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公开(公告)号：CN118836772A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202411154514.2
申请日：2024-08-21
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于光纤低相干干涉的三维形貌测量装置及方法，所述装置包括扫频光源、耦合器、环形器、参考臂、测量臂、信号探测及处理模块和指示光源；扫频光源通过光纤与第一耦合器连接，第一耦合器通过光纤分别与第一环形器和第二环形器的第一接口连接，第一环形器和第二环形器的第二接口分别通过光纤与参考臂和测量臂连接，第一环形器和第二环形器的第三接口通过光纤与第二耦合器连接，第二耦合器通过光纤与信号探测及处理模块连接，待测样品放置在测量臂中，指示光源发出的光经第三耦合器进入测量臂，在待测样品上形成指示光斑。本发明能够快速、高精度地实现带有微小孔的待测样品的孔内几何特征参数和孔外其他区域缺陷检测。
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