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公开(公告)号：CN116162806A8
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202310111553.3
申请日：2023-02-14
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司
Abstract: 本发明公开了一种梯度磁场增强的真空蒸馏提纯金属铍的装置，属于半导体材料技术，包括真空室（15），所述真空室（15）内从上至下依次设置衬底基座（3）、收集器（9）和蒸馏炉（6），所述蒸馏炉（6）内设置坩埚（8），在所述收集器（9）与坩埚（8）之间还设置有永磁体（4）和水冷屏蔽板（5），所述水冷屏蔽板（5）位于永磁体（4）与坩埚（8）之间，其中，所述永磁体（4）为非对称磁极，本发明还公开了采用上述装置进行提纯铍的方法；本发明通过设置梯度磁场，能够将金属铍中的Fe元素含量降至5ppm以下，Mn元素含量降低至3ppm以下，并且能将Cr和Ni元素含量降至0.5ppm以下，大大提高了金属铍的纯度，并降低了粗铍的提纯成本。
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公开(公告)号：CN106363259B
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201610878532.4
申请日：2016-10-09
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供了一种电火花打孔装置，涉及精密加工领域。该电火花打孔装置包括供电电路、电极针、三维位移负压吸附组件和压电陶瓷驱动组件。供电电路的一端与电极针相连，供电电路的另一端与工件相连。三维位移负压吸附组件用于固定工件，压电陶瓷驱动组件驱动电极针在工件上打孔。本发明提供的电火花打孔装置结构简单，操作方便，成本低，可用于易碎空心微球、箔材、板材和实心微球的微孔加工。
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公开(公告)号：CN106967964B
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN201710342715.9
申请日：2017-05-16
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: C23C16/505
Abstract: 本发明公开了一种掺铍的碳氢涂层的制备方法，其步骤为：氢气在射频电感放电激发下电离形成氢等离子体，另一路氢气作为载气，经过预先加热后进入源瓶，携带有机铍蒸汽进入所述氢等离子体中心，所述有机铍在所述氢等离子体中，被打断成铍和碳氢片段，所述铍和碳氢片段共沉积在基底上，得到掺铍的碳氢涂层；还公开了用于制备该掺铍的碳氢涂层的装置；本方法通过共沉积铍和碳氢片段，形成均一的、无定形的掺铍的碳氢聚合物涂层材料，该材料作为激光聚变能源研究中的烧蚀层材料，该材料具有高X射线透过率、高烧蚀稳定性等优点。
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公开(公告)号：CN110129753A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910446045.4
申请日：2019-05-27
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种能及时排屑的微球涂层装置，包括真空室、磁控靶枪和涂层盘，所述涂层盘包括同轴设置的外筒体和内转台；所述外筒体水平固定在真空室内，所述内转台为上小下大的圆锥体形，底部设有磁力耦合器，所述磁力耦合器用于耦合位于真空室外的电机，驱动内转台其内转台的中心轴旋转；内转台底部不与底板接触，内转台边沿与环形体内壁不接触并形成一环形沟槽，所述环形沟槽间隙小于微球直径。本发明突破传统实心涂层盘渣屑去除技术局限，采用了同轴设置但存在一定间隙的外筒体和内转台、再配合拨片的结构。不但可以长时、均匀地涂层，而且能及时地排屑，避免屑与微球发生粘连，从而提升微球涂层质量，缩短制靶周期。
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公开(公告)号：CN108977789A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201811047875.1
申请日：2018-09-07
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: C23C14/50
Abstract: 本发明提供了一种反弹盘装置以及微球涂层系统，其包括有公转盘以及自转盘，自转盘安装在公转盘上，自转盘的转动轴线与公转盘的中轴线偏心设置，自转盘用于安装石英盘。该反弹盘装置在使用过程中转动的线路多样化，进而使得微球在涂层过程中转动更加合理，提高微球涂层的均匀性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107142449A
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：CN201710307426.5
申请日：2017-05-04
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
CPC classification number: C23C14/028 , B24B1/00 , C23C14/0005 , C23C14/16 , C23C14/24
Abstract: 本发明公开了一种高精度极小尺寸自支撑铍薄膜的制备方法，依次包括以下步骤：在铜块体表面加工出高精度的台阶；精细研磨铜台阶端面粗糙度至纳米量级；在铜台阶端面蒸发沉积铝薄膜；在铝薄膜表面沉积铍薄膜；采用NaOH溶液反应去除铝薄膜衬底，得到高精度极小尺寸自支撑铍薄膜；本发明极大提高了极小尺寸自支撑铍薄膜的尺寸精度，精度可达1μm；并且所得的自支撑铍薄膜表面光滑，无砂眼，形状规则，质量优良。
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公开(公告)号：CN112198096A
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN202011070070.6
申请日：2020-09-30
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N15/06
Abstract: 本发明公开一种铍粉尘浓度在线监测设备及其监测方法，该设备包括大气采样器、粉尘浓缩器、石英炬管、光纤光谱仪、四级杆滤质器、数据采集与处理单元、蓄电池和显示器。上述设备进行铍粉尘在线监测的方法为：首先大气采样器进行大气样本采集，之后将大气样本送入石英炬管内进行电离，然后利用光纤光谱仪和四级杆滤质器对电离后的大气样本进行测量分析，最后在数据采集与处理单元进行铍粉尘浓度计算，在低浓度铍粉尘环境中监测时，需在石英矩管前增加粉尘浓缩器。本发明公开的设备体积小，移动方便，可实现涉铍场所铍浓度的在线监测，在含铍粉尘浓度较高和含铍粉尘浓度较低的环境中均能通用；本发明公开的方法操作简单，监测铍粉尘浓度下限可达0.078μg/m3。
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公开(公告)号：CN108977789B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201811047875.1
申请日：2018-09-07
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: C23C14/50
Abstract: 本发明提供了一种微球涂层系统，其包括有公转盘以及自转盘，自转盘安装在公转盘上，自转盘的转动轴线与公转盘的中轴线偏心设置，自转盘用于安装石英盘。该反弹盘装置在使用过程中转动的线路多样化，进而使得微球在涂层过程中转动更加合理，提高微球涂层的均匀性。
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公开(公告)号：CN106694905B
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201710123461.1
申请日：2017-03-03
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种纳米铍粉的制备方法及制备装置，属于铍粉制备技术领域，采用的方法为：采用载气将有机铍醚合物蒸气从源瓶通过管道输送到已加热恒温的矿物油中；有机铍醚合物气态分子在矿物油中热解生成BeH2，副产物异丁烯、乙醚作为尾气排出；在矿物油中，BeH2再热解脱氢生成铍；分离矿物油，并干燥得到纳米铍粉，本发明的制备装置包括源瓶、反应瓶、鼓泡瓶和冷凝装置，所述源瓶与所述反应瓶连接，所述源瓶还与一进气管连通，所述反应瓶还与所述冷凝装置连通，所述冷凝装置的另一端通过第二管道与所述鼓泡瓶连通；本发明制备得到的铍粉，其直径更小，小于65 nm；碳杂质含量低，低于0.2 at%，最终得到的铍粉金属杂质总量小于12 ppm。
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公开(公告)号：CN106967964A
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201710342715.9
申请日：2017-05-16
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: C23C16/505
CPC classification number: C23C16/505
Abstract: 本发明公开了一种掺铍的碳氢涂层的制备方法，其步骤为：氢气在射频电感放电激发下电离形成氢等离子体，另一路氢气作为载气，经过预先加热后进入源瓶，携带有机铍蒸汽进入所述氢等离子体中心，所述有机铍在所述氢等离子体中，被打断成铍和碳氢片段，所述铍和碳氢片段共沉积在基底上，得到掺铍的碳氢涂层；还公开了用于制备该掺铍的碳氢涂层的装置；本方法通过共沉积铍和碳氢片段，形成均一的、无定形的掺铍的碳氢聚合物涂层材料，该材料作为激光聚变能源研究中的烧蚀层材料，该材料具有高X射线透过率、高烧蚀稳定性等优点。
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