α粒子发射率测试方法
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113568031B

    公开(公告)日:2023-11-03

    申请号:CN202110654904.6

    申请日:2021-06-11

    IPC分类号: G01T1/36

    摘要: 本发明涉及电子器件可靠性技术领域,公开了一种α粒子发射率测试方法,包括获取测试样品;对测试设备的背底噪声进行调试,使得测试设备的α粒子发射率小于设定值;利用完成调试的测试设备对测试样品进行α粒子发射率测试,并对测试到的α粒子进行计数;当α粒子的计数达到目标计数时结束测试,并获取测试数据;对测试数据进行分析和处理。通过在对测试过程前通过背底噪声调试来降低环境噪声和设备自身发射α粒子本底对测试结果的影响,在测试完成后通过数据分析来进一步确定超低本底电子材料的测试样品的实际α粒子发射率。利用上述α粒子发射率测试方法可以实现对超低本底电子材料的测试样品α粒子发射率、能谱的准确测量,提高试验准确度。

    半导体器件总剂量辐射试验装置与方法

    公开(公告)号:CN114994483A

    公开(公告)日:2022-09-02

    申请号:CN202210379063.7

    申请日:2022-04-12

    IPC分类号: G01R31/26

    摘要: 本申请涉及一种半导体器件总剂量辐射试验装置与方法,包括与控制模块连接的真空试验箱、辐射应力模块与温度应力模块,被试验器件设置于真空试验箱;控制模块根据被试验器件的器件类型获取被试验器件所需的预设总剂量辐射应力与预设温度应力,并根据预设总剂量辐射应力输出辐射试验指令至辐射应力模块,根据预设温度应力输出温度试验指令至温度应力模块;辐射应力模块根据辐射试验指令对被试验器件进行总剂量辐射试验;温度应力模块根据温度试验指令对被试验器件进行高低温试验,为复杂辐射环境下的半导体器件提供更准确的地面模拟评估试验环境,避免过高估计其在复杂辐射环境下的寿命而导致使用时提前进入磨损期,发生性能参数异常与失效。

    α粒子发射率测量方法
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113484894A

    公开(公告)日:2021-10-08

    申请号:CN202110654439.6

    申请日:2021-06-11

    IPC分类号: G01T1/16

    摘要: 本发明涉及电子器件可靠性技术领域,公开了一种α粒子发射率测量方法,包括对粉末样品进行定型制样;分别对样品托盘和空的样品容器进行α粒子发射率背底测试,获得所述样品托盘的α粒子发射率和空的所述样品容器的α粒子发射率;对装满所述粉末样品的样品容器进行α粒子发射率测试,根据所述样品托盘的发射率和空的所述样品容器的α粒子发射率,获得所述粉末样品的α粒子发射率。通过根据实验需求对粉末样品进行定型和防沾污制样,来解决粉末样品存在形状不固定、容易被电离室气体吹起、容易污染托盘等问题。所述方法排除了试验设备对测试结果的干扰,解决了粉末样品α粒子发射率测试难题的同时还提高了试验准确度。

    大气中子辐射效应测试系统以及方法

    公开(公告)号:CN111781219A

    公开(公告)日:2020-10-16

    申请号:CN202010662578.9

    申请日:2020-07-10

    IPC分类号: G01N23/00

    摘要: 本申请涉及一种大气中子辐射效应测试系统以及方法。其中,大气中子辐射效应测试系统包括样品台设备、信号输入设备、测试设备以及分析设备。样品台设备包括试验样品台以及控制模块,试验样品台用于放置电子系统,控制模块用于控制试验样品台运动。分析设备根据测试设备的测试结果分析被测器件的大气中子辐射耐受能力。因此,本申请大气中子辐射效应测试系统以及方法可以对电子系统的组成器件进行大气中子辐射耐受能力分析。同时,样品台设备可以带动电子系统运动,进而使得大气中子辐射效应测试系统在同一试验过程中对多个被测器件进行切换测试。因此,本申请的大气中子辐射效应测试系统以及方法可以有效提高电子系统的安全性、可靠性。

    纳米场效应晶体管的总剂量辐射试验方法及装置

    公开(公告)号:CN111693838A

    公开(公告)日:2020-09-22

    申请号:CN202010405988.5

    申请日:2020-05-14

    IPC分类号: G01R31/26

    摘要: 本发明涉及一种纳米场效应晶体管的总剂量辐射试验方法和装置,该试验方法包括如下过程:提供具有统计学意义数量的场效应晶体管器件,进行第一电参数测试,获取其第一阈值电压;对场效应晶体管进行若干次辐射处理至达到预设的总辐射剂量,在每次辐射处理后均进行第二电参数测试;对辐射处理至总辐射剂量后的场效应晶体管进行偏置处理,然后进行第三电参数测试,获得第三阈值电压;根据数据处理所得的缺陷分布值判断所述场效应晶体管器件是否符合产品要求。该试验方法提供了一种针对纳米场效应晶体管的分析方法,其有效解决了纳米场效应晶体管的量子效应及涨落效应导致的波动幅度大,传统技术无法准确分析的问题。