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公开(公告)号：CN117713583A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202410162833.1
申请日：2024-02-05
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明公开了一种用于压电驱动移相器的压电驱动单元及其装配预紧工艺，该压电驱动器单元包括固定嵌设于移动端板底部端面内的压电堆定位套、活动套设于压电堆定位套顶部内的压电堆、活动套设于压电堆定位套内并与压电堆底端相抵的压电堆顶柱和活动套设在压电堆顶柱底端外侧的胀紧套，胀紧套嵌设于固定端板的底部端面内，且通过胀紧螺栓旋紧作用后，胀紧套外圆周膨胀变形而固定于固定端板内，使压电堆顶柱固定于压电堆定位套内。本发明通过压电堆栈驱动实现移相器的位移输出，利用精密电容位移传感器探测压电堆栈驱动器的实时位移，通过闭环控制回路补偿位移，实现移相器长期位置稳定、运动无漂移和滞后的运行。
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公开(公告)号：CN117713583B
公开(公告)日：2024-04-23
申请号：CN202410162833.1
申请日：2024-02-05
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明公开了一种用于压电驱动移相器的压电驱动单元及其装配预紧工艺，该压电驱动器单元包括固定嵌设于移动端板底部端面内的压电堆定位套、活动套设于压电堆定位套顶部内的压电堆、活动套设于压电堆定位套内并与压电堆底端相抵的压电堆顶柱和活动套设在压电堆顶柱底端外侧的胀紧套，胀紧套嵌设于固定端板的底部端面内，且通过胀紧螺栓旋紧作用后，胀紧套外圆周膨胀变形而固定于固定端板内，使压电堆顶柱固定于压电堆定位套内。本发明通过压电堆栈驱动实现移相器的位移输出，利用精密电容位移传感器探测压电堆栈驱动器的实时位移，通过闭环控制回路补偿位移，实现移相器长期位置稳定、运动无漂移和滞后的运行。
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公开(公告)号：CN117722943B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202410162812.X
申请日：2024-02-05
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01B9/02001 , G01B9/02056
Abstract: 本发明公开了一种集成高精度电容位移传感器的压电驱动机械式移相器，包括固定端板、移动端板、后盖板，移动端板的环形侧壁的内壁上一体设置有可柔性变形的内环形铰链，固定端板的环形侧壁的外壁上一体设置有可柔性变形的外环形铰链；固定端板的底部端面内嵌设有若干组围绕通孔的轴线均匀分布的压电驱动器单元和电容传感器单元，固定端板的底部端面内固定嵌设有引线转接PCB板，压电驱动器单元和电容传感器单元通过引线转接PCB板与外部线缆电连接。本发明通过压电堆栈驱动实现移相器的位移输出，利用精密电容传感器单元探测压电堆栈驱动器的实时位移，通过闭环控制回路补偿位移，实现移相器长期位置稳定、运动无漂移和滞后的运行。
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公开(公告)号：CN117722943A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202410162812.X
申请日：2024-02-05
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01B9/02001 , G01B9/02056
Abstract: 本发明公开了一种集成高精度电容位移传感器的压电驱动机械式移相器，包括固定端板、移动端板、后盖板，移动端板的环形侧壁的内壁上一体设置有可柔性变形的内环形铰链，固定端板的环形侧壁的外壁上一体设置有可柔性变形的外环形铰链；固定端板的底部端面内嵌设有若干组围绕通孔的轴线均匀分布的压电驱动器单元和电容传感器单元，固定端板的底部端面内固定嵌设有引线转接PCB板，压电驱动器单元和电容传感器单元通过引线转接PCB板与外部线缆电连接。本发明通过压电堆栈驱动实现移相器的位移输出，利用精密电容传感器单元探测压电堆栈驱动器的实时位移，通过闭环控制回路补偿位移，实现移相器长期位置稳定、运动无漂移和滞后的运行。
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