微机械真空封装的真空度检测装置

    公开(公告)号:CN1595087A

    公开(公告)日:2005-03-16

    申请号:CN200410012360.X

    申请日:2004-06-23

    Abstract: 本发明公开了一种微机械真空封装的真空度检测装置,涉及微电子机械技术领域一种小腔体封装外壳的真空度检测仪。它由外壳、盖板、加热丝、热偶丝、引脚构成。本发明在外壳内装入加热丝、热偶丝,用低温焊料封接盖板,使加热丝、热偶丝组成真空度检测电路,对加热丝通以一定的加热电流,热电偶产生的热电势取决于周围气体的压强,测量热电势达到对腔体内真空度的检测。本发明还具有结构紧凑,测量方便,可靠性好,适用范围宽等特点,特别适合作腔体体积小的微机械器件封装腔体内的真空度测试仪器。

    陶瓷小外形外壳
    3.
    实用新型

    公开(公告)号:CN201374327Y

    公开(公告)日:2009-12-30

    申请号:CN200920102362.6

    申请日:2009-04-02

    CPC classification number: H01L2924/0002 H01L2924/00

    Abstract: 本新型公开了一种陶瓷小外形外壳,包括引线、陶瓷件、封口环,其中引线钎焊在陶瓷件的底面或台面上,封口环焊接于陶瓷件的顶面上。本新型在陶瓷件上钎焊引线、焊接封口环来制作器件封装外壳,并且在陶瓷器件内制作电气连接线路,引线节距成倍减小、封装体积和重量减小,具有优异的电性能,适于自动化生产,降低了生产成本,节约PCB面积,同时,由于SMT的自动化程度高,可大大提高生产效率,其引线直接安装在PCB上,消除了元器件与PCB间的二次连接,减少了因连接而引起的故障,提高了可靠性,直接安装紧靠PCB,具有良好的耐机械冲击及耐高频振动能力,可取代塑封SOP、SSOP封装,具有气密、抗潮湿、高可靠的优点,适于作军用及民用高可靠元器件的封装。

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