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公开(公告)号：CN107723668A
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201710666073.8
申请日：2017-08-07
Applicant: 丰田自动车株式会社
IPC: C23C14/32
CPC classification number: C23C14/325 , C23C16/45523 , C23C16/515 , C30B23/066 , C30B25/105 , H01J37/32055 , H01J37/32403 , H01J37/32568 , H01J37/32614
Abstract: 本发明提供成膜装置。该成膜装置具有蒸发源、电极及气体通路。蒸发源是具有收容工件的内部空间的金属的筒状。电极配置于蒸发源的内部空间。气体通路从蒸发源的外部空间向蒸发源的内部空间供给气体。气体通路具有位于内部空间的端部。气体通路的端部具有由第一材料构成的第一部位和由第二材料构成的第二部位。第一材料及第二材料具有彼此不同的热膨胀系数。
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公开(公告)号：CN105316628A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510394188.7
申请日：2015-07-07
Applicant: 丰田自动车株式会社
IPC: C23C14/32
CPC classification number: H01J37/32559 , C23C14/325 , H01J37/32055 , H01J37/34
Abstract: 本发明提供了一种成膜装置，其包括筒状蒸发源(1)、封闭构件(2A，2B)和辅助电极(3)。筒状蒸发源(1)配置为将工件(W)容纳在蒸发源(1)的内部空间中。筒状蒸发源(1)配置为通过电弧放电从筒状蒸发源(1)释放离子以便所述离子沉积在工件(W)的表面上。封闭构件(2A，2B)封闭所述内部空间。辅助电极(3)沿着筒状蒸发源(1)的内壁表面设置。辅助电极(3)配置为接地或是被施加以正电压以便所述内部空间的电子流向辅助电极(3)。
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公开(公告)号：CN107723668B
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201710666073.8
申请日：2017-08-07
Applicant: 丰田自动车株式会社
IPC: C23C14/32
CPC classification number: C23C14/325 , C23C16/45523 , C23C16/515 , C30B23/066 , C30B25/105 , H01J37/32055 , H01J37/32403 , H01J37/32568 , H01J37/32614
Abstract: 本发明提供成膜装置。该成膜装置具有蒸发源、电极及气体通路。蒸发源是具有收容工件的内部空间的金属的筒状。电极配置于蒸发源的内部空间。气体通路从蒸发源的外部空间向蒸发源的内部空间供给气体。气体通路具有位于内部空间的端部。气体通路的端部具有由第一材料构成的第一部位和由第二材料构成的第二部位。第一材料及第二材料具有彼此不同的热膨胀系数。
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公开(公告)号：CN107142461B
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201710111543.4
申请日：2017-02-28
Applicant: 丰田自动车株式会社
IPC: C23C16/26 , C23C16/513 , C23C16/52
CPC classification number: C23C16/26 , C23C16/511 , C23C16/52 , H05H1/46 , H05H2001/4622
Abstract: 本发明提供一种成膜方法及等离子体化学气相沉积装置。PCVD装置具备以位于反应炉内的部位支承工件并使从高频输出装置输出的微波向工件传播的导波构件。将使通过导波构件向工件传播的微波的强度从“0”开始逐渐加大的过程中该工件的偏置电流跳跃时的从高频输出装置输出的微波的强度设为第一强度，将使微波的强度从第一强度加大的过程中偏置电流再次跳跃时的微波的强度设为第二强度。在成膜时，从高频输出装置输出比第一强度大且比第二强度小的强度的微波。
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公开(公告)号：CN119153722A
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202410772579.7
申请日：2024-06-14
Applicant: 丰田自动车株式会社
IPC: H01M8/0286 , H01M8/0284 , H01M8/0271
Abstract: 提供一种间隔件与密封部件的粘接强度高的燃料电池的制造方法及燃料电池。在本公开涉及的燃料电池的制造方法中，该燃料电池具备：层叠体，其包含膜电极接合体和夹持膜电极接合体的一对间隔件；和密封部，其以相对于通过隔开规定间隔地层叠多个层叠体而在层叠方向上相邻的层叠体之间形成的间隙形成密闭空间的方式设置。该制造方法使设置于间隔件与密封部件之间的树脂层熔融，使间隔件与密封部件粘接，从而形成密封部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106282974A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610457284.6
申请日：2016-06-22
Applicant: 丰田自动车株式会社
IPC: C23C16/517
CPC classification number: C23C16/513 , C23C16/455 , H01J37/32211 , H01J37/32311 , H01J37/32577 , C23C16/517
Abstract: 等离子化学气相沉积装置包括腔室(12)、具有伸长形状的第一导体(20)、具有管状形状的第二导体(30)、高频输出装置(45)和直流电源的第一连接部(23)以及第一导体(20)的与直流电源(46)连接的第二连接部(24)均被放置在腔室(12)的外侧。从第一导体(20)的一端到第一连接部(23)的距离短于从第一导体(20)的所述一端到第二连接部(24)的距离。在第一导体(20)中在第一连接部(23)和第二连接部(24)之间设置阻抗变化部(25)，阻抗变化部具有的阻抗不同于在第一导体(20)的所述一端与第一连接部(23)之间的阻抗。(46)。第一导体(20)的与高频输出装置(45)连接
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公开(公告)号：CN112461891A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN202010466700.5
申请日：2020-05-28
Applicant: 丰田自动车株式会社
Abstract: 一种具备钛或钛合金制的基材以及包含碳的涂层的燃料电池隔板用构件的检查系统，其具备：对燃料电池隔板用构件进行加热的加热部；对由加热部加热后的燃料电池隔板用构件的温度进行检测的温度检测部；以及利用温度检测部检测出的温度，对燃料电池隔板用构件中温度上升的程度大于预定基准的高温部位的位置进行判定的判定部。
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公开(公告)号：CN107663629B
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201710607408.9
申请日：2017-07-24
Applicant: 丰田自动车株式会社
CPC classification number: C23C16/274 , C23C14/14 , C23C14/325 , C23C16/26 , C23C16/4581 , C23C16/511 , C23C28/32 , H01J37/32192 , H01J37/3222 , H01L21/205 , H05H1/46 , H05H2001/4607 , H05H2001/463
Abstract: 本发明提供高频波供给构造。该高频波供给构造具备在规定方向X上延伸的中心导体、与中心导体同轴配置且接地的外侧导体、及设置在中心导体与外侧导体之间的圆筒形状的绝缘构件。中心导体的顶端是支承工件W的支承部。在比外侧导体靠外侧处配置有与外侧导体及中心导体同轴配置的防附着构件。防附着构件的顶端比外侧导体的顶端在规定方向X上更接近支承部。绝缘构件具有从外侧导体的开口向支承部侧突出的突出部分，突出部分在规定方向上与外侧导体的顶端对向。
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公开(公告)号：CN105316628B
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：CN201510394188.7
申请日：2015-07-07
Applicant: 丰田自动车株式会社
IPC: C23C14/32
CPC classification number: H01J37/32559 , C23C14/325 , H01J37/32055 , H01J37/34
Abstract: 本发明提供了一种成膜装置，其包括筒状蒸发源(1)、封闭构件(2A，2B)和辅助电极(3)。筒状蒸发源(1)配置为将工件(W)容纳在蒸发源(1)的内部空间中。筒状蒸发源(1)配置为通过电弧放电从筒状蒸发源(1)释放离子以便所述离子沉积在工件(W)的表面上。封闭构件(2A，2B)封闭所述内部空间。辅助电极(3)沿着筒状蒸发源(1)的内壁表面设置。辅助电极(3)配置为接地或是被施加以正电压以便所述内部空间的电子流向辅助电极(3)。
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