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公开(公告)号：CN105644059B
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201510582261.3
申请日：2015-09-14
Applicant: 中国船舶重工集团公司第十二研究所
Abstract: 一种磁控溅射含银超低摩擦系数类石墨碳膜的制备方法，先处理基体表面是一个完全清洁的表面；再将镶嵌有Ag和Y镶块的碳靶和Cr靶安装在炉体内部，然后通过溅射的方法先基体表面处理，再溅射Cr缓冲层，最后Cr靶和碳靶同时溅射，得到含银超低摩擦系数类石墨碳膜；本发明超低摩擦系数类石墨碳膜的制备工艺简单，所制备的膜层具有低的内应力，膜层均匀致密，耐磨性好，缓冲层Cr可以提高超低类石墨碳膜膜基结合强度，塑性软质元素Ag的添加，降低了超低摩擦系数类石墨碳膜的摩擦系数，Y元素加入，提高了膜层致密性、承载能力及高温耐磨性。
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公开(公告)号：CN109666900A
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201811505719.5
申请日：2018-12-10
Applicant: 中国船舶重工集团公司第十二研究所
Abstract: 本发明公开了一种电子束物理气相沉积微米多层复合膜，包括金属过渡层和陶瓷层，陶瓷层为9wt％Y2O3稳定的ZrO2；金属过渡层为镍基合金。其制备方法为，首先，对20CrNi3A基板进行预处理，之后清洗实验设备，将基板表面抛光，并在丙酮中超声波清洗，将NiCoCrAl靶材和YSZ靶材分别放置于两个坩埚内，再将基板加热至500℃，预热时间为60min，同时将真空度调至10-3～10-2Pa，最后，采用两把电子枪交替蒸发NiCoCrAl靶材和YSZ靶材沉积微米多层复合膜。采用本方法制备的膜层均匀致密，具有较低的摩擦系数及高的耐磨性。
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公开(公告)号：CN111254395B
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202010208206.9
申请日：2020-03-23
Applicant: 中国船舶重工集团公司第十二研究所
IPC: B32B15/01
Abstract: 本发明公开了一种耐高温耐腐蚀多层复合膜，包括依次叠加的金属过渡层、金属间化合物层和耐腐蚀层，金属过渡层按质量百分比由以下组分组成，稀土RE：0.2～2％，余量为Cr，各组分的质量百分比之和为100％，金属间化合物层为NiAl‑30Cr‑6Mo‑2Hf层，耐腐蚀层由ZrO2和α‑Al2O3组成。本发明还公开了一种耐高温耐腐蚀多层复合膜的制备方法，通过该方法制备的复合膜具有较高的膜层结合强度、热稳定性、抗蚀性和耐磨性。
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公开(公告)号：CN111254395A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010208206.9
申请日：2020-03-23
Applicant: 中国船舶重工集团公司第十二研究所
Abstract: 本发明公开了一种耐高温耐腐蚀多层复合膜，包括依次叠加的金属过渡层、金属间化合物层和耐腐蚀层，金属过渡层按质量百分比由以下组分组成，稀土RE：0.2～2％，余量为Cr，各组分的质量百分比之和为100％，金属间化合物层为NiAl-30Cr-6Mo-2Hf层，耐腐蚀层由ZrO2和α-Al2O3组成。本发明还公开了一种耐高温耐腐蚀多层复合膜的制备方法，通过该方法制备的复合膜具有较高的膜层结合强度、热稳定性、抗蚀性和耐磨性。
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公开(公告)号：CN105644059A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201510582261.3
申请日：2015-09-14
Applicant: 中国船舶重工集团公司第十二研究所
CPC classification number: B32B15/043 , B32B9/007 , B32B15/04 , B32B37/24 , B32B38/162 , B32B38/164 , B32B2037/246
Abstract: 一种磁控溅射含银超低摩擦系数类石墨碳膜的制备方法，先处理基体表面是一个完全清洁的表面；再将镶嵌有Ag和Y镶块的碳靶和Cr靶安装在炉体内部，然后通过溅射的方法先基体表面处理，再溅射Cr缓冲层，最后Cr靶和碳靶同时溅射，得到含银超低摩擦系数类石墨碳膜；本发明超低摩擦系数类石墨碳膜的制备工艺简单，所制备的膜层具有低的内应力，膜层均匀致密，耐磨性好，缓冲层Cr可以提高超低类石墨碳膜膜基结合强度，塑性软质元素Ag的添加，降低了超低摩擦系数类石墨碳膜的摩擦系数，Y元素加入，提高了膜层致密性、承载能力及高温耐磨性。
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