输送系统、其控制方法、处理系统以及物品的制造方法

    公开(公告)号:CN113562425B

    公开(公告)日:2023-05-23

    申请号:CN202111078977.1

    申请日:2018-09-25

    Abstract: 本发明提供输送系统、其控制方法、处理系统以及物品的制造方法。一种输送系统包括:第一输送模块,滑架在第一输送模块上沿第一方向移动;第二输送模块,其被构造为能够向用于连接到第一输送模块的位置移动,并且在第二输送模块上,滑架能够向第一输送模块移动和从第一输送模块移动;位置检测单元,其检测第二输送模块在移动方向上的位置,并且输出位置信息;以及控制单元,其控制滑架在第一输送模块上的移动以及第二输送模块沿与第一方向相交的第二方向的移动,其中,基于从位置检测单元输出的位置信息,控制单元对第二输送模块连接到第一输送模块的位置进行校正。

    线性致动器
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112448559B

    公开(公告)日:2024-08-20

    申请号:CN202010909392.9

    申请日:2020-09-02

    Inventor: 冈崎亮太

    Abstract: 一种线性致动器,其包括导轨、壁部分、线圈、传热构件、热辐射构件和绝热构件。具有永磁体的动子可沿着导轨移动。壁部分安装在基座上并支撑导轨。传热构件联接到线圈,并且热辐射构件联接到传热构件的端部。绝热构件安装在基座上并联接到热辐射构件。传热构件布置成与壁部分分离开。

    输送系统、处理系统以及物品的制造方法

    公开(公告)号:CN109551219A

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201811113994.2

    申请日:2018-09-25

    Abstract: 本发明提供输送系统、处理系统以及物品的制造方法。实施例包括:第一输送模块,滑架在第一输送模块上移动;第二输送模块,其被构造为能够向用于连接到第一输送模块的位置移动,并且在第二输送模块上,滑架能够向第一输送模块移动和从第一输送模块移动;位置检测单元,其检测第二输送模块在移动方向上的位置,并且输出位置信息;第一控制单元,其控制滑架在第一输送模块上的移动;第二控制单元,其控制滑架在第二输送模块上的移动;第三控制单元,其控制第二输送模块的移动;以及第四控制单元,其控制第一至第三控制单元。第四控制单元基于位置信息对第二输送模块连接到第一输送模块的位置进行校正。

    输送系统、处理系统以及物品的制造方法

    公开(公告)号:CN109551219B

    公开(公告)日:2021-09-21

    申请号:CN201811113994.2

    申请日:2018-09-25

    Abstract: 本发明提供输送系统、处理系统以及物品的制造方法。实施例包括:第一输送模块,滑架在第一输送模块上移动;第二输送模块,其被构造为能够向用于连接到第一输送模块的位置移动,并且在第二输送模块上,滑架能够向第一输送模块移动和从第一输送模块移动;位置检测单元,其检测第二输送模块在移动方向上的位置,并且输出位置信息;第一控制单元,其控制滑架在第一输送模块上的移动;第二控制单元,其控制滑架在第二输送模块上的移动;第三控制单元,其控制第二输送模块的移动;以及第四控制单元,其控制第一至第三控制单元。第四控制单元基于位置信息对第二输送模块连接到第一输送模块的位置进行校正。

    线性致动器
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112448559A

    公开(公告)日:2021-03-05

    申请号:CN202010909392.9

    申请日:2020-09-02

    Inventor: 冈崎亮太

    Abstract: 一种线性致动器,其包括导轨、壁部分、线圈、传热构件、热辐射构件和绝热构件。具有永磁体的动子可沿着导轨移动。壁部分安装在基座上并支撑导轨。传热构件联接到线圈,并且热辐射构件联接到传热构件的端部。绝热构件安装在基座上并联接到热辐射构件。传热构件布置成与壁部分分离开。

    吸附机构、物品制造装置、半导体制造装置

    公开(公告)号:CN115699272A

    公开(公告)日:2023-02-03

    申请号:CN202180037465.2

    申请日:2021-04-16

    Abstract: 提供一种吸附机构,包括:能够通过抽吸来吸附工件(11)的工具(21);具有抽吸路径(116)的工具保持器(22);以及定位部(117),该定位部在工具保持器(22)保持工具(21)的情况下对准工具(21)相对于工具保持器(22)的相对位置。定位部(117)包括布置在工具(21)和工具保持器(22)中的一个上的至少一个凸部(102)和布置在工具(21)和工具保持器(22)中的另一个上并能够与凸部(102)装配的至少一个凹部(112),所述至少一个凸部(102)由弹性材料形成并具有锥形表面(107)。

    运输系统、加工系统和物品制造方法

    公开(公告)号:CN109720789B

    公开(公告)日:2022-09-02

    申请号:CN201811256305.3

    申请日:2018-10-26

    Abstract: 一种运输系统,其使沿固定部分在运输方向上移动的移动部分移动同时通过标尺和传感器检测移动部分的位置,在运输系统中,导块安装在移动部分的第一部分的第二表面上,导轨安装在固定部分的第一表面上,标尺安装在移动部分的第一部分的跨导块的相对侧上的一端,在面向所述标尺的位置处具有检测单元的传感器安装在所述固定部分中。还公开了具有该运输系统的加工系统和用该加工系统制造物品的方法。

    输送系统、其控制方法、处理系统以及物品的制造方法

    公开(公告)号:CN113562425A

    公开(公告)日:2021-10-29

    申请号:CN202111078977.1

    申请日:2018-09-25

    Abstract: 本发明提供输送系统、其控制方法、处理系统以及物品的制造方法。一种输送系统包括:第一输送模块,滑架在第一输送模块上沿第一方向移动;第二输送模块,其被构造为能够向用于连接到第一输送模块的位置移动,并且在第二输送模块上,滑架能够向第一输送模块移动和从第一输送模块移动;位置检测单元,其检测第二输送模块在移动方向上的位置,并且输出位置信息;以及控制单元,其控制滑架在第一输送模块上的移动以及第二输送模块沿与第一方向相交的第二方向的移动,其中,基于从位置检测单元输出的位置信息,控制单元对第二输送模块连接到第一输送模块的位置进行校正。

    加工系统和物品制造方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112441389A

    公开(公告)日:2021-03-05

    申请号:CN202010904566.2

    申请日:2020-09-01

    Abstract: 一种加工系统,其包括:输送路径,所述输送路径包括配置成输送滑架的多个输送模块,所述多个输送模块设置成将滑架输送到多个位置;加工装置,所述加工装置配置成对安装在滑架上的工件执行加工;以及控制单元,所述控制单元配置成控制所述多个输送模块和所述加工装置,其中所述控制单元配置成在由所述加工装置在所述多个位置对工件执行加工的情况下,通过使用所述输送模块移动所述滑架而将工件移动到所述多个位置。本公开还涉及一种用于制造物品的物品制造方法。

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