公开(公告)号：CN117337126A

公开(公告)日：2024-01-02

申请号：CN202311189242.5

申请日：2023-09-14

Applicant: 中国科学技术大学

Inventor： 冯志华 ,  陈建 ,  冯梓涵 ,  许涛

IPC: H10N30/87 ,  H10N30/20 ,  H10N30/50 ,  H01G4/38 ,  H01G4/30

Abstract: 本发明公开了一种基于多层陶瓷电容器的堆栈式精密微致动器，包括n个多层陶瓷电容器，n个多层陶瓷电容器分为m个电容器组，每个电容器组含有s个多层陶瓷电容器，同一电容器组中的s个多层陶瓷电容器逐层堆叠，同一侧的电极并联连接，相邻两个多层陶瓷电容器粘结固定连接，不同电容器组逐层堆叠并依次串联连接，致动器的上下表面以及相邻两个电容器组之间均粘结连接有氧化铝陶瓷片。本发明将多层陶瓷电容堆栈致动器采用分组串联连接的形式，既能够获得较大输出位移，还能够降低多层陶瓷电容堆栈致动器整体的电容值，提高所需激励的驱动电压、减小驱动电流，在精密场合能够表现出高频致动的特点，同时能够适配的功率放大器也能轻易获得。