公开(公告)号：CN119934962A

公开(公告)日：2025-05-06

申请号：CN202510122334.4

申请日：2025-01-26

Applicant: 浙江大学

Inventor： 刘东 ,  曹俊熙 ,  李欣明 ,  彭韶婧 ,  徐兆锐 ,  吴兰

IPC: G01B9/02 ,  G01B9/02055 ,  G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种基于沃拉斯顿棱镜的载频干涉检测装置及方法，利用沃拉斯顿棱镜将参考光与测试光产生微小角度的分离来实现载频，从而避免原本通过待测物体倾斜一定角度引入载频的方法产生的回程误差，实现高精度的载频干涉检测。通过高精度位移台将沃拉斯顿棱镜进行移动，使得该检测装置能够兼容载频干涉检测和常态的斐索干涉检测。本发明通过设计超低回程误差的中继透镜进一步降低干涉检测光路中的回程误差，保证了检测精度。利用本发明，可以有效且高精度的实现待测物体面形的动态载频干涉检测。

公开(公告)号：CN115773724A

公开(公告)日：2023-03-10

申请号：CN202211623119.5

申请日：2022-12-16

Applicant: 浙江大学

Inventor： 刘东 ,  李欣明 ,  彭韶婧 ,  徐兆锐

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种基于全固态随机相位环形光源的低噪声斐索干涉测试装置及方法，主要包括激光器、显微物镜、针孔滤波器、准直镜组、轴锥镜、聚焦镜组、分束器、空间光调制器、对准相机等构成的全固态随机相位环形光源模块，以及斐索干涉测试模块。本发明的装置及方法，能够通过全固态随机相位环形光源模块，降低斐索干涉测试中光学元件表面缺陷和灰尘颗粒等产生的相干噪声的影响，提高干涉仪的中频传递能力，实现对平面光学元件面形的低噪声、高精度测量，并可适配球面测量；同时具有点光源工作模式，可适配球面、非球面、自由曲面测量和瞬态测量；装置还避免了机械运动组件的使用，提高了可靠性和稳定性。

公开(公告)号：CN115900582A

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN202211409506.9

申请日：2022-11-11

Applicant: 浙江大学

Inventor： 刘东 ,  骆维舟 ,  徐兆锐 ,  彭韶婧 ,  李欣明

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种消除中频相干噪声的米级平面元件面形检测装置及方法，其中，检测方法包括：(1)通过电动五维调整架调整大口径元件夹持的角度，得到对焦清晰且条纹对比度良好的干涉图；(2)通过调节激光器控制器电压，使得可调谐激光器波长改变，从而实现波长移相，利用测量相机分时采集获得一组移相干涉图；(3)对移相干涉图依次进行孔径选取、随机步长移相算法解调面形、神经网络方法解包裹相位、像差拟合去除倾斜，得到面形图φ(x,y)，并对面形图φ(x,y)进行系统误差去除；(4)利用卷积神经网络进行处理，消除中频相干噪声得到φdn(x,y)。利用本发明，可以有效且高精度的对米级平面元件中频面形进行测量。

公开(公告)号：CN119934963A

公开(公告)日：2025-05-06

申请号：CN202510123388.2

申请日：2025-01-26

Applicant: 浙江大学

Inventor： 刘东 ,  何建瑶 ,  李欣明 ,  徐兆锐 ,  彭韶婧 ,  吴兰

IPC: G01B9/02 ,  G01B9/02055 ,  G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种基于偏振光栅的载频干涉检测装置和方法，利用偏振光栅将参考光与测试光产生一定角度的分离来实现载频，并通过最小二乘迭代空间载波移相解调算法解调面形，从而将空间移相转化为时间移相，提高解调精度且避免了由偏振相机引入的像素与像素间的偏振误差，实现了高精度载频干涉检测。该基于偏振光栅的载频干涉检测方法只需单幅载频干涉图即可计算面型，适合动态测量，且有效解决了传统载频干涉检测法中像素间的偏振误差问题。利用本发明，可以有效且高精度的实现待测物体面形的动态载频干涉检测。

公开(公告)号：CN118311551B

公开(公告)日：2024-09-06

申请号：CN202410740988.9

申请日：2024-06-11

Applicant: 浙江大学

Inventor： 刘东 ,  李欣明 ,  徐兆锐 ,  彭韶婧

IPC: G01S7/497 ,  G01S7/483

Abstract: 本发明公开了一种超宽波段超大视场的迈克尔逊干涉鉴频装置及方法，包括超宽波段超大视场的迈克尔逊干涉仪、密封腔和气压调谐机构；迈克尔逊干涉仪包括玻璃臂补偿反射镜、混合臂补偿反射镜、混合臂间隙块和分光棱镜；外部光束从分光棱镜的一侧入射后分成两束，分别经过玻璃臂补偿反射镜、混合臂补偿反射镜的反射后，再次通过分光棱镜合束干涉；干涉光束有两路，一路原路返回，称为反射通道，另一路折转90度出射，称为透射通道；密封腔与气压调谐机构相连通，迈克尔逊干涉仪安装于密封腔内，与外部环境相隔离；气压调谐机构运行时，密封腔内的气压发生变化，使得密封腔内的空气折射率发生变化，进而改变装置的干涉光程差和中心频率，实现调谐。

公开(公告)号：CN118311551A

公开(公告)日：2024-07-09

申请号：CN202410740988.9

申请日：2024-06-11

Applicant: 浙江大学

Inventor： 刘东 ,  李欣明 ,  徐兆锐 ,  彭韶婧

IPC: G01S7/497 ,  G01S7/483

Abstract: 本发明公开了一种超宽波段超大视场的迈克尔逊干涉鉴频装置及方法，包括超宽波段超大视场的迈克尔逊干涉仪、密封腔和气压调谐机构；迈克尔逊干涉仪包括玻璃臂补偿反射镜、混合臂补偿反射镜、混合臂间隙块和分光棱镜；外部光束从分光棱镜的一侧入射后分成两束，分别经过玻璃臂补偿反射镜、混合臂补偿反射镜的反射后，再次通过分光棱镜合束干涉；干涉光束有两路，一路原路返回，称为反射通道，另一路折转90度出射，称为透射通道；密封腔与气压调谐机构相连通，迈克尔逊干涉仪安装于密封腔内，与外部环境相隔离；气压调谐机构运行时，密封腔内的气压发生变化，使得密封腔内的空气折射率发生变化，进而改变装置的干涉光程差和中心频率，实现调谐。