-
公开(公告)号：CN113515017A
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN202110388078.5
申请日：2021-04-12
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于声光偏转（AOD）扫描的双光束高速激光直写方法和装置，该装置包括两路光，其中一路光在汇聚到样品面上产生实心光斑，用于激发光刻胶的聚合反应；另一路光汇聚到样品面上产生空心光斑，用于抑制或终止光刻胶聚合反应中的某个关键步骤，从而抑制光聚合反应。两束光进行对准合束后经过两个紧靠并互相垂直放置着的AOD，其中一个进行x方向扫描，另一个进行y方向扫描，两者同时实现光束在样品面上高速高精度的二维扫描。利用本发明，有望实现速度和分辨率分别达10^6点/s和亚50 nm的高速、超分辨激光直写，为超分辨激光微纳加工技术提高加工效率提供有力支撑。
-
公开(公告)号：CN113515017B
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202110388078.5
申请日：2021-04-12
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于声光偏转（AOD）扫描的双光束高速激光直写方法和装置，该装置包括两路光，其中一路光在汇聚到样品面上产生实心光斑，用于激发光刻胶的聚合反应；另一路光汇聚到样品面上产生空心光斑，用于抑制或终止光刻胶聚合反应中的某个关键步骤，从而抑制光聚合反应。两束光进行对准合束后经过两个紧靠并互相垂直放置着的AOD，其中一个进行x方向扫描，另一个进行y方向扫描，两者同时实现光束在样品面上高速高精度的二维扫描。利用本发明，有望实现速度和分辨率分别达10^6点/s和亚50 nm的高速、超分辨激光直写，为超分辨激光微纳加工技术提高加工效率提供有力支撑。
-
公开(公告)号：CN113515016A
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN202110388077.0
申请日：2021-04-12
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于DMD数字掩膜的双光束激光直写方法和装置，该装置包括两路光，每路光各含一个DMD加载相应的数字图形，其中一路光中的DMD加载待刻写的实心图形，用于引发光刻胶的聚合反应；另一路光中的DMD加载所述实心图形对应边缘的空心图形，用于抑制光刻胶的聚合反应；将两路光进行合束后使两个图形投影到样品面上并实现严格对准。本发明通过DMD产生数字掩膜在实现快速面直写的基础上，通过双路激光分别进行引发和抑制光刻胶聚合可提高直写分辨率。利用本发明，有望实现高速高分辨激光直写，为纳米加工技术实现大批量生产提供新思路。
-
公开(公告)号：CN113515016B
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202110388077.0
申请日：2021-04-12
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于DMD数字掩膜的双光束激光直写方法和装置，该装置包括两路光，每路光各含一个DMD加载相应的数字图形，其中一路光中的DMD加载待刻写的实心图形，用于引发光刻胶的聚合反应；另一路光中的DMD加载所述实心图形对应边缘的空心图形，用于抑制光刻胶的聚合反应；将两路光进行合束后使两个图形投影到样品面上并实现严格对准。本发明通过DMD产生数字掩膜在实现快速面直写的基础上，通过双路激光分别进行引发和抑制光刻胶聚合可提高直写分辨率。利用本发明，有望实现高速高分辨激光直写，为纳米加工技术实现大批量生产提供新思路。
-
公开(公告)号：CN119827422A
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202411952323.0
申请日：2024-12-27
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种针对温室气体的大气高分辨率辐射传输计算方法，以高光谱分辨率同时计算分子的吸收以及颗粒物的散射作用、地表反射，包括：获取大气状态参数；计算多普勒增宽和碰撞增宽以及二者共同作用的综合增宽，计算大气分子的吸收系数、大气分子总光学厚度、以及由吸收作用造成的光强衰减；计算颗粒物的散射系数和消光系数；综合陆地反射率和海洋反射率得到全球地表反射率；对大气分子在辐射传输过程中的吸收、云和气溶胶在辐射传输过程中的衰减进行模拟，结合全球地表反射率模拟得到大气层顶辐射亮度。相较于现有的大气辐射传输模型，该方法具有高准确率、高分辨率等优势，适用于多场景，为卫星载荷正演模拟以及反演算法开发奠定了基础。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115330672A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202210564297.9
申请日：2022-05-23
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于边缘识别与相位分层的靶丸干涉图解包裹方法，包括：(1)对输入的靶丸干涉包裹图进行边缘提取，提取出每一层相位层之间的边缘；(2)选取各相位层的起始点，得到每层相位层起始点序列S(n)，并进行去噪处理；(3)遍历选取的起始序列点S(n)，对每一个起始点进行广度优先搜索，识别出其所在的整个相位层，并记录下搜索到的像素的相位层数；(4)对识别出的相位层做整体相位移动，纠正相位矩阵中残余的跳变点，由此得到解包裹相位φ。利用本发明，能够快速且精确地对靶丸干涉图图像解包裹。
-
公开(公告)号：CN105572026B
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201610035850.4
申请日：2016-01-20
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N17/00
Abstract: 本发明涉及海洋环境实验系统，旨在提供一种海洋浪溅区环境试验模拟系统。该系统包括固定于海绵漂浮平台上的试验样品仓，试验样品仓呈空心圆筒状，其端部呈封闭的锥形，尾部呈开口状并设有用于密封的仓口盖；在试验样品仓的仓壁上，沿着顶部和底部的轴向中心线、两侧的水平中心线分别设有多个间隔的通孔。本发明体积小、经济实惠、便携、环保，能完美模拟海洋浪花飞溅区和海水全浸区的临界点腐蚀情况。利用本发明可在多种海洋腐蚀因素环境中加速模拟材料和构件的海洋腐蚀行为，方便开展材料与构件在海洋浪花飞溅区和海水全浸区的临界点腐蚀区进行腐蚀规律的探究和耐久性能的评价等。
-
公开(公告)号：CN119934963A
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202510123388.2
申请日：2025-01-26
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B9/02 , G01B9/02055 , G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种基于偏振光栅的载频干涉检测装置和方法，利用偏振光栅将参考光与测试光产生一定角度的分离来实现载频，并通过最小二乘迭代空间载波移相解调算法解调面形，从而将空间移相转化为时间移相，提高解调精度且避免了由偏振相机引入的像素与像素间的偏振误差，实现了高精度载频干涉检测。该基于偏振光栅的载频干涉检测方法只需单幅载频干涉图即可计算面型，适合动态测量，且有效解决了传统载频干涉检测法中像素间的偏振误差问题。利用本发明，可以有效且高精度的实现待测物体面形的动态载频干涉检测。
-
公开(公告)号：CN119620112A
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202411986246.0
申请日：2024-12-31
Applicant: 无锡中科光电技术有限公司 , 浙江大学
Abstract: 本发明涉及一种激光雷达系统，尤其是一种零盲区可降噪的大气激光雷达系统及其探测方法。一种零盲区可降噪的大气激光雷达系统，包括：发射系统，包括激光器、与所述激光器连接的超构表面阵列，所述超构表面阵列用于生成微弧度级小发散角、径向尺寸不随拓扑荷变化的完美涡旋光束；接收系统，用于接收发射系统激光光束激发的后向散射信号，通过汇聚实现光信号收集，并通过后端的分光模块实现光信号提取；光电转换机信号处理系统，用于处理接收系统的光信号并呈现激光路径上整个大气的气溶胶分布情况。该系统基于完美涡旋光源实现激光雷达零盲区、高信噪比的探测性能；采用超表面微纳光子器件，体积小，集成度高，可实现激光雷达小型化。
-
公开(公告)号：CN100488440C
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200710069864.9
申请日：2007-07-03
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种共路型内窥光学相干层析成像方法及系统。把作为内窥探头的光纤传像束的端面反射光作为参考光，它和来自样品的信号光通过同一光纤传像束传输，构成一个共路的、起传感作用的干涉结构，参考光和信号光之间的光程差由另一共路的干涉结构进行补偿，整个系统为共路干涉结构。在探头外部进行横向扫描来选择样品的特定位置成像，探头的内部无任何运动部件和驱动电流。使用光环行器来提高系统的能量利用率，采用谱域探测技术来提高成像速度。本发明具有成像质量不受环境影响，内窥探头加工安装工艺简单、更换方便，系统能量利用率高，使用安全等优点。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
38
records
(took 0.042 seconds)
