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公开(公告)号：CN115072622B
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202210675746.7
申请日：2022-06-15
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开一种重载夹具的支撑装置及其多自由度重载安装车，包括沿前背架的行进方向位于其后侧的支撑架和支撑臂，前背架的前侧沿竖直方向滑动连接有重载夹具，支撑臂的顶端连接在支撑架中间位置处，支撑架的一端连接在前背架的上部，另一端与前背架的下部之间连接有支撑杆，前背架、支撑杆和支撑架之间形成三角形结构，使得整个夹持工件的过程更加稳定，活动架沿垂直于行进方向上的两侧均转动设有能够抱合夹持工件的侧夹板，侧夹板相抱合的位置处沿竖直方向上的两侧分别设有顶夹板和底夹板，顶夹板和底夹板均可拆卸连接在活动架上，可支持顶部固定、底部固定和侧抱固定三种固定方式，满足不同重载工件的形状及尺寸安装对象的作业要求。
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公开(公告)号：CN105502142B
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201510410156.1
申请日：2015-07-13
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 哈尔滨工业大学
IPC: B66C1/10
Abstract: 本发明公开了一种精密定位与柔性对接系统，包括吊臂，吊臂通过滑轮系统设有钢绳；与钢绳下端连接的夹具臂；可转动地安装在夹具臂一端的夹具头；撑杆和撑台构成的随动支撑结构，撑杆下端铰接在夹具臂上；悬摆内圈和悬摆外圈，钢绳穿过悬摆内圈，悬摆外圈固定在撑台一端；悬摆调平机构，该悬摆调平机构一端铰接在悬摆内圈上端，另一端与吊臂固定。本发明通过撑杆和撑台组成的随动支撑结构与吊钩共同作用，确保夹具头和夹具臂始终处于双吊点柔性悬挂状态，使大口径光机模块安装过程具有柔顺性，并通过调平结构使大口径光机模块在安装过程中始终保持静力平衡状态，通过空间姿态调整，实现大口径光机模块的空间精密定位，并与安装位之间进行柔性对接。
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公开(公告)号：CN115072622A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202210675746.7
申请日：2022-06-15
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开一种重载夹具的支撑装置及其多自由度重载安装车，包括沿前背架的行进方向位于其后侧的支撑架和支撑臂，前背架的前侧沿竖直方向滑动连接有重载夹具，支撑臂的顶端连接在支撑架中间位置处，支撑架的一端连接在前背架的上部，另一端与前背架的下部之间连接有支撑杆，前背架、支撑杆和支撑架之间形成三角形结构，使得整个夹持工件的过程更加稳定，活动架沿垂直于行进方向上的两侧均转动设有能够抱合夹持工件的侧夹板，侧夹板相抱合的位置处沿竖直方向上的两侧分别设有顶夹板和底夹板，顶夹板和底夹板均可拆卸连接在活动架上，可支持顶部固定、底部固定和侧抱固定三种固定方式，满足不同重载工件的形状及尺寸安装对象的作业要求。
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公开(公告)号：CN105502142A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201510410156.1
申请日：2015-07-13
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 哈尔滨工业大学
IPC: B66C1/10
Abstract: 本发明公开了一种精密定位与柔性对接系统，包括吊臂，吊臂通过滑轮系统设有钢绳；与钢绳下端连接的夹具臂；可转动地安装在夹具臂一端的夹具头；撑杆和撑台构成的随动支撑结构，撑杆下端铰接在夹具臂上；悬摆内圈和悬摆外圈，钢绳穿过悬摆内圈，悬摆外圈固定在撑台一端；悬摆调平机构，该悬摆调平机构一端铰接在悬摆内圈上端，另一端与吊臂固定。本发明通过撑杆和撑台组成的随动支撑结构与吊钩共同作用，确保夹具头和夹具臂始终处于双吊点柔性悬挂状态，使大口径光机模块安装过程具有柔顺性，并通过调平结构使大口径光机模块在安装过程中始终保持静力平衡状态，通过空间姿态调整，实现大口径光机模块的空间精密定位，并与安装位之间进行柔性对接。
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公开(公告)号：CN119558157A
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202411607094.9
申请日：2024-11-12
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G06F30/25 , H01L23/544
Abstract: 本申请公开了一种六方晶格下阴影效应粒子碰撞点轨迹确定方法、设备、介质及产品，涉及干法刻蚀和薄膜沉积表面微观形貌理论模拟领域。本申请基于三维晶格堆叠的层数高度，将六方晶格模型拆分成奇数层晶格单元和偶数层晶格单元；通过对奇偶数层先分开计算再合并比对的方式，解决了相邻奇偶数层间空间位置错位的问题，降低数值化处理难度；通过确定垂线与粒子飞行轨迹线间的垂直距离，实时剔除了六方晶格模型轮廓表面下无碰撞的晶格单元，节约计算量；通过确定投影分量，得到粒子飞行过程中与表面三维形貌的碰撞点，实现碰撞点的高效定位，提高六方晶格下阴影效应粒子碰撞点轨迹确定的效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117930501B
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202410269186.4
申请日：2024-03-08
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明属于光学元件技术领域，具体涉及一种涉氚光学元件干法无损去污除膜方法。本发明首先根据元件表面膜层和基底的折射率等光学特征参数，模拟计算元件透射率/反射率与膜层厚度间的函数关系曲线；接着，利用分光光度计光路对光学元件透射率/反射率进行在线监测，并依据模拟计算得到的透射率/反射率与膜层厚度关系曲线，实时计算监测剩余膜层厚度；采用反应离子束刻蚀的方法对光学元件进行去污和除膜处理，当在线监测显示膜层已被完全去除时，停止反应离子束刻蚀；最后，对元件表面的氚污染含量进行测量确认。本发明提供的方法绿色环保无氚化水产生，不破坏元件基底，可同步实现元件的去污和除膜两个目的。
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公开(公告)号：CN110813924B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN201911291678.9
申请日：2019-12-16
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种用于光学元件表面颗粒污染物的处理系统，包括：底板，其上通过支撑柱放置有光学元件；风刀及离子棒单元，其通过支撑单元连接在底板上，且风刀及离子棒单元位于光学元件的一端，并使风刀及离子棒单元的出风口正对光学元件的上表面；静电吸附电极，其包括平行设置的正电极棒和负电极棒，正电极棒和负电极棒分别通过电极支撑架连接在底板上，且正电极棒位于光学元件的上方，负电极棒位于光学元件的的下方。本发明通过风刀及离子棒产生离子风或高速气流将光学元件表面的污染物去除并使污染物荷电，采用静电吸附电极在光学元件末端或将静电吸附电极带动在光学元件表面进行来回运动，对污染物进行收集，从而达到污染物去除的目的。
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公开(公告)号：CN114326138A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202210003712.3
申请日：2022-01-05
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种高精度旋转台光轴装调方法，先使调焦物镜焦点位于第一小孔镜的中心孔处，再使分划板的十字叉丝和第一小孔镜的小孔重合；再使调焦物镜的焦点调至第二小孔镜的中心孔处，然后调整第二小孔镜的位置，使得第二小孔镜与分划板的十字叉丝重合；再使调焦物镜的焦点调至第一反射镜上，并确保人眼观察到第一反射镜上的十字叉丝，再转动旋转台，并调整第二反射镜和第三反射镜的角度，直至十字叉丝不随着旋转台的转动而变化。然后利用分光镜取代调焦物镜，光源取代目镜，使光源发出的平行光穿过第一小孔镜和第二小孔镜，再整体转动旋转台，并调整第二反射镜和第三反射镜的角度，监测CCD相机，直至十字叉丝不随着旋转台的转动而变化。
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公开(公告)号：CN106594028A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201611268385.5
申请日：2016-12-31
Applicant: 重庆大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: F16B13/00
CPC classification number: F16B13/00
Abstract: 一种基于拉胀弹性变形的双螺母螺杆式固定连接器，其包括一个胀紧螺杆、一个胀紧套、一个胀紧螺母以及一个胀紧套螺母，该胀紧螺杆具有一个带有外螺纹结构的螺杆操作端以及一个螺杆胀紧端，该螺杆胀紧端呈锥台形，该胀紧套具有一个带有外螺纹结构的套体操作端以及一个套体膨胀端，该套体膨胀端呈锥台形，以使该套体膨胀端对应于该螺杆胀紧端且该螺杆胀紧端容纳于该套体膨胀端，该套体操作端对应于该螺杆操作端且该螺杆操作端容纳于该套体操作端，该膨胀套具有至少两个槽，其设置在该套体膨胀端，该膨胀套螺母螺接于该套体操作端的外螺纹机构，该胀紧螺母螺接于该螺杆操作端的外螺纹机构。
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公开(公告)号：CN103810343B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201410062520.5
申请日：2014-02-24
Applicant: 清华大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G06F17/50
Abstract: 一种零件关键工艺表面的创成式精细化表征方法，先对表面进行网格划分形成离散点集合，并基于轮廓公差要求生成带随机偏差的新离散点集合；再将该离散点集合插值成为样条曲面，形成理想表面的一个带轮廓误差的实例；在轮廓误差表面上继续进行高密度网格划分形成离散点集合，并基于粗糙度要求生成带随机偏差的新离散点集合；继续将该离散点集合插值成为样条曲面，形成零件表面的一个带制造误差的精细化表征实例；用新的精细化表面替换零件名义模型上的原表面，可以生成一个原零件模型带制造误差的新实例，重复上述进程能够多次重建带制造误差的零件实例集，这些实例从整体上反映出该零件关键工艺表面的实际工程状态，具有高效、准确、低成本的优点。
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