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公开(公告)号:CN101806623A
公开(公告)日:2010-08-18
申请号:CN201010143096.9
申请日:2010-04-07
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明公开了一种多功能反射式磁光光谱测量系统,使用超连续白光光源、光栅单色仪、若干偏振镜片、光弹调制器、宽带1/4与1/2波片、消偏振分光棱镜(NPBS)、单端与差分探测器以及OXFORD低温超导磁体系统,组成结构灵活可变的光谱探测系统,可以在同一光路上实现反射式磁圆二向色性(MCD)、极向磁光克尔效应、偏振反射光谱以及磁线二向色性(MLD)的测量。该系统灵敏度高,可用于基础物理研究、材料特性分析和偏振调制光通信等诸多领域。
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公开(公告)号:CN101581672B
公开(公告)日:2010-11-03
申请号:CN200810106706.0
申请日:2008-05-14
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Inventor: 肖文波 , 郑厚植 , 徐萍 , 鲁军 , 刘剑 , 李桂荣 , 谭平恒 , 赵建华 , 章昊 , 朱汇 , 甘华东 , 李蕴慧 , 朱科 , 吴昊 , 张泉 , 袁思芃 , 罗晶 , 申超 , 李科
IPC: G01N21/66
Abstract: 本发明一种测量电致自旋荧光的显微测量系统,其特征在于,包括:一显微拉曼光谱仪、一宽波段线偏振片和一宽波段四分之一波片,所述的显微拉曼光谱仪、宽波段线偏振片和宽波段四分之一波片相距一预定距离,且位于同一光路上;一磁体系统;一数字电压源表,该数字电压源表与磁体系统并联;一超长工作距离显微物镜,该超长工作距离显微物镜位于宽波段四分之一波片和磁体系统之间,且在同一光路上。
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公开(公告)号:CN100492675C
公开(公告)日:2009-05-27
申请号:CN200510053829.9
申请日:2005-03-11
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: H01L31/112 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明涉及一种包含量子点的光探测场效应晶体管及制备方法,其特点在于:一,不同于其他光-电集成器件的横向耦合结构,本器件的结构,是将化合物半导体光探测器和金属-半导体场效应晶体管纵向集成生长在同一衬底材料上。二,在器件制备过程中,将栅极下方的砷化铟量子点有源区台面与源、漏电极区隔断开,使量子点层下方的调制掺杂导电沟道与源、漏电极连通,构成场效应器件的导电回路。本发明提出了一种纵向结构上将光探测器和金属-半导体场效应晶体管集成在一起的器件结构及制备方法,实现了光器件和电学器件的有效集成,结构简单,制备工艺简便有效,是光-电集成器件光探测器组件部分的一种更好的实现方法。
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公开(公告)号:CN101581672A
公开(公告)日:2009-11-18
申请号:CN200810106706.0
申请日:2008-05-14
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Inventor: 肖文波 , 郑厚植 , 徐萍 , 鲁军 , 刘剑 , 李桂荣 , 谭平恒 , 赵建华 , 章昊 , 朱汇 , 甘华东 , 李蕴慧 , 朱科 , 吴昊 , 张泉 , 袁思芃 , 罗晶 , 申超 , 李科
IPC: G01N21/66
Abstract: 本发明一种测量电致自旋荧光的显微测量系统,其特征在于,包括:一显微拉曼光谱仪、一宽波段线偏振片和一宽波段四分之一波片,所述的显微拉曼光谱仪、宽波段线偏振片和宽波段四分之一波片相距一预定距离,且位于同一光路上;一磁体系统;一数字电压源表,该数字电压源表与磁体系统并联;一超长工作距离显微物镜,该超长工作距离显微物镜位于宽波段四分之一波片和磁体系统之间,且在同一光路上。
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公开(公告)号:CN1832208A
公开(公告)日:2006-09-13
申请号:CN200510053829.9
申请日:2005-03-11
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: H01L31/112 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明涉及一种包含量子点的光探测场效应晶体管及制备方法,其特点在于:1.不同于其他光-电集成器件的横向耦合结构,本器件的结构,是将化合物半导体光探测器和金属-半导体场效应晶体管纵向集成生长在同一衬底材料上。2.在器件制备过程中,将栅极下方的砷化铟量子点有源区台面与源、漏电极区隔断开,使量子点层下方的调制掺杂导电沟道与源、漏电极连通,构成场效应器件的导电回路。本发明提出了一种纵向结构上将光探测器和金属-半导体场效应晶体管集成在一起的器件结构及制备方法,实现了光器件和电学器件的有效集成,结构简单,制备工艺简便有效,是光-电集成器件光探测器组件部分的一种更好的实现方法。
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公开(公告)号:CN101806623B
公开(公告)日:2011-10-05
申请号:CN201010143096.9
申请日:2010-04-07
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明公开了一种多功能反射式磁光光谱测量系统,使用超连续白光光源、光栅单色仪、若干偏振镜片、光弹调制器、宽带1/4与1/2波片、消偏振分光棱镜(NPBS)、单端与差分探测器以及OXFORD低温超导磁体系统,组成结构灵活可变的光谱探测系统,可以在同一光路上实现反射式磁圆二向色性(MCD)、极向磁光克尔效应、偏振反射光谱以及磁线二向色性(MLD)的测量。该系统灵敏度高,可用于基础物理研究、材料特性分析和偏振调制光通信等诸多领域。
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