-
公开(公告)号：CN114365045B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202080061309.5
申请日：2020-07-21
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 小林大辅
IPC: G03F7/20
Abstract: 为了有利地抑制被照射表面上的光强度分布的重心光线的偏离等，扫描曝光装置的照明光学系统具有：第一遮光单元，包括第一和第二遮光构件，其包括在扫描方向上互相面对的端部，其间在扫描方向上的相对距离可变；第二遮光单元，包括第三和第四遮光构件，其包括在扫描方向上互相面对的端部，其间在扫描方向上的相对距离可变，第一和第二遮光单元分别布置在朝光源侧和朝被照射表面侧离开被照射表面的共轭平面的位置处，在垂直于扫描方向的方向上共轭平面中的预定位置，第一和第二遮光构件互相面对的端部的中点与包括照明光学系统的光轴且与扫描方向垂直的平面之间的第一距离与上述平面与第三和第四遮光构件互相面对的端部的中点之间的第二距离一致。
-
公开(公告)号：CN116774533A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202310823157.3
申请日：2020-07-21
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 小林大辅
IPC: G03F7/20
Abstract: 本公开涉及曝光装置以及物品的制造方法。曝光装置一边使原版和基板在扫描方向上移动一边对基板进行曝光，具有利用来自光源的光对原版的被照明面进行照明的照明光学系统。照明光学系统包括：第1遮光部，配置于从被照明面的共轭面向光源侧离开的位置；第2遮光部，配置于从共轭面向被照明面侧离开的位置；以及遮蔽部，配置于第1遮光部与第2遮光部之间，划定被照明面的照明范围，沿着照明光学系统的光轴的方向上的共轭面与第1遮光部之间的第1距离以及沿着光轴的方向上的共轭面与第2遮光部之间的第2距离的和是5mm以上并且20mm以下，第1遮光部以及第2遮光部被配置成第1距离和第2距离不同。
-
公开(公告)号：CN114365045A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202080061309.5
申请日：2020-07-21
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 小林大辅
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明更有利地防止在被照射表面上的光强度分布中重心光线的偏离。扫描曝光装置的照明光学系统具有第一遮光单元(18)和第二遮光单元(19)，第一遮光单元包括第一和第二遮光构件，第一和第二遮光构件之间在扫描方向上的相对距离可变并且第一和第二遮光构件均具有在扫描方向上面向另一构件的端部的端部，第二遮光单元包括第三和第四遮光构件，第三和第四遮光构件之间在扫描方向上的相对距离可变并且第三和第四遮光构件均具有在扫描方向上面向另一构件的端部的端部。第一遮光单元和第二遮光单元分别布置在朝向光源侧和朝向非照射表面侧离开被照射表面的共轭平面的位置处。在垂直于扫描方向的方向上共轭平面中的预定位置，第一和第二遮光构件的互相面对的端部的中点与包括照明光学系统的光轴且与扫描方向垂直的平面之间的第一距离与上述平面与第三和第四遮光构件的互相面对的端部的中点之间的第二距离一致。
-
公开(公告)号：CN109491208B
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN201811034310.X
申请日：2018-09-06
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及照明光学系统、曝光装置以及制造物品的方法。本发明提供了一种照明光学系统，该照明光学系统通过使用来自光源的光束对待照明的表面进行照明，包括：被配置为透射来自光源的光束的光学元件；以及具有入射表面的构件，透过所述光学元件的光束入射在该入射表面上，其中，所述光学元件具有包括所述光学元件的中央部分的第一区域和在所述第一区域外部的第二区域，并且其中，所述光学元件被形成为使透过所述第一区域的光束的一部分和透过所述第二区域的光束的一部分在所述入射表面上重叠。
-
公开(公告)号：CN105383174B
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201510526415.7
申请日：2015-08-25
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/11
CPC classification number: B41J2/04551 , B41J2/04513 , B41J2/04515 , B41J2/04536 , B41J2/04545 , B41J2/04568 , B41J2/1752 , B41J2/17566 , B41J2/2054 , B41J2/2132 , B41J29/02 , B41J29/38
Abstract: 本发明提供一种喷墨记录装置及喷墨记录方法。如果墨能够被用尽，并且针对一个单位区域的喷墨量大，则通过增大的扫描次数来进行在单位区域上的记录。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119484707A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411073556.3
申请日：2024-08-06
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明公开了图像处理设备、方法、存储程序的非暂态计算机可读存储介质和程序产品。打印单元包括被配置为能够在对象的各个像素的第一区中打印点的第一打印单元、以及被配置为能够在对象的各个像素的第二区中打印点的第二打印单元。作为点布置单元的处理的结果，在对象的第一边缘部中的第一边缘像素中，在第二区中布置点的比率低于在第一区中布置点的比率，并且在对象的与第一边缘部不同的第二边缘部中的第二边缘像素中，在第一区中布置点的比率低于在第二区中布置点的比率。
-
公开(公告)号：CN116047867A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202211306939.1
申请日：2022-10-25
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及曝光装置、曝光方法以及物品的制造方法。本发明提供有利于降低在基板上产生的曝光不均的曝光装置。针对基板中的同一拍摄区域进行多次扫描曝光的曝光装置具备：光源部，周期性地射出脉冲光；以及控制部，使用从所述光源部射出的脉冲光来控制所述多次扫描曝光，所述控制部以使在所述多次扫描曝光中的各次扫描曝光中在所述拍摄区域上周期性地产生的曝光不均通过所述多次扫描曝光而至少部分性地相抵的方式，根据所述曝光不均的周期，在所述多次扫描曝光中变更扫描曝光中的来自所述光源部的脉冲光的射出开始定时。
-
公开(公告)号：CN111381455A
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201911333037.5
申请日：2019-12-23
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及照明光学系统、曝光装置以及产品的制造方法，提供一种有益于使与照明模式对应的能量密度的光入射到光学积分器的技术。使用来自光源的光对被照明面进行照明的照明光学系统包括：生成部，使来自光源的光衍射，将多个种类的光强度分布中选择出的光强度分布生成于光瞳面；光学积分器，配置于生成部与被照明面之间的光路上；及光透射部件，配置于生成部与光学积分器之间的光路上，多个种类的光强度分布包括光瞳面处的分布形状相互不同的第1光强度分布和第2光强度分布，光透射部件包括在第1光强度分布生成时和第2光强度分布生成时光共同地透射的第1区域和第1区域以外的第2区域，第1区域包括光的发散程度比第2区域高的发散部。
-
公开(公告)号：CN109491208A
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201811034310.X
申请日：2018-09-06
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03B21/2033 , G02B27/0916 , G02B27/0955 , G03F7/70075 , G03F7/70191 , G03F7/7015 , G03F7/70025 , G03F7/70158
Abstract: 本发明涉及照明光学系统、曝光装置以及制造物品的方法。本发明提供了一种照明光学系统，该照明光学系统通过使用来自光源的光束对待照明的表面进行照明，包括：被配置为透射来自光源的光束的光学元件；以及具有入射表面的构件，透过所述光学元件的光束入射在该入射表面上，其中，所述光学元件具有包括所述光学元件的中央部分的第一区域和在所述第一区域外部的第二区域，并且其中，所述光学元件被形成为使透过所述第一区域的光束的一部分和透过所述第二区域的光束的一部分在所述入射表面上重叠。
-
公开(公告)号：CN109426097A
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201810983842.1
申请日：2018-08-28
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G02B26/02 , G02B5/005 , G02B19/0047 , G02B19/0076 , G02B19/0085 , G02B26/023 , G03F7/70108 , G03F7/70141 , G03F7/70158 , G03F7/70191 , G03F7/70091
Abstract: 本发明涉及曝光装置、调整方法和物品制造方法。提供一种曝光装置。装置中的照明光学系统包含衍射光学元件、会聚光学系统、检测从会聚光学系统出射的光束的检测器、以及能够在光路中在会聚光学系统会聚光束的预先确定的面附近的位置被插入/去除的第一光阑。第一光阑具有开口直径，使得当来自光源的光在衍射光学元件上的入射角度偏离目标角度时检测器的输出减小。基于第一光阑被插入到所述位置中时的检测器的输出和第一光阑从所述位置缩回时的检测器的输出，控制器执行调整入射角度的处理。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
22
records
(took 0.02 seconds)
