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公开(公告)号：CN119301518A
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202380043494.9
申请日：2023-09-05
Applicant: 奥宝科技有限公司
Abstract: 本发明公开一种光学扫描仪，其可包含：采样器，其用于接收光束且提供包含所述光束的部分的经采样光束；色散元件，其用于使所述经采样光束沿着色散方向光谱色散；一或多个检测器，其用于接收沿着所述色散方向色散的所述经采样光束的至少部分；一或多个声光偏转器(AOD)，其经配置以使来自所述采样器的所述光束偏转；及控制器。所述控制器可基于来自所述一或多个检测器中的至少一者的信号来确定沿着所述色散方向色散的所述经采样光束的质心，且产生用于所述一或多个AOD中的至少一者的驱动信号，以使来自所述采样器的所述光束基于所述质心沿着选定偏转角偏转。
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公开(公告)号：CN119072661A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202380035967.0
申请日：2023-03-27
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： M·F·A·厄尔林斯 , H·R·M·范格里布罗克 , P·D·范福尔斯特 , 周子理 , J·J·M·巴塞曼斯
IPC: G03F7/20 , G01N21/956 , G02F1/33 , G03F9/00 , G03F7/00
Abstract: 公开了一种源选择模块，用于选择宽带照射束的光谱特性以获得调制的照射束。该源选择模块包括：第一束色散组件，用于沿第一方向色散光束；第二束色散组件，用于沿与所述第一方向垂直的第二方向色散光束；可控衍射组件，可操作以在宽带照射束被所述第一束色散组件和所述第二束色散组件色散之后可控地空间调制该宽带照射束；以及孔径光阑，可操作以使来自所述可控衍射组件的镜面反射辐射和衍射辐射中的一者的透射最大化，并使所述镜面反射辐射和衍射辐射中的另一者的透射最小化。
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公开(公告)号：CN118215889A
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202280075050.9
申请日：2022-11-15
Applicant: 迈康尼股份公司
Inventor： A·卡拉瓦伊茨克
Abstract: 一种扫描光刻激光写入器(1)，包括基底支架(60)、照射装置(2)和控制单元(40)。该照射装置具有激光源(10)、多头调制器装置(4)和至少两个写入头装置(50)。照射装置被布置用于经由多头调制器装置向写入头装置提供激光以照射基底平面。所述控制单元被配置用于控制基底支架(60)和所述写入头装置之间的相对机械位移，并且用于控制从其出射的激光的扫掠。多头调制器装置被配置为通过使用声光晶体将输入光束分离并调制为用于每个写入头装置的至少一个调制光束。写入头装置被定位成使从写入头装置离开的激光相对于彼此移位。
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公开(公告)号：CN113917761B
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202111114356.4
申请日：2021-09-23
Abstract: 本发明公开了一种基于角度无惯性反馈校正的光束稳定装置，该装置包括反射镜、中空回射器、纳米位移台、三角棱镜、声光偏转器、分束镜、透镜、位置探测器和控制器等部件。本发明利用了基于声光偏转器的非机械式的控制方法替代以往系统中机械控制方式，避免惯性误差的影响，减小环境噪声的干扰。并且利用了声光偏转器的高响应频率(可以达到1MHz以上)的优势，实现快速、高精度的光束角度漂移校正。利用本发明方法与装置调整得到的稳定光束，可以广泛用于超分辨显微成像系统和高精度激光直写光刻系统。
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公开(公告)号：CN116560157B
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202310822883.3
申请日：2023-07-06
Applicant: 深圳赋能光达科技有限公司
IPC: G02F1/33 , G02F1/11 , G02F1/1335 , G02B27/09 , G02B27/28 , G01S7/481 , G01S7/484 , G01S7/486 , G01S17/10 , G01S17/931
Abstract: 本申请提供了一种基于柱面透镜扩束的声光偏转模组，包括光源模块、声光偏转模块、会聚光学器件、液晶偏振光栅模块及柱面扩束透镜。光源模块包括发光单元及准直发光单元发出光束的柱面准直透镜。声光偏转模块根据所施加的声波频率在预设的第一偏转角度范围内沿第一方向将光束偏转多个不同的预设偏转角度。会聚光学器件被配置为对偏转后的光束进行会聚。液晶偏振光栅模块被配置为对经偏转和会聚的光束分别在多个时刻进一步偏转对应的不同预设偏转角度以形成不同发射方向的感测光束。柱面扩束透镜对感测光束沿第二方向的发散角进行扩展以形成长条形的感测光束，其长度方向平行于与第一方向垂直的第二方向。本申请还提供测距装置及电子设备。
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公开(公告)号：CN116559836B
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202310822849.6
申请日：2023-07-06
Applicant: 深圳赋能光达科技有限公司
IPC: G02F1/33
Abstract: 本申请提供了一种基于扩散片扩束的声光偏转模组，包括光源模块、声光偏转模块、会聚光学器件、投射光学系统及扩散片。光源模块包括发光单元及用于准直光束的超透镜。声光偏转模块根据施加的声波频率在第一偏转角度范围内沿第一方向将准直光束偏转多个不同的预设偏转角度。投射光学系统将经会聚光学器件会聚的光束沿检测范围内对应的发射方向投射以形成感测光束。其中，偏转会聚后的光束经过投射光学系统的焦平面上的对应区域，对应区域随光束偏转角度的变化在焦平面上移动。扩散片对感测光束沿第二方向的发散角进行扩展以形成长条形的感测光束，其长度方向平行于与第一方向垂直的第二方向。本申请还提供光电装置及电子设备。
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公开(公告)号：CN116300244A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310150525.2
申请日：2023-02-16
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明提供一种声光偏转装置，涉及激光器件技术领域，包括：声光晶体，其上表面设置有反射斜面，激光光束从所述声光晶体的侧面入射；以及至少两个换能器，连接于所述声光晶体的下表面，相邻两个所述换能器之间存在间隙；其中，所述换能器连接交流电源，以在所述声光晶体内形成声场。本发明结构简单，能量利用率高，可大幅提高装置带宽。
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公开(公告)号：CN110100204B
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN201780079908.8
申请日：2017-12-22
Applicant: 徕卡显微系统复合显微镜有限公司
Abstract: 为了实现被引导通过体积光栅(1)的光射束在不同的照射布置系统之间的灵活转换，提供一种包括用于影响至少一条光射束(2)的射束方向的体积光栅(1)的光学布置系统，其特征在于，在体积光栅(1)之前的光路中设置有转换装置(4)用于使至少一条光射束(2)的射束方向和/或射束位置从第一射束方向和/或射束位置向第二射束方向和/或射束位置转换，和/或反之亦然，在所述第一射束方向和/或射束位置时所述至少一条光射束(2)不是以体积光栅(1)的接收角入射到体积光栅(1)上，在所述第二射束方向和/或射束位置时所述至少一条光射束(2)以接收角入射到体积光栅(1)上。此外给出一种用于尤其是在使用前述光学布置系统的情况下影响至少一条光射束(2)的射束方向的方法。
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公开(公告)号：CN114631054A
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN202080076910.1
申请日：2020-10-05
Applicant: 奥宝科技有限公司
Abstract: 一种光学设备包含声光介质，所述声光介质经配置以接收输入辐射射束且使所述输入射束在一偏转角度范围内朝向目标偏转。多个压电换能器的阵列附接到所述声光介质。驱动电路经耦合以向所述压电换能器施加相应驱动信号，所述相应驱动信号的频率经选择以便致使声波在选定频率下传播穿过所述声光介质，所述声光介质借此使所述输入射束在所述范围内的对应偏转角度下偏转，且其中施加到所述阵列中的所述换能器的所述驱动信号当中的相位偏移经选择以便通过调整所述声波的波前角度而调制经偏转射束的强度。
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公开(公告)号：CN113272832A
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN201980062093.1
申请日：2019-07-18
Inventor： S·德布纳特 , N·M·林克 , 克里斯托弗·R·门罗 , C·菲加特
Abstract: 本发明的各方面描述了用于为了量子操作而控制离子链中的离子的量子状态的技术。例如，描述了一种方法，包括：从第一方向向离子链中的离子提供全局光束；以及从不同于第一方向的第二方向，向离子链中的离子的子组中的每个离子提供相应寻址光束。该方法还包括：使用多通道声光调制器(AOM)中的相应通道，动态地控制所提供的每个寻址光束，以利用离子链实现量子操作的量子门序列中的一个或多个量子门。还描述了用于执行该方法的包括多通道AOM的量子信息处理(QIP)系统。
