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公开(公告)号：CN117713583B
公开(公告)日：2024-04-23
申请号：CN202410162833.1
申请日：2024-02-05
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明公开了一种用于压电驱动移相器的压电驱动单元及其装配预紧工艺，该压电驱动器单元包括固定嵌设于移动端板底部端面内的压电堆定位套、活动套设于压电堆定位套顶部内的压电堆、活动套设于压电堆定位套内并与压电堆底端相抵的压电堆顶柱和活动套设在压电堆顶柱底端外侧的胀紧套，胀紧套嵌设于固定端板的底部端面内，且通过胀紧螺栓旋紧作用后，胀紧套外圆周膨胀变形而固定于固定端板内，使压电堆顶柱固定于压电堆定位套内。本发明通过压电堆栈驱动实现移相器的位移输出，利用精密电容位移传感器探测压电堆栈驱动器的实时位移，通过闭环控制回路补偿位移，实现移相器长期位置稳定、运动无漂移和滞后的运行。
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公开(公告)号：CN117722943B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202410162812.X
申请日：2024-02-05
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01B9/02001 , G01B9/02056
Abstract: 本发明公开了一种集成高精度电容位移传感器的压电驱动机械式移相器，包括固定端板、移动端板、后盖板，移动端板的环形侧壁的内壁上一体设置有可柔性变形的内环形铰链，固定端板的环形侧壁的外壁上一体设置有可柔性变形的外环形铰链；固定端板的底部端面内嵌设有若干组围绕通孔的轴线均匀分布的压电驱动器单元和电容传感器单元，固定端板的底部端面内固定嵌设有引线转接PCB板，压电驱动器单元和电容传感器单元通过引线转接PCB板与外部线缆电连接。本发明通过压电堆栈驱动实现移相器的位移输出，利用精密电容传感器单元探测压电堆栈驱动器的实时位移，通过闭环控制回路补偿位移，实现移相器长期位置稳定、运动无漂移和滞后的运行。
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公开(公告)号：CN117337126A
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202311189242.5
申请日：2023-09-14
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明公开了一种基于多层陶瓷电容器的堆栈式精密微致动器，包括n个多层陶瓷电容器，n个多层陶瓷电容器分为m个电容器组，每个电容器组含有s个多层陶瓷电容器，同一电容器组中的s个多层陶瓷电容器逐层堆叠，同一侧的电极并联连接，相邻两个多层陶瓷电容器粘结固定连接，不同电容器组逐层堆叠并依次串联连接，致动器的上下表面以及相邻两个电容器组之间均粘结连接有氧化铝陶瓷片。本发明将多层陶瓷电容堆栈致动器采用分组串联连接的形式，既能够获得较大输出位移，还能够降低多层陶瓷电容堆栈致动器整体的电容值，提高所需激励的驱动电压、减小驱动电流，在精密场合能够表现出高频致动的特点，同时能够适配的功率放大器也能轻易获得。
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公开(公告)号：CN107347242B
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201610296771.9
申请日：2016-05-05
IPC: H05K7/20
Abstract: 本发明实施例提供一种散热装置及通信设备，涉及散热技术领域，在保证对电子器件散热的情况下，产生噪音较小。该装置包括：底座；摆片，摆片包括固定端和自由端，固定端固定于底座上，自由端可相对于固定端摆动，摆片上设置有环形线圈；磁铁组件，磁铁组件包括相对于底座固定的第一磁铁和第二磁铁，第一磁铁和第二磁铁的同一种磁极相对，且位于环形线圈两侧，当向环形线圈通入方向周期变化的电流时，环形线圈在磁铁组件形成的磁场作用下受到方向周期变化的安培力，从而使环形线圈带动摆片往复摆动。本发明用于微电子器件的散热。
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公开(公告)号：CN104154852B
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201410412326.5
申请日：2014-08-20
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01B7/06
Abstract: 一种基于电涡流传感器的导电膜厚度测量系统及对应测量方法，利用涡流传感器探测线圈的阻抗在电阻‑电感平面中的对应点在不同探测距离下形成的提离线的斜率与被测导电膜厚度的关系来实现厚度测量。所述导电膜厚度测量系统包括：带有探测线圈的电涡流传感器探头、阻抗测量电路、实现探头上下移动的微型致动器以及控制测量过程和厚度结果输出的控制器。本发明方法简单高效，可以非接触地准确测量出导电膜的厚度，测量结果几乎不受探测距离的影响，厚度测量范围从几十nm到几mm，可以广泛地用于半导体金属膜检测、工业生产线上的金属膜在线测量系统以及各种镀膜工艺的质量监控或检测等应用中。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103644835B
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201310740208.2
申请日：2013-12-29
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01B7/02
Abstract: 本发明公开了一种电涡流位移传感器温度漂移系数的测量装置，该装置利用超低热膨胀系数的垫片，和普通材料制造的探头固定结构、弹性体，以及目标导体片、支架、底座构成一个非常精确稳定的位移固定系统。不同于以往的测量装置全部采用低温漂的因瓦（Invar）合金等材料制造的温度漂移测量装置，本装置的主体可以是廉价而易于加工制造的常用材料，确定位移的垫片采用低热膨胀系数的材料制造。本发明装置可以用来精确测量高分辨率电涡流位移传感器的温度漂移，还可以安装精密位移制动器来校准灵敏度和线性度等。基于本发明的涡流传感器温度系数测量装置，结构简单，成本低，而且其所固定的位移温漂系数可以低至1nm/℃以下。
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公开(公告)号：CN104900797A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510315555.X
申请日：2015-06-10
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: H01L41/113
Abstract: 本申请压电振子包括折叠层状弹性体，该弹性体包括至少三个相互平行的弹性梁单元，每相邻两个所述弹性梁单元之间通过刚性连接件连接，弹性体两端的所述弹性梁单元均通过刚性连接件连接有刚性质量块。在任意一个或多个弹性梁单元的表面设置有压电材料层，并且在压电材料层上设置有电极引线，用于引出电流。应用本申请的压电振子时，将任意一端的刚性质量块固定在振源上，振源的振动将通过质量块传递至弹性梁单元，引起弹性梁单元产生一阶弯曲形变振动、二阶弯曲形变振动和一阶扭转形变振动，三个振动模态的振动频率存在一定比例关系，从而在一阶共振频率附近较宽的频率范围内产生多个共振模态，扩大了压电振子的频率响应范围。
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公开(公告)号：CN104821224A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201510253394.6
申请日：2015-05-18
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: H01F37/00 , H01L41/187
Abstract: 本发明公开了一种基于压电陶瓷材料的电感及其应用，电感采用压电陶瓷材料制成矩形、圆盘形、圆环形、三角形或梯形的压电元件，压电元件的两个表面分别设置一对上电极和下电极。针对压电陶瓷材料谐振状态下从容性到感性再到容性过程中，存在感性状态的特征，根据不同频率的需求，设计相应的压电陶瓷电感器。电感在振动模态工作的振动模式包括长条形振动模式、径向振动模式、厚度振动模式、辐射振动模式等。可以用于压电变压器驱动中的容性补偿或其它任何应用电感的场合。便于集成，具有体积小、重量轻、结构简单、不用铜铁材料、不怕受潮、不会燃烧、不受电磁干扰、能量密度大等优点，可以一定程度上满足集成电路对电感的需求。
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公开(公告)号：CN102097581B
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201010575707.7
申请日：2010-12-06
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: H01L41/053 , H01L41/04 , H01L41/107
Abstract: 本发明提供的压电变压器的散热装置及压电变压器，在压电变压器上增加了散热金属片和导热绝缘垫，散热金属片与压电变压器的上表面或下表面接触，将压电变压器产生的热量传递给导热绝缘垫，导热绝缘垫再将热量传递到外界，并且与外界绝缘。这样便可以将压电变压器工作过程中产生的热量散发掉，从而降低压电变压器的温度，提高压电变压器的功率密度，进而提高工作效率。
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公开(公告)号：CN119413058B
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202510027979.X
申请日：2025-01-08
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01B7/02
Abstract: 本发明公开了一种非接触式三维位移传感器，包括机械探头和检测电路，机械探头部分包括差分固定块和端横梁，差分固定块的两个平行内侧面上分别固定设置有第一差分线圈和第二差分线圈，横梁的悬置端的顶面上固定设置有位于第一差分线圈正下方的第一目标导体、底面上固定设置有位于第二差分线圈正上方的第二目标导体；第一目标导体的顶面上或/和第二目标导体的底面上沿水平x向固定设置有一对接收线圈Lx、沿水平y向固定设置有一对接收线圈Ly，两对接收线圈形成“井”字结构。本发明的非接触式三维位移传感器，在三个方向上均具备较佳的准静态分辨率和位移灵敏度，实现了各向解耦，并且在线性、量程等指标上都有优异的表现。
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