检查装置、检查方法及膜卷绕体的制造方法

    公开(公告)号:CN108693199B

    公开(公告)日:2023-01-10

    申请号:CN201810292650.6

    申请日:2018-03-30

    摘要: 本发明提供一种检查装置、检查方法及膜卷绕体的制造方法。缺陷检查装置(1)具备:射线源(2),其对隔膜卷绕体(10)呈放射状射出电磁波(R);TDI传感器(4),其对透过隔膜卷绕体(10)的电磁波(R)进行检测;以及移动机构(3),其一边将射线源(2)与隔膜卷绕体(10)的距离以及射线源(2)与TDI传感器(4)的距离保持为大致固定,一边使隔膜卷绕体(10)中的检查区域移动。