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公开(公告)号:CN118826689A
公开(公告)日:2024-10-22
申请号:CN202411022160.6
申请日:2024-07-29
申请人: 中国电子科技集团公司第二十六研究所
摘要: 本发明公开了一种高频大带宽的高性能声表面波滤波器,包括电极结构层、压电薄膜层和衬底层,还包括高声速层;所述高声速层位于所述电极结构层和所述压电薄膜层之间,且所述高声速层采用声速高、散热性好的材料制备而成;所述电极结构层位于所述压电薄膜层表面。本发明所涉及结构的声速大于6000m/s,在频率大于6.3GHz情况下,Q值大于3000,相对带宽可达9.3%~10.2%,因此,本发明能获得声速和Q值高于常规衬底结构的声波模式,利用激励的高声速和高Q值声波模式实现超高频、低损耗的高性能声表面波滤波器的设计。
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公开(公告)号:CN118174680A
公开(公告)日:2024-06-11
申请号:CN202410327553.1
申请日:2024-03-21
申请人: 中国电子科技集团公司第二十六研究所
摘要: 本发明公开了一种具有温补特性的声表面波器件结构,包括电极层、压电薄膜和衬底,压电薄膜设于衬底上表面,电极层设置在压电薄膜表面。还包括温补层,所述温补层位于衬底与压电薄膜之间,或者温补层位于压电薄膜之上并将压电薄膜上表面和电极层覆盖,温补层采用具有温补特性的材料制成。衬底材料为AlN陶瓷、AlN多晶或氮化镓GaN。当衬底为AlN陶瓷时,还包括功能层,所述功能层位于温补层和衬底之间;或者所述功能层位于温补层和压电薄膜之间;功能层材料采用以下材料中的至少一种制成:AlN薄膜、二氧化硅SiO2、多晶硅PolySi。本发明声表面波器件具有优异的温补特性,并通过进一步改进后具有高功率耐受能力。
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公开(公告)号:CN106896535B
公开(公告)日:2023-05-30
申请号:CN201710323470.5
申请日:2017-05-10
申请人: 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号: G02F1/11
摘要: 本发明提供一种用于聚焦光束声光衍射的高衍射效率换能器,换能器匹配安装在声光介质上的一面为曲面,通过对曲面的曲率进行设计,以使声波经过曲面传输至声光介质后,聚焦投射到声光介质内形成的光场区域发生声光衍射。本发明通过将换能器安装在声光介质上的一面设计为曲面,并对该曲面的曲率进行设计,可以将更多的声波能量聚焦投射到声光介质内形成的光场区域内发生声光衍射,从而可以提高衍射效率。
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公开(公告)号:CN113962089A
公开(公告)日:2022-01-21
申请号:CN202111235937.3
申请日:2021-10-22
申请人: 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号: G06F30/20 , G06F119/08 , G06F119/14
摘要: 本发明公开了一种基于精确理论解的声表面波滤波器的设计方法,包括:1)将温度场耦合到压电物理场中,得到多物理场耦合的数学模型;2)通过有限元技术对数学模型进行求解,获得单指结构的有限元模型;3)提取系统矩阵,并通过基于图形加速器加速的有限元分层级联技术,得到矩阵方程;4)电磁计算,获得电磁数据;5)将电磁数据和矩阵方程进行耦合,以得到频响特性;6)利用生物智能优化算法,根据目标函数进行优化搜索,计算并输出声表面波滤波器的优化数据。本发明耦合了温度场和电磁场的多物理场耦合模型,同时能够对设计出的声表面滤波器的性能参数进行进一步的优化设计,减小了设计出的声表面滤波器性能参数与产品之间的误差。
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公开(公告)号:CN106908970A
公开(公告)日:2017-06-30
申请号:CN201710128424.X
申请日:2017-03-06
申请人: 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号: G02F1/11
摘要: 本发明公开了一种声光晶体与换能器键合结构,在声光晶体和换能器表面分别依次镀制有底电极层和焊接层,声光晶体的焊接层和换能器的焊接层键合在一起,在声光晶体的底电极层和焊接层之间以及换能器的底电极层和焊接层之间分别设有金属过渡层;焊接层通过金属过渡层附着在底电极层上后,底电极层和声光晶体的附着力大于焊接层直接附着在底电极层上时底电极层和声光晶体的附着力;金属过渡层厚度使键合层整体满足器件声阻抗匹配要求。本发明键合后换能器表面不再出现开裂的现象,键合后换能器强度、换能器附着力增加,器件热应力明显降低。
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公开(公告)号:CN103064227A
公开(公告)日:2013-04-24
申请号:CN201310020149.1
申请日:2013-03-05
申请人: 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号: G02F1/33
摘要: 本发明公开了一种声光开关装置。包括:驱动电源、声光器件及至少一个平行棱镜;声光器件包括阻抗匹配网络、电声换能器及声光介质;驱动电源驱动声光介质形成折射率光栅;平行棱镜位于声光介质一侧,并与声光介质相隔一定距离设置;光线以一定角度入射至折射率光栅形成1级衍射光和0级光,1级衍射光和0级光分别到达平行棱镜的不同位置,1级衍射光从平行棱镜的第一端口输出,0级光从平行棱镜的第二端口输出,第一端口和第二端口相互间隔并位于平行棱镜的同侧。本发明能够实现1级衍射光和0级光的同向耦合输出,使得装置结构更紧凑,便于系统集成。
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公开(公告)号:CN115580256A
公开(公告)日:2023-01-06
申请号:CN202211189360.1
申请日:2022-09-28
申请人: 中国电子科技集团公司第二十六研究所
摘要: 本发明属于声表面波器件领域,特别涉及一种基于温度补偿型声表面波器件的杂波抑制结构包括:温补层、压电基底层、金属电极层,所述金属电极层设置在压电基底层上表面;所述温补层设置在金属电极层的金属面上;温补层的顶面设置为两个对称的斜面,所述两个对称的斜面的截面呈V型,本发明通过将温度补偿型声表面波器件的温补层的顶面设置为两个对称的斜面,使得当声波传播至温度补偿层上表面时,其入射角度发生改变,反射角度也随之发生改变,进而改变杂波叠加时的相位偏差,使得杂波模式的叠加能量得到削弱,从而达到抑制效果。
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公开(公告)号:CN105388640B
公开(公告)日:2019-08-02
申请号:CN201511006446.6
申请日:2015-12-29
申请人: 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号: G02F1/11
摘要: 本发明公开了一种用于声光可调滤光器的倾斜式换能器装置,换能器厚度沿其长度方向从一端向另一端逐渐增厚,换能器的厚度包括了器件工作带宽内低频到高频两端所有频率点的对应厚度。本发明在整个工作带宽内产生的声场强度更均匀,衍射效率更均匀,更容易实现更大的器件工作带宽。
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公开(公告)号:CN103064227B
公开(公告)日:2015-09-09
申请号:CN201310020149.1
申请日:2013-03-05
申请人: 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号: G02F1/33
摘要: 本发明公开了一种声光开关装置。包括:驱动电源、声光器件及至少一个平行棱镜;声光器件包括阻抗匹配网络、电声换能器及声光介质;驱动电源驱动声光介质形成折射率光栅;平行棱镜位于声光介质一侧,并与声光介质相隔一定距离设置;光线以一定角度入射至折射率光栅形成1级衍射光和0级光,1级衍射光和0级光分别到达平行棱镜的不同位置,1级衍射光从平行棱镜的第一端口输出,0级光从平行棱镜的第二端口输出,第一端口和第二端口相互间隔并位于平行棱镜的同侧。本发明能够实现1级衍射光和0级光的同向耦合输出,使得装置结构更紧凑,便于系统集成。
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公开(公告)号:CN103076654A
公开(公告)日:2013-05-01
申请号:CN201310066853.0
申请日:2013-03-04
申请人: 中国电子科技集团公司第二十六研究所
摘要: 本发明公开了一种保偏光纤声光移频装置。包括:第一保偏光纤、第一准直器、声光开关装置、第二准直器及第二保偏光纤;第一保偏光纤连接第一准直器,第二准直器连接第二保偏光纤,第一准直器和第二准直器呈一定角度分别设置于声光开关装置两侧、通过声光开关装置进行空间耦合;光线经起偏后输入第一保偏光纤的慢轴、经第一保偏光纤传输后由第一准直器输出,自第一准直器输出的光线以一定角度入射至声光开关装置发生布拉格衍射产生一级衍射光,一级衍射光由第二准直器接收,一级衍射光自第二准直器输入至第二保偏光纤的慢轴、由第二保偏光纤输出。本发明能够实现线偏振光移频输出,且输出光偏振消光比较高,使得系统插入损耗较低、精度较高。
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