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公开(公告)号：CN119468893B
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202510028038.8
申请日：2025-01-08
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01B7/02
Abstract: 本发明涉及传感器技术领域，公开了一种感应式位移传感器，包括基板、固定设置于基板表面上的两对矩形状的接收线圈和一个涡状线型的激励线圈，以基板的中心为原点创建初始平面坐标系，每对的两个接收线圈平行设置，两对接收线圈垂直设置，激励线圈位于接收线圈远离基板的一侧并与基板的表面平行设置；初始状态下，激励线圈的中心点在基板上的投影与初始平面坐标系的原点重合，接收线圈相对于激励线圈有xy平面内的位移时，两对线圈分别输出x和y方向上的相对位移，同时实现两个方向上的相对位移的解耦。本发明能够同时进行两个方向的位移测量，实现对位移信号的高精度和高稳定性测量，且具有良好的动态响应特性，减少机械部件运动带来的误差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119468893A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202510028038.8
申请日：2025-01-08
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01B7/02
Abstract: 本发明涉及传感器技术领域，公开了一种感应式位移传感器，包括基板、固定设置于基板表面上的两对矩形状的接收线圈和一个涡状线型的激励线圈，以基板的中心为原点创建初始平面坐标系，每对的两个接收线圈平行设置，两对接收线圈垂直设置，激励线圈位于接收线圈远离基板的一侧并与基板的表面平行设置；初始状态下，激励线圈的中心点在基板上的投影与初始平面坐标系的原点重合，接收线圈相对于激励线圈有xy平面内的位移时，两对线圈分别输出x和y方向上的相对位移，同时实现两个方向上的相对位移的解耦。本发明能够同时进行两个方向的位移测量，实现对位移信号的高精度和高稳定性测量，且具有良好的动态响应特性，减少机械部件运动带来的误差。
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公开(公告)号：CN119413058B
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202510027979.X
申请日：2025-01-08
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01B7/02
Abstract: 本发明公开了一种非接触式三维位移传感器，包括机械探头和检测电路，机械探头部分包括差分固定块和端横梁，差分固定块的两个平行内侧面上分别固定设置有第一差分线圈和第二差分线圈，横梁的悬置端的顶面上固定设置有位于第一差分线圈正下方的第一目标导体、底面上固定设置有位于第二差分线圈正上方的第二目标导体；第一目标导体的顶面上或/和第二目标导体的底面上沿水平x向固定设置有一对接收线圈Lx、沿水平y向固定设置有一对接收线圈Ly，两对接收线圈形成“井”字结构。本发明的非接触式三维位移传感器，在三个方向上均具备较佳的准静态分辨率和位移灵敏度，实现了各向解耦，并且在线性、量程等指标上都有优异的表现。
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公开(公告)号：CN117804348B
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202410237337.8
申请日：2024-03-01
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明公开了一种基于纵向莫尔条纹相关计算的光栅位移传感器，包括基座、光栅调节定位装置、一字激光器、激光干涉仪、线阵CCD、光栅位移驱动组件以及光栅位移计算系统；光栅调节定位装置内设置有固定的指示光栅和可水平横向移动的标尺光栅；线阵CCD固定位于通光孔的后侧，光栅位移驱动组件包括菱形位移驱动放大机构和压电致动器，菱形位移驱动放大机构的动力输出端与标尺光栅的端部固定连接，光栅位移计算系统包括与线阵CCD通讯连接的FPGA以及与FPGA通讯连接的PC机，PC机内设置有基于MatLab软件的归一化互相关算法程序。与传统的光栅采用的光电探测器相比，该光栅位移传感器具备高鲁棒性和灵活性的能力，能够实现在线精确位置测量。
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公开(公告)号：CN119413058A
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202510027979.X
申请日：2025-01-08
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01B7/02
Abstract: 本发明公开了一种非接触式三维位移传感器，包括机械探头和检测电路，机械探头部分包括差分固定块和端横梁，差分固定块的两个平行内侧面上分别固定设置有第一差分线圈和第二差分线圈，横梁的悬置端的顶面上固定设置有位于第一差分线圈正下方的第一目标导体、底面上固定设置有位于第二差分线圈正上方的第二目标导体；第一目标导体的顶面上或/和第二目标导体的底面上沿水平x向固定设置有一对接收线圈Lx、沿水平y向固定设置有一对接收线圈Ly，两对接收线圈形成“井”字结构。本发明的非接触式三维位移传感器，在三个方向上均具备较佳的准静态分辨率和位移灵敏度，实现了各向解耦，并且在线性、量程等指标上都有优异的表现。
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公开(公告)号：CN117804348A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202410237337.8
申请日：2024-03-01
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明公开了一种基于纵向莫尔条纹相关计算的光栅位移传感器，包括基座、光栅调节定位装置、一字激光器、激光干涉仪、线阵CCD、光栅位移驱动组件以及光栅位移计算系统；光栅调节定位装置内设置有固定的指示光栅和可水平横向移动的标尺光栅；线阵CCD固定位于通光孔的后侧，光栅位移驱动组件包括菱形位移驱动放大机构和压电致动器，菱形位移驱动放大机构的动力输出端与标尺光栅的端部固定连接，光栅位移计算系统包括与线阵CCD通讯连接的FPGA以及与FPGA通讯连接的PC机，PC机内设置有基于MatLab软件的归一化互相关算法程序。与传统的光栅采用的光电探测器相比，该光栅位移传感器具备高鲁棒性和灵活性的能力，能够实现在线精确位置测量。
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