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公开(公告)号：CN109491208B
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN201811034310.X
申请日：2018-09-06
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及照明光学系统、曝光装置以及制造物品的方法。本发明提供了一种照明光学系统，该照明光学系统通过使用来自光源的光束对待照明的表面进行照明，包括：被配置为透射来自光源的光束的光学元件；以及具有入射表面的构件，透过所述光学元件的光束入射在该入射表面上，其中，所述光学元件具有包括所述光学元件的中央部分的第一区域和在所述第一区域外部的第二区域，并且其中，所述光学元件被形成为使透过所述第一区域的光束的一部分和透过所述第二区域的光束的一部分在所述入射表面上重叠。
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公开(公告)号：CN109426097B
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN201810983842.1
申请日：2018-08-28
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及曝光装置、调整方法和物品制造方法。提供一种曝光装置。装置中的照明光学系统包含衍射光学元件、会聚光学系统、检测从会聚光学系统出射的光束的检测器、以及能够在光路中在会聚光学系统会聚光束的预先确定的面附近的位置被插入/去除的第一光阑。第一光阑具有开口直径，使得当来自光源的光在衍射光学元件上的入射角度偏离目标角度时检测器的输出减小。基于第一光阑被插入到所述位置中时的检测器的输出和第一光阑从所述位置缩回时的检测器的输出，控制器执行调整入射角度的处理。
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公开(公告)号：CN109491208A
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201811034310.X
申请日：2018-09-06
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03B21/2033 , G02B27/0916 , G02B27/0955 , G03F7/70075 , G03F7/70191 , G03F7/7015 , G03F7/70025 , G03F7/70158
Abstract: 本发明涉及照明光学系统、曝光装置以及制造物品的方法。本发明提供了一种照明光学系统，该照明光学系统通过使用来自光源的光束对待照明的表面进行照明，包括：被配置为透射来自光源的光束的光学元件；以及具有入射表面的构件，透过所述光学元件的光束入射在该入射表面上，其中，所述光学元件具有包括所述光学元件的中央部分的第一区域和在所述第一区域外部的第二区域，并且其中，所述光学元件被形成为使透过所述第一区域的光束的一部分和透过所述第二区域的光束的一部分在所述入射表面上重叠。
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公开(公告)号：CN109426097A
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201810983842.1
申请日：2018-08-28
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G02B26/02 , G02B5/005 , G02B19/0047 , G02B19/0076 , G02B19/0085 , G02B26/023 , G03F7/70108 , G03F7/70141 , G03F7/70158 , G03F7/70191 , G03F7/70091
Abstract: 本发明涉及曝光装置、调整方法和物品制造方法。提供一种曝光装置。装置中的照明光学系统包含衍射光学元件、会聚光学系统、检测从会聚光学系统出射的光束的检测器、以及能够在光路中在会聚光学系统会聚光束的预先确定的面附近的位置被插入/去除的第一光阑。第一光阑具有开口直径，使得当来自光源的光在衍射光学元件上的入射角度偏离目标角度时检测器的输出减小。基于第一光阑被插入到所述位置中时的检测器的输出和第一光阑从所述位置缩回时的检测器的输出，控制器执行调整入射角度的处理。
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