A
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202210113166.9
申请日：2022-01-30
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及照明光学系统、曝光装置以及物品的制造方法。提供一种对被照明面进行照明的照明光学系统，其特征在于，具有：光学积分器，利用来自光源的光形成2次光源；以及变形透镜，所述光学积分器包括：入射侧光学元件，排列有多个第1光学元素；以及射出侧光学元件，包括与所述多个第1光学元素中的每一个对应地排列的多个第2光学元素，所述变形透镜配置于所述入射侧光学元件与所述射出侧光学元件之间。
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公开(公告)号：CN104792344B
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201510210155.2
申请日：2012-10-16
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G01D5/38 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G01D5/34715 , G03F7/00 , G03F7/0002 , G03F9/7038
Abstract: 一种检测器、压印装置以及物品制造方法，该检测器用于检测由形成在第一和第二物体上的标记衍射的衍射光分量的干涉光，该检测器包括：照明光学系统，被配置为形成包括第一极和第二极的强度分布，第一极和第二极对布置在第一物体上的第一标记和布置在第二物体上的第二标记进行照明；以及检测光学系统，被配置为检测由被照明光学系统照明的第一标记和第二标记衍射的光分量的干涉光。检测光学系统检测当第一极的光被照射在第一标记和第二标记上并被第一标记和第二标记衍射时生成的衍射光分量的干涉光。检测光学系统不检测当第二极的光被照射在第一标记和第二标记上并被第一标记和第二标记衍射时生成的衍射光分量。
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公开(公告)号：CN104792344A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201510210155.2
申请日：2012-10-16
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G01D5/38 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G01D5/34715 , G03F7/00 , G03F7/0002 , G03F9/7038
Abstract: 一种检测器、压印装置以及物品制造方法，该检测器用于检测由形成在第一和第二物体上的标记衍射的衍射光分量的干涉光，该检测器包括：照明光学系统，被配置为形成包括第一极和第二极的强度分布，第一极和第二极对布置在第一物体上的第一标记和布置在第二物体上的第二标记进行照明；以及检测光学系统，被配置为检测由被照明光学系统照明的第一标记和第二标记衍射的光分量的干涉光。检测光学系统检测当第一极的光被照射在第一标记和第二标记上并被第一标记和第二标记衍射时生成的衍射光分量的干涉光。检测光学系统不检测当第二极的光被照射在第一标记和第二标记上并被第一标记和第二标记衍射时生成的衍射光分量。
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公开(公告)号：CN104614937B
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201510101359.2
申请日：2012-05-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F9/7042 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F9/7088
Abstract: 本发明涉及压印设备。该压印设备被配置为通过使用其上形成有图案的模子来将所述图案转印到供应在衬底上的压印材料，所述压印设备包括：光接收元件；检测系统，所述检测系统被配置为照射在所述衬底上形成的标记和在所述模子上形成的标记，以及将从在所述衬底上形成的标记和在所述模子上形成的标记反射的光引导到所述光接收元件；以及中继光学系统。所述中继光学系统被配置为在所述中继光学系统与所述检测系统之间形成从在所述衬底上形成的标记和在所述模子上形成的标记反射的光的图像。所述检测系统被配置为将由所述中继光学系统形成图像的光引导到所述光接收元件。
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公开(公告)号：CN102789127B
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201210153656.8
申请日：2012-05-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F9/7042 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F9/7088
Abstract: 本发明涉及压印设备、压印方法和装置制造方法。该压印设备被配置为通过使用其上形成有图案的模子来将所述图案转印到供应在衬底上的压印材料，所述压印设备包括：光接收元件；检测系统，所述检测系统被配置为照射在所述衬底上形成的标记和在所述模子上形成的标记，以及将从在所述衬底上形成的标记和在所述模子上形成的标记反射的光引导到所述光接收元件；以及中继光学系统。所述中继光学系统被配置为在所述中继光学系统与所述检测系统之间形成从在所述衬底上形成的标记和在所述模子上形成的标记反射的光的图像。所述检测系统被配置为将由所述中继光学系统形成图像的光引导到所述光接收元件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104614937A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201510101359.2
申请日：2012-05-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F9/7042 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F9/7088
Abstract: 本发明涉及压印设备。该压印设备被配置为通过使用其上形成有图案的模子来将所述图案转印到供应在衬底上的压印材料，所述压印设备包括：光接收元件；检测系统，所述检测系统被配置为照射在所述衬底上形成的标记和在所述模子上形成的标记，以及将从在所述衬底上形成的标记和在所述模子上形成的标记反射的光引导到所述光接收元件；以及中继光学系统。所述中继光学系统被配置为在所述中继光学系统与所述检测系统之间形成从在所述衬底上形成的标记和在所述模子上形成的标记反射的光的图像。所述检测系统被配置为将由所述中继光学系统形成图像的光引导到所述光接收元件。
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公开(公告)号：CN102789127A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201210153656.8
申请日：2012-05-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F9/7042 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F9/7088
Abstract: 本发明涉及压印设备、压印方法和装置制造方法。该压印设备被配置为通过使用其上形成有图案的模子来将所述图案转印到供应在衬底上的压印材料，所述压印设备包括：光接收元件；检测系统，所述检测系统被配置为照射在所述衬底上形成的标记和在所述模子上形成的标记，以及将从在所述衬底上形成的标记和在所述模子上形成的标记反射的光引导到所述光接收元件；以及中继光学系统。所述中继光学系统被配置为在所述中继光学系统与所述检测系统之间形成从在所述衬底上形成的标记和在所述模子上形成的标记反射的光的图像。所述检测系统被配置为将由所述中继光学系统形成图像的光引导到所述光接收元件。
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公开(公告)号：CN116974145A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202310451335.4
申请日：2023-04-25
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及照明光学系统、曝光装置以及物品的制造方法。提供一种有利于提高被照明面处的照度均匀性的技术。一种照明光学系统，使用来自光源的光束对被照明面进行照明，该照明光学系统具备：积分器，包括在第1方向上周期性地排列的多个第1光学元件，由来自所述光源的光束形成多个二次光源；透镜，用于使用来自所述多个二次光源的光束对所述被照明面进行照明；及光发散构件，包括在第2方向上周期性地排列的多个第2光学元件，配置于所述光源与所述积分器之间的光路上，以利用所述多个第2光学元件的各个使来自所述光源的光束发散而入射到所述积分器，所述第1方向和所述第2方向所成的角度比0度大且比45度小。
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公开(公告)号：CN111505915A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010077600.3
申请日：2020-01-31
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 公开了测量装置、曝光装置和制造物品的方法。本发明提供了一种测量物体的位置的测量装置，该测量装置包括：被配置成用照明光照亮物体的照明系统，被配置成在被配置成检测物体的图像的光电转换器件上形成来自物体的检测光的图像的图像形成系统，以及分离系统，该分离系统包括布置在照明系统和图像形成系统之间的反射偏振器和λ/4板并且被配置成经由反射偏振器和λ/4板将照明光与检测光分离，其中，分离系统包括布置在反射偏振器和λ/4板之间的至少一个光学构件，并且照明系统和图像形成系统中各自包括透射偏振器。
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