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公开(公告)号:CN102253323A
公开(公告)日:2011-11-23
申请号:CN201110159296.8
申请日:2011-06-14
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种测量电子自旋相关输运的变温显微测量系统,包括:一HeNe激光器;一格兰泰勒棱镜将HeNe激光器出射的激光变成线偏振光;一光弹调制器;一显微物镜用于将入射激光聚焦在样品台面上;一变温液氮杜瓦样品座包括一温度控制仪,一紫铜冷指,待测量样品固定在紫铜冷指顶端;一数字电压电流源表其控制端通过GPIB线与一计算机连接;一取样电阻用于将待测量样品的交流电压信号提取出来;一锁相放大器其控制端通过GPIB线与一计算机连接;一半反半透镜组位于主光路上;一白光光源用以观察待测量样品台面上的位置;一摄像机和显示器用来显示输出待测量样品台面成像以及激光光斑位置;一钕铁硼环形永磁体同轴套在变温液氮杜瓦样品座的紫铜冷指外部。
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公开(公告)号:CN101943664A
公开(公告)日:2011-01-12
申请号:CN200910088590.7
申请日:2009-07-08
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一套强磁场环境和液氮温度下的自旋相关输运测量系统,包括:一液氮杜瓦;一手动五维调节平台,放置液氮杜瓦,用于调节液氮杜瓦的空间位置;一钕铁硼永磁体,同轴地套在液氮杜瓦的铝套筒外侧,用于提供测量的强磁场环境;一电动一维平移台,位于钕铁硼永磁体下方;一手动一维升降台,位于电动一维平移台下方,用于调节钕铁硼永磁体和液氮杜瓦的相对位置;一超长工作距离物镜,位于液氮杜瓦的光学窗口的正前方,用于聚焦激发光到样品、以及收集并准直样品发出的荧光;一宽波段偏振非敏感分束棱镜,位于钕铁硼永磁体的通孔的一侧;一荧光光路,从样品出射,并经过超长工作距离物镜准直到垂直于光学窗口的方向;一激发光光路,与荧光光路正交于宽波段偏振非敏感分束棱镜。
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公开(公告)号:CN101471396B
公开(公告)日:2010-09-29
申请号:CN200710304257.6
申请日:2007-12-26
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明一种谐振腔增强探测器腔的控制方法,包括:1)设计谐振腔增强探测器的腔模,初始设置探测器每一个结构层的厚度,由分子束外延设备生长样品;2)采用显微拉曼光谱仪测量样品的反射谱,得到高反带的中心位置以及样品实际腔模位置;3)运用模拟程序,计算出与实际样品高反带完全对应的砷化镓层的厚度,砷化铝层的厚度以及与实际腔模完全对应所要求的腔体的厚度;4)根据步骤3)所得数据对第一次生长样品高反带的砷化镓层厚度、砷化铝层厚度以及腔体厚度进行校正,并对分子束外延设生长样品的时间参数进行校正,生长出新样品;5)采用显微拉曼光谱仪测量新样品反射谱。
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公开(公告)号:CN101581672A
公开(公告)日:2009-11-18
申请号:CN200810106706.0
申请日:2008-05-14
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Inventor: 肖文波 , 郑厚植 , 徐萍 , 鲁军 , 刘剑 , 李桂荣 , 谭平恒 , 赵建华 , 章昊 , 朱汇 , 甘华东 , 李蕴慧 , 朱科 , 吴昊 , 张泉 , 袁思芃 , 罗晶 , 申超 , 李科
IPC: G01N21/66
Abstract: 本发明一种测量电致自旋荧光的显微测量系统,其特征在于,包括:一显微拉曼光谱仪、一宽波段线偏振片和一宽波段四分之一波片,所述的显微拉曼光谱仪、宽波段线偏振片和宽波段四分之一波片相距一预定距离,且位于同一光路上;一磁体系统;一数字电压源表,该数字电压源表与磁体系统并联;一超长工作距离显微物镜,该超长工作距离显微物镜位于宽波段四分之一波片和磁体系统之间,且在同一光路上。
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公开(公告)号:CN101206312A
公开(公告)日:2008-06-25
申请号:CN200610165536.4
申请日:2006-12-21
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种可改变工作波长且无光线偏移的滤光器,包括:一底板;一第一旋转台安装在底板上面一侧的上方;一第二旋转台安装在底板上面另一侧的上方;第一晶片固定器固定在第一旋转台上中央位置;一第二晶片固定器固定在第二旋转台上中央位置;一薄膜干涉滤光片安装在第一晶片固定器上;一光学晶片组安装在第二晶片固定器上;一丝轴基座固定在底板上中间的上端;一丝轴的一端安装在丝轴基座上;一滑块安装在丝轴上,其上部还带有可以滑轨配合的凸状卡头;一步进电机安装在底板中间的下端,与丝轴的另一端连接;一第一杆件的一端固定于第一旋转台上;一第二杆件的一端固定于第二旋转台上。
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公开(公告)号:CN100390575C
公开(公告)日:2008-05-28
申请号:CN200510115446.X
申请日:2005-11-03
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明涉及光谱分析技术领域,一种扩展截止滤光片工作波长的结构及其使用方法,该结构包括底板、截止滤光片、光学晶片组、晶片固定器和转动装置。将转动装置安放在底板上,用晶片固定器固定截止滤光片和与之匹配的光学晶片组,并将它们安装在设计的转动装置上,通过转动装置改变截止滤光片和光学晶片组的角度,可以在很宽范围内扩展截止滤光片的工作波长。
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公开(公告)号:CN101206141A
公开(公告)日:2008-06-25
申请号:CN200610165535.X
申请日:2006-12-21
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: G01J3/00 , G01J3/02 , G01J3/10 , G01J3/12 , G01J3/18 , G01J3/26 , G01J3/28 , G01S7/497 , G01S17/88 , G01S17/89 , G01S17/95
Abstract: 一种共焦显微中远红外探测器光谱响应测量系统,包括:一红外光源;一红外单色仪的输入端与红外光源的输出端相连接;一红外共焦显微系统位于红外单色仪输出光路上;一斩波限光单元位于红外共焦显微系统和三维微动平台之间,并位于红外单色仪的输出光路上;一三维微动平台位于红外单色仪的输出光路上;一样品致冷杜瓦固定在三维微动平台上;一前置放大器与样品致冷杜瓦相连接,起到对样品电信号的放大作用;一锁相放大器与前置放大器相连接;一控制计算机与锁相放大器和红外单色仪相连接,控制锁相放大器和红外单色仪实施测试过程,同时采集由锁相放大器和红外单色仪输入的数据信号。
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公开(公告)号:CN101916791B
公开(公告)日:2011-08-10
申请号:CN200910237779.8
申请日:2009-11-17
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: H01L31/101 , H01L31/0232 , H01L31/0352
CPC classification number: Y02E10/52
Abstract: 一种高量子效率多工作波长谐振腔增强型光电探测器,包括:一砷化镓衬底;一砷化镓缓冲层生长在砷化镓衬底上;一谐振腔结构生长在砷化镓缓冲层上;其中谐振腔结构进一步还包括如下结构:一下反射镜生长在砷化镓缓冲层上,包括交替生长的下反射镜砷化镓层和下反射镜砷化铝层;一腔体下砷化镓层,该腔体下砷化镓层生长在下反射镜上;一有源区生长在腔体下砷化镓层上,包括交替生长的铟镓砷量子点和砷化镓间隔层;一腔体上砷化镓层生长在有源区上;一上反射镜生长在腔体上砷化镓层上,包括依次生长的上反射镜砷化铝层和上反射镜砷化镓层;其特征在于,下反射镜包括6对交替生长的下反射镜砷化镓层和下反射镜砷化铝层,上反射镜包括1对依次生长的上反射镜砷化铝层和上反射镜砷化镓层。
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公开(公告)号:CN101206312B
公开(公告)日:2011-04-13
申请号:CN200610165536.4
申请日:2006-12-21
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种可改变工作波长且无光线偏移的滤光器,包括:一底板;一第一旋转台安装在底板上面一侧的上方;一第二旋转台安装在底板上面另一侧的上方;第一晶片固定器固定在第一旋转台上中央位置;一第二晶片固定器固定在第二旋转台上中央位置;一薄膜干涉滤光片安装在第一晶片固定器上;一光学晶片组安装在第二晶片固定器上;一丝轴基座固定在底板上中间的上端;一丝轴的一端安装在丝轴基座上;一滑块安装在丝轴上,其上部还带有可以滑轨配合的凸状卡头;一步进电机安装在底板中间的下端,与丝轴的另一端连接;一第一杆件的一端固定于第一旋转台上;一第二杆件的一端固定于第二旋转台上。
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公开(公告)号:CN101581672B
公开(公告)日:2010-11-03
申请号:CN200810106706.0
申请日:2008-05-14
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Inventor: 肖文波 , 郑厚植 , 徐萍 , 鲁军 , 刘剑 , 李桂荣 , 谭平恒 , 赵建华 , 章昊 , 朱汇 , 甘华东 , 李蕴慧 , 朱科 , 吴昊 , 张泉 , 袁思芃 , 罗晶 , 申超 , 李科
IPC: G01N21/66
Abstract: 本发明一种测量电致自旋荧光的显微测量系统,其特征在于,包括:一显微拉曼光谱仪、一宽波段线偏振片和一宽波段四分之一波片,所述的显微拉曼光谱仪、宽波段线偏振片和宽波段四分之一波片相距一预定距离,且位于同一光路上;一磁体系统;一数字电压源表,该数字电压源表与磁体系统并联;一超长工作距离显微物镜,该超长工作距离显微物镜位于宽波段四分之一波片和磁体系统之间,且在同一光路上。
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