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公开(公告)号：CN104849956B
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201510080276.X
申请日：2015-02-13
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本公开提供了一种检测装置、压印装置及物品的制造方法。所述检测装置被构造为检测由具有彼此不同的栅格节距的栅格图案生成的莫尔纹图案，所述检测装置包括：摄像单元，其被构造为拍摄所述莫尔纹图案的图像；成像光学系统，其被构造为使摄像单元对所述莫尔纹图案进行成像；以及处理单元，其被构造为对由所述摄像单元拍摄到的所述莫尔纹图案的摄像结果进行处理，其中所述摄像单元拍摄包括具有不大于所述成像光学系统的分辨能力的宽度的多个图案的标记，所述多个图案布置在测量方向上并且所述多个图案的宽度和间隔之间的占空比被变化，并且所述处理单元通过对由所述摄像单元拍摄到的标记的所述摄像结果进行处理，来评估所述检测装置。
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公开(公告)号：CN103105127A
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201210392532.5
申请日：2012-10-16
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G01D5/38 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G01D5/34715 , G03F7/00 , G03F7/0002 , G03F9/7038
Abstract: 一种检测器、压印装置以及物品制造方法，该检测器用于检测由形成在第一和第二物体上的标记衍射的衍射光分量的干涉光，该检测器包括：照明光学系统，被配置为形成包括第一极和第二极的强度分布，第一极和第二极对布置在第一物体上的第一标记和布置在第二物体上的第二标记进行照明；以及检测光学系统，被配置为检测由被照明光学系统照明的第一标记和第二标记衍射的光分量的干涉光。检测光学系统检测当第一极的光被照射在第一标记和第二标记上并被第一标记和第二标记衍射时生成的衍射光分量的干涉光。检测光学系统不检测当第二极的光被照射在第一标记和第二标记上并被第一标记和第二标记衍射时生成的衍射光分量。
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公开(公告)号：CN105093845B
公开(公告)日：2018-03-23
申请号：CN201510257107.9
申请日：2015-05-20
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70725 , G03F7/70775 , G03F9/7003 , G03F9/7049
Abstract: 本发明涉及光刻装置、确定方法和产品的制造方法。本发明提供一种在基板上形成图案的光刻装置，该装置包括：台架，保持基板并且是能移动的；测量单元，被配置为用光照射台架的侧表面并且基于由侧表面反射的光来测量台架的位置；产生单元，被配置为在台架移动的空间中产生气流；检测单元，被配置为检测在基板上形成的多个样本投射区域的各自的位置；以及控制单元，被配置为确定通过检测单元检测样本投射区域的次序，使得在位于气流的相对于基板中心的下游侧的样本投射区域当中，从最接近测量单元的样本投射区域开始依次执行检测单元的检测。
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公开(公告)号：CN104375395B
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：CN201410398286.3
申请日：2014-08-13
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F9/00
CPC classification number: G03F9/7042 , G03F7/0002 , G03F7/70141
Abstract: 本发明提供一种光刻装置、对准方法及物品的制造方法。该光刻装置用于将原版上形成的图案转印至基板上的多个拍摄区域中的各个，所述光刻装置包括：检测单元，其被构造为检测所述拍摄区域中配设的标记以及所述原版上配设的标记；以及控制单元，其被构造为在所述拍摄区域与所述原版的图案之间的叠加误差落入容许范围内的情况下，以使得由所述检测单元检测的目标区域中的标记与所述原版上的标记偏移了在所述拍摄区域中的各标记与所述原版上的各标记之间生成的位置偏移量的方式，来控制目标拍摄区域与所述原版的图案之间的对准。
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公开(公告)号：CN104792344B
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201510210155.2
申请日：2012-10-16
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G01D5/38 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G01D5/34715 , G03F7/00 , G03F7/0002 , G03F9/7038
Abstract: 一种检测器、压印装置以及物品制造方法，该检测器用于检测由形成在第一和第二物体上的标记衍射的衍射光分量的干涉光，该检测器包括：照明光学系统，被配置为形成包括第一极和第二极的强度分布，第一极和第二极对布置在第一物体上的第一标记和布置在第二物体上的第二标记进行照明；以及检测光学系统，被配置为检测由被照明光学系统照明的第一标记和第二标记衍射的光分量的干涉光。检测光学系统检测当第一极的光被照射在第一标记和第二标记上并被第一标记和第二标记衍射时生成的衍射光分量的干涉光。检测光学系统不检测当第二极的光被照射在第一标记和第二标记上并被第一标记和第二标记衍射时生成的衍射光分量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104792344A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201510210155.2
申请日：2012-10-16
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G01D5/38 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G01D5/34715 , G03F7/00 , G03F7/0002 , G03F9/7038
Abstract: 一种检测器、压印装置以及物品制造方法，该检测器用于检测由形成在第一和第二物体上的标记衍射的衍射光分量的干涉光，该检测器包括：照明光学系统，被配置为形成包括第一极和第二极的强度分布，第一极和第二极对布置在第一物体上的第一标记和布置在第二物体上的第二标记进行照明；以及检测光学系统，被配置为检测由被照明光学系统照明的第一标记和第二标记衍射的光分量的干涉光。检测光学系统检测当第一极的光被照射在第一标记和第二标记上并被第一标记和第二标记衍射时生成的衍射光分量的干涉光。检测光学系统不检测当第二极的光被照射在第一标记和第二标记上并被第一标记和第二标记衍射时生成的衍射光分量。
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公开(公告)号：CN104614937B
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201510101359.2
申请日：2012-05-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F9/7042 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F9/7088
Abstract: 本发明涉及压印设备。该压印设备被配置为通过使用其上形成有图案的模子来将所述图案转印到供应在衬底上的压印材料，所述压印设备包括：光接收元件；检测系统，所述检测系统被配置为照射在所述衬底上形成的标记和在所述模子上形成的标记，以及将从在所述衬底上形成的标记和在所述模子上形成的标记反射的光引导到所述光接收元件；以及中继光学系统。所述中继光学系统被配置为在所述中继光学系统与所述检测系统之间形成从在所述衬底上形成的标记和在所述模子上形成的标记反射的光的图像。所述检测系统被配置为将由所述中继光学系统形成图像的光引导到所述光接收元件。
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公开(公告)号：CN102789127B
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201210153656.8
申请日：2012-05-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F9/7042 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F9/7088
Abstract: 本发明涉及压印设备、压印方法和装置制造方法。该压印设备被配置为通过使用其上形成有图案的模子来将所述图案转印到供应在衬底上的压印材料，所述压印设备包括：光接收元件；检测系统，所述检测系统被配置为照射在所述衬底上形成的标记和在所述模子上形成的标记，以及将从在所述衬底上形成的标记和在所述模子上形成的标记反射的光引导到所述光接收元件；以及中继光学系统。所述中继光学系统被配置为在所述中继光学系统与所述检测系统之间形成从在所述衬底上形成的标记和在所述模子上形成的标记反射的光的图像。所述检测系统被配置为将由所述中继光学系统形成图像的光引导到所述光接收元件。
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公开(公告)号：CN105093845A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510257107.9
申请日：2015-05-20
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70725 , G03F7/70775 , G03F9/7003 , G03F9/7049
Abstract: 本发明涉及光刻装置、确定方法和产品的制造方法。本发明提供一种在基板上形成图案的光刻装置，该装置包括：台架，保持基板并且是能移动的；测量单元，被配置为用光照射台架的侧表面并且基于由侧表面反射的光来测量台架的位置；产生单元，被配置为在台架移动的空间中产生气流；检测单元，被配置为检测在基板上形成的多个样本投射区域的各自的位置；以及控制单元，被配置为确定通过检测单元检测样本投射区域的次序，使得在位于气流的相对于基板中心的下游侧的样本投射区域当中，从最接近测量单元的样本投射区域开始依次执行检测单元的检测。
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公开(公告)号：CN104849956A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510080276.X
申请日：2015-02-13
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本公开提供了一种检测装置、压印装置及物品的制造方法。所述检测装置被构造为检测由具有彼此不同的栅格节距的栅格图案生成的莫尔纹图案，所述检测装置包括：摄像单元，其被构造为拍摄所述莫尔纹图案的图像；成像光学系统，其被构造为使摄像单元对所述莫尔纹图案进行成像；以及处理单元，其被构造为对由所述摄像单元拍摄到的所述莫尔纹图案的摄像结果进行处理，其中所述摄像单元拍摄包括具有不大于所述成像光学系统的分辨能力的宽度的多个图案的标记，所述多个图案布置在测量方向上并且所述多个图案的宽度和间隔之间的占空比被变化，并且所述处理单元通过对由所述摄像单元拍摄到的标记的所述摄像结果进行处理，来评估所述检测装置。
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