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公开(公告)号：CN117572021A
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN202410063805.4
申请日：2024-01-17
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明属于加速度传感器技术领域。本发明提供一种敏感结构及加速度传感器。敏感结构包括边框，边框形成有第一容置空间；外隔离岛，外隔离岛设置于第一容置空间中且固定于边框，外隔离岛形成有第二容置空间；内隔离岛，内隔离岛设置于第二容置空间且连接至外隔离岛；悬臂梁，悬臂梁具有两端，悬臂梁设置于第二容置空间且一端连接至内隔离岛；质量块，质量块连接至悬臂梁的另一端；其中，质量块被构造成在加速度作用下对悬臂梁产生作用力。加速度传感器包括前述的敏感结构。通过设置内、外隔离岛，形成双重隔离结构，可有效消除封装应力、温度应力等外围干扰应力对敏感部分的影响，可提高加速度测量精度和检测可靠性。
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公开(公告)号：CN111366290A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN202010227383.1
申请日：2020-03-27
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明涉及一种半球万向敏感压电冲击传感器。该半球万向敏感压电冲击传感器通过电射流微纳打印技术，将所述半球陶瓷厚膜打印至所述半球底座的半球表面；所述半球陶瓷厚膜与所述半球底座为一体化结构。采用本发明所提供的半球万向敏感压电冲击传感器能够简化敏感压电冲击传感器结构和信号处理流程，提高所述半球万向敏感压电冲击传感器的万向性。
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公开(公告)号：CN105352634A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201510868073.7
申请日：2015-12-02
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种集成压电式万向冲击传感器及其压电敏感元件的制造方法，涉及传感器技术领域。本发明包括质量块和压电敏感元件，所述压电敏感元件上设置有Z轴轴向压力敏感输出电极对、Y轴轴向压力敏感输出电极对、X轴轴向压力敏感输出电极对和质量块焊接电极；所述质量块通过质量块焊接电极焊接在压电敏感元件顶部；本发明采用新型的集成结构模型，将Z轴压缩式感应输出与X、Y轴剪切感应输出集成一体，通过后续的分区极化，实现了X、Y及Z轴的敏感输出，技术得到了较大的革新改进。
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公开(公告)号：CN103604950A
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN201310582955.8
申请日：2013-11-20
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01P15/09
Abstract: 本发明提供了一种压电式微加速度传感器。所述的传感器包括敏感芯片和上、下玻璃板；其中，敏感芯片采用结构对称的环状结构，共包含八个上电极、八个下电极、八个压电层、支撑膜、质量块。所述的八个下电极置于支撑膜之上，八个压电层置于下电极之上，八个上电极置于压电层之上。质量块悬置于下电极之下并与支撑膜固定连接，质量块悬置于支撑膜之下，构成敏感芯片的可动部分。电极、压电层分别构成的圆环均与质量块同圆心。所述的敏感芯片与上、下玻璃板分别通过键合连接。本发明的压电式微加速度传感器的固有频率为14.8KHz以上，灵敏度为0.62pC/g。
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公开(公告)号：CN117607489B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202410063803.5
申请日：2024-01-17
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明属于加速度传感器技术领域。本发明提供一种压阻式加速度传感器的敏感结构及加速度传感器。敏感结构包括框架和敏感单元，框架形成有第一容置空间，敏感单元设置于第一容置空间内。敏感单元包括质量块、第一支撑梁和第二支撑梁。质量块具有主体以及固定至主体的凸部；第一支撑梁和第二支撑梁的一端分别连接至质量块的主体的第一纵向位置和第二纵向位置；其中，质量块的纵向为质量块的敏感方向，质量块的凸部的延伸方向与第一支撑梁、第二支撑梁的延伸方向平行；质量块在加速度作用下对第一支撑梁和第二支撑梁产生作用力。有利于提高敏感结构的抗冲击能力、横向抗干扰能力。可充分利用空间位置，从而减小敏感结构的体积。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117590025B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202410077880.6
申请日：2024-01-19
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明属于加速度传感器技术领域。本发明提供一种压阻式加速度传感器，其包括敏感芯片、基板、基座和基板安装座。其中，基座具有安装侧和与安装侧相对的连接侧，基座具有内腔，内腔自连接侧的端面向内延伸。基板安装座包括安装座本体和连接部，敏感芯片安装在基板上，基板固定于安装座本体上。内腔适于容纳基板安装座，基板安装座通过连接部悬挂连接至基座的连接侧。安装座本体与基座之间具有间隙，敏感芯片与基座之间被间隙隔离。能改善基座应变、冲击应力波对传感器测量精度和抗冲击能力的影响。可显著抑制基座的安装结构变形对传感器敏感单元的影响，提高加速度的测量精度；可防止敏感芯片受到异常冲击应力而失效。
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公开(公告)号：CN110045150A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910392993.4
申请日：2019-05-13
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明公开一种在线自检测压电加速度传感器，包括基座、第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层、敏感压电单元、驱动压电单元、惯性质量和预紧螺母；所述基座包括一个底座和底座上方一个柱形凸起，所述底座和柱形凸起为一体结构，所述柱形凸起上有螺纹；所述敏感压电单元用于将压力信号转变成电信号；所述驱动压电单元用于根据电信号发生伸缩形变；所述第一绝缘层、敏感压电单元、第二绝缘层、驱动压电单元、第三绝缘层、惯性质量和预紧螺母沿轴向依次串套在所述柱形凸起上，所述预紧螺母用于施加初始预紧压力。本发明通过在传感器内部增加了驱动压电单元，实现了加速度测量和自检测复合功能，能够在线对传感器状态进行检测与健康诊断。
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公开(公告)号：CN105352634B
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：CN201510868073.7
申请日：2015-12-02
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种集成压电式万向冲击传感器及其压电敏感元件的制造方法，涉及传感器技术领域。本发明包括质量块和压电敏感元件，所述压电敏感元件上设置有Z轴轴向压力敏感输出电极对、Y轴轴向压力敏感输出电极对、X轴轴向压力敏感输出电极对和质量块焊接电极；所述质量块通过质量块焊接电极焊接在压电敏感元件顶部；本发明采用新型的集成结构模型，将Z轴压缩式感应输出与X、Y轴剪切感应输出集成一体，通过后续的分区极化，实现了X、Y及Z轴的敏感输出，技术得到了较大的革新改进。
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公开(公告)号：CN117590025A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202410077880.6
申请日：2024-01-19
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明属于加速度传感器技术领域。本发明提供一种压阻式加速度传感器，其包括敏感芯片、基板、基座和基板安装座。其中，基座具有安装侧和与安装侧相对的连接侧，基座具有内腔，内腔自连接侧的端面向内延伸。基板安装座包括安装座本体和连接部，敏感芯片安装在基板上，基板固定于安装座本体上。内腔适于容纳基板安装座，基板安装座通过连接部悬挂连接至基座的连接侧。安装座本体与基座之间具有间隙，敏感芯片与基座之间被间隙隔离。能改善基座应变、冲击应力波对传感器测量精度和抗冲击能力的影响。可显著抑制基座的安装结构变形对传感器敏感单元的影响，提高加速度的测量精度；可防止敏感芯片受到异常冲击应力而失效。
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公开(公告)号：CN112857142A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN201911100514.3
申请日：2019-11-12
Applicant: 北京理工大学 , 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: F41A31/00
Abstract: 本发明公开了一种穿靶实验装置，属于冲击实验技术领域，能够解决现有穿靶实验装置成本较高，实验次数受限，不利于验证信号识别系统是否达标的问题。所述穿靶实验装置，包括发射平台、冲击体和靶板；靶板位于发射平台的发射侧的前方；发射平台用于向靶板发射冲击体，以使冲击体冲击靶板；发射平台发射的冲击体速度小于预设阈值；冲击体前端为锥体。本发明用于穿靶实验。
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