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公开(公告)号：CN103308718A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310271573.3
申请日：2013-07-02
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明提供了一种单凸梁式微机械加速度传感器。所述的传感器包括敏感芯片和下玻璃板；其中，敏感芯片含有框架、敏感凸梁、质量块及压敏电阻；其连接关系是，所述框架内设置有敏感凸梁，敏感凸梁一端与框架相连，另一端与质量块相连，敏感凸梁和质量块共同构成敏感芯片的可动部分；压敏电阻设置在敏感凸梁上表面：所述的敏感芯片与下玻璃板通过键合连接。所述的敏感芯片中敏感凸梁采用长度相等的上下两个矩形梁复合而成，上窄下宽。所述的敏感芯片中的可动部分与下玻璃板之间有间隙。本发明的单凸梁微机械加速度传感器在相同固有频率下灵敏度比普通悬臂梁高，反之在相同灵敏度的情况下则有更高的固有频率。
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公开(公告)号：CN103604950A
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN201310582955.8
申请日：2013-11-20
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01P15/09
Abstract: 本发明提供了一种压电式微加速度传感器。所述的传感器包括敏感芯片和上、下玻璃板；其中，敏感芯片采用结构对称的环状结构，共包含八个上电极、八个下电极、八个压电层、支撑膜、质量块。所述的八个下电极置于支撑膜之上，八个压电层置于下电极之上，八个上电极置于压电层之上。质量块悬置于下电极之下并与支撑膜固定连接，质量块悬置于支撑膜之下，构成敏感芯片的可动部分。电极、压电层分别构成的圆环均与质量块同圆心。所述的敏感芯片与上、下玻璃板分别通过键合连接。本发明的压电式微加速度传感器的固有频率为14.8KHz以上，灵敏度为0.62pC/g。
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公开(公告)号：CN112857142B
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN201911100514.3
申请日：2019-11-12
Applicant: 北京理工大学 , 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: F41A31/00
Abstract: 本发明公开了一种穿靶实验装置，属于冲击实验技术领域，能够解决现有穿靶实验装置成本较高，实验次数受限，不利于验证信号识别系统是否达标的问题。所述穿靶实验装置，包括发射平台、冲击体和靶板；靶板位于发射平台的发射侧的前方；发射平台用于向靶板发射冲击体，以使冲击体冲击靶板；发射平台发射的冲击体速度小于预设阈值；冲击体前端为锥体。本发明用于穿靶实验。
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公开(公告)号：CN112857142A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN201911100514.3
申请日：2019-11-12
Applicant: 北京理工大学 , 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: F41A31/00
Abstract: 本发明公开了一种穿靶实验装置，属于冲击实验技术领域，能够解决现有穿靶实验装置成本较高，实验次数受限，不利于验证信号识别系统是否达标的问题。所述穿靶实验装置，包括发射平台、冲击体和靶板；靶板位于发射平台的发射侧的前方；发射平台用于向靶板发射冲击体，以使冲击体冲击靶板；发射平台发射的冲击体速度小于预设阈值；冲击体前端为锥体。本发明用于穿靶实验。
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公开(公告)号：CN103604949A
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN201310582637.1
申请日：2013-11-20
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01P15/09
Abstract: 本发明提供了一种环状压电式微加速度传感器。所述的传感器包括敏感芯片和上、下玻璃板；其中，敏感芯片包含两个上电极、两个下电极、两个压电层、支撑膜、外框、质量块。所述的两个下电极置于支撑膜之上，两个压电层置于下电极之上，两个上电极置于压电层之上。质量块悬置于下电极之下并与支撑膜固定连接，构成敏感芯片的可动部分。电极、压电层分别构成的圆环均与质量块同圆心。所述的敏感芯片与上、下玻璃板分别通过键合连接。本发明的环状压电式微加速度传感器的固有频率为14.2KHz以上，灵敏度为0.23pC/g。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103323623B
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201310271572.9
申请日：2013-07-02
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明公开了一种三凸梁式微机械加速度传感器。所述的传感器包括敏感芯片和下玻璃板；其中，敏感芯片采用结构对称的双端固支的双质量块，共包含两个锚区、三个敏感凸梁、两个质量块、四个压敏电阻。其连接关系是，所述的两个质量块通过一个敏感凸梁连在一起，另外两个敏感凸梁分别放置在质量块两端，构成敏感芯片的可动部分；四个压敏电阻分别设置在敏感凸梁上表面；可动部分的两端分别与锚区连在一起构成敏感芯片；所述的敏感芯片与下玻璃板通过键合连接。本发明的传感器的固有频率可达300KHz以上，且不使灵敏度下降，避开了常规设计中两者不可协调的矛盾。
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公开(公告)号：CN103323623A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201310271572.9
申请日：2013-07-02
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明公开了一种三凸梁式微机械加速度传感器。所述的传感器包括敏感芯片和下玻璃板；其中，敏感芯片采用结构对称的双端固支的双质量块，共包含两个锚区、三个敏感凸梁、两个质量块、四个压敏电阻。其连接关系是，所述的两个质量块通过一个敏感凸梁连在一起，另外两个敏感凸梁分别放置在质量块两端，构成敏感芯片的可动部分；四个压敏电阻分别设置在敏感凸梁上表面；可动部分的两端分别与锚区连在一起构成敏感芯片；所述的敏感芯片与下玻璃板通过键合连接。本发明的传感器的固有频率可达300KHz以上，且不使灵敏度下降，避开了常规设计中两者不可协调的矛盾。
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公开(公告)号：CN103293336A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310271575.2
申请日：2013-07-02
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明提供了一种双悬臂梁式微机械加速度传感器。其特征在于所述的传感器包括敏感芯片和下玻璃板，其中，敏感芯片含有框架、悬臂梁和质量块以及四个压敏电阻，其连接关系是,所述框架内设置有两个相互独立的悬臂梁，悬臂梁的一端与框架相连，另一端与质量块相连，悬臂梁的一端与框架相连，另一端与质量块相连，悬臂梁和质量块共同构成敏感芯片的可动部分；压敏电阻设置在悬臂梁上表面；压敏电阻设置在悬臂梁上表面，所述的敏感芯片与下玻璃板通过键合连接。对于需要传感器有高谐振频率的场合，本发明能够使传感器的灵敏度提高约一倍，避开了常规设计中两者不可协调的矛盾。
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公开(公告)号：CN203365461U
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201320386160.5
申请日：2013-07-02
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01P15/12
Abstract: 本实用新型提供了一种单凸梁式微机械加速度传感器。所述的传感器包括敏感芯片和下玻璃板；其中，敏感芯片含有框架、敏感凸梁、质量块及压敏电阻；其连接关系是，所述框架内设置有敏感凸梁，敏感凸梁一端与框架相连，另一端与质量块相连，敏感凸梁和质量块共同构成敏感芯片的可动部分；压敏电阻设置在敏感凸梁上表面：所述的敏感芯片与下玻璃板通过键合连接。所述的敏感芯片中敏感凸梁采用长度相等的上下两个矩形梁复合而成，上窄下宽。所述的敏感芯片中的可动部分与下玻璃板之间有间隙。本实用新型的单凸梁微机械加速度传感器在相同固有频率下灵敏度比普通悬臂梁高，反之在相同灵敏度的情况下则有更高的固有频率。
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公开(公告)号：CN203365460U
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201320386158.8
申请日：2013-07-02
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01P15/12
Abstract: 本实用新型公开了一种三凸梁式微机械加速度传感器。所述的传感器包括敏感芯片和下玻璃板；其中，敏感芯片采用结构对称的双端固支的双质量块，共包含两个锚区、三个敏感凸梁、两个质量块、四个压敏电阻。其连接关系是，所述的两个质量块通过一个敏感凸梁连在一起，另外两个敏感凸梁分别放置在质量块两端，构成敏感芯片的可动部分；四个压敏电阻分别设置在敏感凸梁上表面；可动部分的两端分别与锚区连在一起构成敏感芯片；所述的敏感芯片与下玻璃板通过键合连接。本实用新型的传感器的固有频率可达300KHz以上，且不使灵敏度下降，避开了常规设计中两者不可协调的矛盾。
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