公开(公告)号：CN104154852A

公开(公告)日：2014-11-19

申请号：CN201410412326.5

申请日：2014-08-20

Applicant: 中国科学技术大学

Inventor： 冯志华 ,  王洪波 ,  李伟 ,  琚斌

IPC: G01B7/06

Abstract: 一种基于电涡流传感器的导电膜厚度测量系统及对应测量方法，利用涡流传感器探测线圈的阻抗在电阻-电感平面中的对应点在不同探测距离下形成的提离线的斜率与被测导电膜厚度的关系来实现厚度测量。所述导电膜厚度测量系统包括：带有探测线圈的电涡流传感器探头、阻抗测量电路、实现探头上下移动的微型致动器以及控制测量过程和厚度结果输出的控制器。本发明方法简单高效，可以非接触地准确测量出导电膜的厚度，测量结果几乎不受探测距离的影响，厚度测量范围从几十nm到几mm，可以广泛地用于半导体金属膜检测、工业生产线上的金属膜在线测量系统以及各种镀膜工艺的质量监控或检测等应用中。

公开(公告)号：CN104154852B

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201410412326.5

申请日：2014-08-20

Applicant: 中国科学技术大学

Inventor： 冯志华 ,  王洪波 ,  李伟 ,  琚斌

IPC: G01B7/06

Abstract: 一种基于电涡流传感器的导电膜厚度测量系统及对应测量方法，利用涡流传感器探测线圈的阻抗在电阻‑电感平面中的对应点在不同探测距离下形成的提离线的斜率与被测导电膜厚度的关系来实现厚度测量。所述导电膜厚度测量系统包括：带有探测线圈的电涡流传感器探头、阻抗测量电路、实现探头上下移动的微型致动器以及控制测量过程和厚度结果输出的控制器。本发明方法简单高效，可以非接触地准确测量出导电膜的厚度，测量结果几乎不受探测距离的影响，厚度测量范围从几十nm到几mm，可以广泛地用于半导体金属膜检测、工业生产线上的金属膜在线测量系统以及各种镀膜工艺的质量监控或检测等应用中。

公开(公告)号：CN104821224A

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：CN201510253394.6

申请日：2015-05-18

Applicant: 中国科学技术大学

Inventor： 冯志华 ,  琚斌 ,  肖广军 ,  李伟

IPC: H01F37/00 ,  H01L41/187

Abstract: 本发明公开了一种基于压电陶瓷材料的电感及其应用，电感采用压电陶瓷材料制成矩形、圆盘形、圆环形、三角形或梯形的压电元件，压电元件的两个表面分别设置一对上电极和下电极。针对压电陶瓷材料谐振状态下从容性到感性再到容性过程中，存在感性状态的特征，根据不同频率的需求，设计相应的压电陶瓷电感器。电感在振动模态工作的振动模式包括长条形振动模式、径向振动模式、厚度振动模式、辐射振动模式等。可以用于压电变压器驱动中的容性补偿或其它任何应用电感的场合。便于集成，具有体积小、重量轻、结构简单、不用铜铁材料、不怕受潮、不会燃烧、不受电磁干扰、能量密度大等优点，可以一定程度上满足集成电路对电感的需求。