一种双层气浮导轨高精度平台
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115638187A

    公开(公告)日:2023-01-24

    申请号:CN202211154053.X

    申请日:2022-09-21

    Abstract: 本发明公开的一种双层气浮导轨高精度平台,属于气浮平台及微调机构领域。本发明包括一级滑台、二级滑台、底座、侧滑块、限位块、导轨、微调机构、摩擦轮、侧锁紧滑块。一级滑台及二级滑台设有多个节流器,均位于一级滑台及二级滑台底部,使得一级滑台及二级滑台底面作为气浮工作面;二级滑台内可调节正负压,当需要工作台进行大量程移动时,二级滑台内为正压,当需要工作台进行高精度微调时,二级滑台内为负压;所述微调机构置于二级滑台上,连接座连接微调机构与一级滑台。本发明采用双层气浮导轨配合微调机构的方式,使得工作台既能够大量程移动、又能够高精度微小调整。本发明能够提高工作台精度、运行稳定性,便于后续维修保养。

    一种坐标测量设备计量特性校准的标准件

    公开(公告)号:CN112362011B

    公开(公告)日:2022-06-03

    申请号:CN202011280407.6

    申请日:2020-11-16

    Abstract: 本发明公开的一种坐标测量设备计量特性校准的标准件,属于几何量仪器测试校准领域。本发明包括四个圆球组成的测量基准和系列几何特征。系列特征包括凹凸球面、内、外锥面、内外圆柱面、系列直槽、系列圆柱盲孔、斜槽、垂向楔角和具有叶片形状曲线、曲面特征。本发明复合了多种几何形状特征,执行校准时根据需要进行特征组合,同时满足不同测量设备的计量特性校准需求;本发明包含叶片特征的复杂曲面结构,实现叶片坐标接触式测量和光学非接触式扫描测量下叶型参数的量值溯源需求,保证叶片叶型参数评价结果的一致性。本发明包含沟槽和小孔结构,提供干涉测量、光学变焦测量等测量设备在微小几何特征参数测量的计量校准能力。

    一种坐标测量设备计量特性校准的标准件

    公开(公告)号:CN112362011A

    公开(公告)日:2021-02-12

    申请号:CN202011280407.6

    申请日:2020-11-16

    Abstract: 本发明公开的一种坐标测量设备计量特性校准的标准件,属于几何量仪器测试校准领域。本发明包括四个圆球组成的测量基准和系列几何特征。系列特征包括凹凸球面、内、外锥面、内外圆柱面、系列直槽、系列圆柱盲孔、斜槽、垂向楔角和具有叶片形状曲线、曲面特征。本发明复合了多种几何形状特征,执行校准时根据需要进行特征组合,同时满足不同测量设备的计量特性校准需求;本发明包含叶片特征的复杂曲面结构,实现叶片坐标接触式测量和光学非接触式扫描测量下叶型参数的量值溯源需求,保证叶片叶型参数评价结果的一致性。本发明包含沟槽和小孔结构,提供干涉测量、光学变焦测量等测量设备在微小几何特征参数测量的计量校准能力。

    一种小球冠中心点和曲率半径参数的精确评定方法

    公开(公告)号:CN114719800A

    公开(公告)日:2022-07-08

    申请号:CN202210246016.5

    申请日:2022-03-11

    Abstract: 本发明公开的一种小球冠中心点和曲率半径参数的精确评定方法,属于计量校准领域。本发明对实测轮廓数据点集使用种群寻优算法和小球冠轮廓对称法分别对拟合球心寻优和对实测样本数据点进行预测扩充。采用最小二乘法拟合球心预测处理后再进行矩阵变化的方式,利用小球冠曲面对称,通过扩大拟合参与数据量,即利用小球冠轮廓对称法分别对拟合球心寻优和对实测样本数据点进行预测扩充,实现小球冠面曲率半径和球体中心点的精确评定。本发明通过加入迭代循环部分、精度判断部分和负反馈过程,直至获得最优解或者满足精度要求,才会输出小球冠曲率半径和中心点数据,能有效提高测量精度。本发明能够提高小球冠曲率半径和中心点的测量精度,鲁棒性好。

    一种基于光纤低相干干涉的三维形貌测量装置及方法

    公开(公告)号:CN118836772A

    公开(公告)日:2024-10-25

    申请号:CN202411154514.2

    申请日:2024-08-21

    Abstract: 本发明公开了一种基于光纤低相干干涉的三维形貌测量装置及方法,所述装置包括扫频光源、耦合器、环形器、参考臂、测量臂、信号探测及处理模块和指示光源;扫频光源通过光纤与第一耦合器连接,第一耦合器通过光纤分别与第一环形器和第二环形器的第一接口连接,第一环形器和第二环形器的第二接口分别通过光纤与参考臂和测量臂连接,第一环形器和第二环形器的第三接口通过光纤与第二耦合器连接,第二耦合器通过光纤与信号探测及处理模块连接,待测样品放置在测量臂中,指示光源发出的光经第三耦合器进入测量臂,在待测样品上形成指示光斑。本发明能够快速、高精度地实现带有微小孔的待测样品的孔内几何特征参数和孔外其他区域缺陷检测。

    基于激光零位计和高频采样的动态角测量方法和测量系统

    公开(公告)号:CN113819879A

    公开(公告)日:2021-12-21

    申请号:CN202111105130.8

    申请日:2021-09-22

    Abstract: 本发明公开的基于激光零位计和高频采样的转台动态角测量方法和测量系统,属于动态角测量技术领域。所述转台动态角测量方法,包括获取用于圆光栅输出信号的校正的数据、计算相邻零位指示脉冲信号之间的圆光栅信号的正弦波个数、计算转台动态角的校正系数、确定需要解算动态角的采样点的相位信息、求解转台校正后的高精度动态角五个步骤。所述转台动态角测量方法用到的系统包括转台的角编码器、激光零位指示器、高速模数采样模块、数字信号处理模块、动态角显示模块。本发明利用激光零位指示器指示位置准确但指示位置数量有限、基于高频采样的角度编码器采样点数多但精度受限的特点,综合两者测量精度和测量点数的优势,实现高精度的动态角测量。

    一种小球冠中心点和曲率半径参数的精确评定方法

    公开(公告)号:CN114719800B

    公开(公告)日:2024-01-26

    申请号:CN202210246016.5

    申请日:2022-03-11

    Abstract: 本发明公开的一种小球冠中心点和曲率半径参数的精确评定方法,属于计量校准领域。本发明对实测轮廓数据点集使用种群寻优算法和小球冠轮廓对称法分别对拟合球心寻优和对实测样本数据点进行预测扩充。采用最小二乘法拟合球心预测处理后再进行矩阵变化的方式,利用小球冠曲面对称,通过扩大拟合参与数据量,即利用小球冠轮廓对称法分别对拟合球心寻优和对实测样本数据点进行预测扩充,实现小球冠面曲率半径和球体中心点的精确评定。本发明通过加入迭代循环部分、精度判断部分和负反馈过程,直至获得最优解或者满足精度要求,才会输出小球冠曲率半径和中心点数据,能有效提高测量精度。本发明能够提高小球冠曲率半径和中心点的测量精度,鲁棒性好。

    基于激光零位计和高频采样的动态角测量方法和测量系统

    公开(公告)号:CN113819879B

    公开(公告)日:2022-09-30

    申请号:CN202111105130.8

    申请日:2021-09-22

    Abstract: 本发明公开的基于激光零位计和高频采样的转台动态角测量方法和测量系统,属于动态角测量技术领域。所述转台动态角测量方法,包括获取用于圆光栅输出信号的校正的数据、计算相邻零位指示脉冲信号之间的圆光栅信号的正弦波个数、计算转台动态角的校正系数、确定需要解算动态角的采样点的相位信息、求解转台校正后的高精度动态角五个步骤。所述转台动态角测量方法用到的系统包括转台的角编码器、激光零位指示器、高速模数采样模块、数字信号处理模块、动态角显示模块。本发明利用激光零位指示器指示位置准确但指示位置数量有限、基于高频采样的角度编码器采样点数多但精度受限的特点,综合两者测量精度和测量点数的优势,实现高精度的动态角测量。

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