Patent search ap:("中国电子科技集团公司第十三研究所") AND inv:"王月红" Page 1

1.

发明公开
微机械真空封装的真空度检测装置无效

公开(公告)号：CN1595087A

公开(公告)日：2005-03-16

申请号：CN200410012360.X

申请日：2004-06-23

Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所

Inventor： 张丽华 , 李军 , 邹勇明 , 程书博 , 张志谦 , 高岭 , 冀春峰 , 王月红 , 米文化

IPC: G01L21/14

Abstract: 本发明公开了一种微机械真空封装的真空度检测装置，涉及微电子机械技术领域一种小腔体封装外壳的真空度检测仪。它由外壳、盖板、加热丝、热偶丝、引脚构成。本发明在外壳内装入加热丝、热偶丝，用低温焊料封接盖板，使加热丝、热偶丝组成真空度检测电路，对加热丝通以一定的加热电流，热电偶产生的热电势取决于周围气体的压强，测量热电势达到对腔体内真空度的检测。本发明还具有结构紧凑，测量方便，可靠性好，适用范围宽等特点，特别适合作腔体体积小的微机械器件封装腔体内的真空度测试仪器。

Patent Agency Ranking