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公开(公告)号:CN102095689A
公开(公告)日:2011-06-15
申请号:CN201010596245.7
申请日:2010-12-20
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明公开了一种偏振分辨的差分反射谱测量系统,包括:一液氮杜瓦;一手动三维平移台;一消色差透镜;一激震器用于周期性震动透镜;一宽波段四分之一波长波片;一双输出格兰泰勒棱镜;一宽波段线偏振片以及一宽波长二分之一波长波片;一单色仪;一超连续白光光源;一探测器;两台锁相放大器;以及一斩波。利用本发明,通过配备低温杜瓦,可以测量样品在77K至300K之间的偏振分辨差分反射谱,从而可以进一步研究分析物质与自旋相关的能带结构和特性。
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公开(公告)号:CN101806623A
公开(公告)日:2010-08-18
申请号:CN201010143096.9
申请日:2010-04-07
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明公开了一种多功能反射式磁光光谱测量系统,使用超连续白光光源、光栅单色仪、若干偏振镜片、光弹调制器、宽带1/4与1/2波片、消偏振分光棱镜(NPBS)、单端与差分探测器以及OXFORD低温超导磁体系统,组成结构灵活可变的光谱探测系统,可以在同一光路上实现反射式磁圆二向色性(MCD)、极向磁光克尔效应、偏振反射光谱以及磁线二向色性(MLD)的测量。该系统灵敏度高,可用于基础物理研究、材料特性分析和偏振调制光通信等诸多领域。
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公开(公告)号:CN100567963C
公开(公告)日:2009-12-09
申请号:CN200610011750.4
申请日:2006-04-19
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种显微拉曼谱仪与近红外光谱仪的联合测试系统,包括:可见光显微拉曼光谱仪,该谱仪包括了样品平台和工作在可见光范围的探测器;反射镜位于可见光显微拉曼光谱仪的光路上;透镜位于反射镜折射的光路上;三维调节架位于透镜的光路上;多模石英光纤的一端固定在三维调节架上;近红外光谱仪与多模石英光纤的另一端连接。反射镜将从可见光显微拉曼光谱仪样品平台上样品发出的荧光信号偏离原方向,荧光信号经过透镜会聚后准确地入射到位置由三维调节架精密地调整的多模石英光纤内芯,多模石英光纤随之将信号传输到近红外光谱仪进行荧光光谱测量。
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公开(公告)号:CN101446620A
公开(公告)日:2009-06-03
申请号:CN200710178326.3
申请日:2007-11-28
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: G01R31/26
Abstract: 本发明是一套基于电池的半导体交流微分电导扫描测量系统:利用电池对放大器上跨导电容的充电原理,对样品施加直流偏压,使样品处于不同的直流偏置下,同时利用锁相内部交流输出信号加于样品上;测量样品在不同直流偏压下,对于输入的交流信号的响应,得出样品的动态电阻,即微分电导。因为半导体样品是非线性元器件,所以微分电导会有不同的频率响应;调节锁相的工作方式为2F,同时可以读出样品在不同直流偏置下样品电导的导数随偏压的变化关系。
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公开(公告)号:CN100478738C
公开(公告)日:2009-04-15
申请号:CN200610003200.8
申请日:2006-02-24
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种可调谐激光滤光器,其特征在于,该滤光器包括:一底板;一平面光栅,该平面光栅置于底板上;一平面光栅转动装置,该平面光栅转动装置置于底板上、平面光栅的下方并控制平面光栅转动的角度;一反射镜,该反射镜置于底板上、平面光栅的上方;一入口狭缝,该入口狭缝置于底板的一侧边、与平面光栅的位置平行;一出口狭缝,该出口狭缝置于底板的另一侧边、与反射镜平行。
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公开(公告)号:CN101025478A
公开(公告)日:2007-08-29
申请号:CN200610003200.8
申请日:2006-02-24
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种可调谐激光滤光器,其特征在于,该滤光器包括:一底板;一平面光栅,该平面光栅置于底板上;一平面光栅转动装置,该平面光栅转动装置置于底板上、平面光栅的下方并控制平面光栅转动的角度;一反射镜,该反射镜置于底板上、平面光栅的上方;一入口狭缝,该入口狭缝置于底板的一侧边、与平面光栅的位置平行;一出口狭缝,该出口狭缝置于底板的另一侧边、与反射镜平行。
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公开(公告)号:CN102023141A
公开(公告)日:2011-04-20
申请号:CN200910093882.X
申请日:2009-09-23
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一套具有灵活测量几何的变温显微磁光电测试系统,包括:一掺钛蓝宝石激光器,在其出射光路上依次排列有斩波器、宽波段线偏振片、光弹调制器、第一宽带消偏振分光棱镜、第二宽带消偏振分光棱镜、第一物镜和液氮杜瓦;该第二宽带消偏振分光棱镜的折射光路上还包括一摄像头及与其连接的显示器,在摄像头之后的光路上有一第二物镜,在第二物镜之后通过光纤连接有一单色仪及其配套的探测器;斩波器与一控制器连接;光弹调制器与一控制器连接;第一宽带消偏振分光棱镜的折射光路上还包括一照明光源及探测器;第二宽带消偏振分光棱镜的折射光路上还包扩一摄像头及与其连接的显示器;一钕铁硼永磁体,同轴但不接触地套在液氮杜瓦的前端;还包括一直流电流源,其两个输出端口通过导线与样品连接。
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公开(公告)号:CN101206312B
公开(公告)日:2011-04-13
申请号:CN200610165536.4
申请日:2006-12-21
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种可改变工作波长且无光线偏移的滤光器,包括:一底板;一第一旋转台安装在底板上面一侧的上方;一第二旋转台安装在底板上面另一侧的上方;第一晶片固定器固定在第一旋转台上中央位置;一第二晶片固定器固定在第二旋转台上中央位置;一薄膜干涉滤光片安装在第一晶片固定器上;一光学晶片组安装在第二晶片固定器上;一丝轴基座固定在底板上中间的上端;一丝轴的一端安装在丝轴基座上;一滑块安装在丝轴上,其上部还带有可以滑轨配合的凸状卡头;一步进电机安装在底板中间的下端,与丝轴的另一端连接;一第一杆件的一端固定于第一旋转台上;一第二杆件的一端固定于第二旋转台上。
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公开(公告)号:CN101581672B
公开(公告)日:2010-11-03
申请号:CN200810106706.0
申请日:2008-05-14
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Inventor: 肖文波 , 郑厚植 , 徐萍 , 鲁军 , 刘剑 , 李桂荣 , 谭平恒 , 赵建华 , 章昊 , 朱汇 , 甘华东 , 李蕴慧 , 朱科 , 吴昊 , 张泉 , 袁思芃 , 罗晶 , 申超 , 李科
IPC: G01N21/66
Abstract: 本发明一种测量电致自旋荧光的显微测量系统,其特征在于,包括:一显微拉曼光谱仪、一宽波段线偏振片和一宽波段四分之一波片,所述的显微拉曼光谱仪、宽波段线偏振片和宽波段四分之一波片相距一预定距离,且位于同一光路上;一磁体系统;一数字电压源表,该数字电压源表与磁体系统并联;一超长工作距离显微物镜,该超长工作距离显微物镜位于宽波段四分之一波片和磁体系统之间,且在同一光路上。
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公开(公告)号:CN101471396A
公开(公告)日:2009-07-01
申请号:CN200710304257.6
申请日:2007-12-26
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明一种谐振腔增强探测器腔模的控制方法,包括:1)设计谐振腔增强探测器的腔模,初始设置探测器每一个结构层的厚度,由分子束外延设备生长样品;2)采用显微拉曼光谱仪测量样品的反射谱,得到高反带的中心位置以及样品实际腔模位置;3)运用模拟程序,计算出与实际样品高反带完全对应的砷化镓层的厚度,砷化铝层的厚度以及与实际腔模完全对应所要求的腔体的厚度;4)根据步骤3)所得数据对第一次生长样品高反带的砷化镓层厚度、砷化铝层厚度以及腔体厚度进行校正,并对分子束外延设生长样品的时间参数进行校正,生长出新样品。5)采用显微拉曼光谱仪测量新样品反射谱。
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