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公开(公告)号：CN116617875A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310669683.9
申请日：2023-06-07
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种具有低温开裂特性的复合膜制备方法，包括：取一定量易成模高分子聚合物加入四氢呋喃溶剂中，超声处理并搅拌，得到聚合物成膜液；将含有圆孔的金属网固定在玻璃基片上，使金属网与玻璃基片紧密贴合；将玻璃基片固定在旋转涂膜机上，设置旋转涂膜机转速和旋转时间，取一定量聚合物成膜液滴在金属网中央，运行旋转涂膜机，待旋转涂膜机停止后金属网上形成均匀聚合物薄膜，即金属‑聚合物复合膜；将金属‑聚合物复合膜放置2h以上，将金属‑聚合物复合膜从玻璃基片上取下，金属‑聚合物复合膜即为具有低温开裂特性复合膜。本发明制得低温开裂特性复合膜可作为吸潮材料吸收水汽的温度响应开关，还可用于不同种类气体的分离与混合。
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公开(公告)号：CN116162806A8
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202310111553.3
申请日：2023-02-14
摘要： 本发明公开了一种梯度磁场增强的真空蒸馏提纯金属铍的装置，属于半导体材料技术，包括真空室（15），所述真空室（15）内从上至下依次设置衬底基座（3）、收集器（9）和蒸馏炉（6），所述蒸馏炉（6）内设置坩埚（8），在所述收集器（9）与坩埚（8）之间还设置有永磁体（4）和水冷屏蔽板（5），所述水冷屏蔽板（5）位于永磁体（4）与坩埚（8）之间，其中，所述永磁体（4）为非对称磁极，本发明还公开了采用上述装置进行提纯铍的方法；本发明通过设置梯度磁场，能够将金属铍中的Fe元素含量降至5ppm以下，Mn元素含量降低至3ppm以下，并且能将Cr和Ni元素含量降至0.5ppm以下，大大提高了金属铍的纯度，并降低了粗铍的提纯成本。
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公开(公告)号：CN106363259B
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201610878532.4
申请日：2016-10-09
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明提供了一种电火花打孔装置，涉及精密加工领域。该电火花打孔装置包括供电电路、电极针、三维位移负压吸附组件和压电陶瓷驱动组件。供电电路的一端与电极针相连，供电电路的另一端与工件相连。三维位移负压吸附组件用于固定工件，压电陶瓷驱动组件驱动电极针在工件上打孔。本发明提供的电火花打孔装置结构简单，操作方便，成本低，可用于易碎空心微球、箔材、板材和实心微球的微孔加工。
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公开(公告)号：CN112198096A
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN202011070070.6
申请日：2020-09-30
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： G01N15/06
摘要： 本发明公开一种铍粉尘浓度在线监测设备及其监测方法，该设备包括大气采样器、粉尘浓缩器、石英炬管、光纤光谱仪、四级杆滤质器、数据采集与处理单元、蓄电池和显示器。上述设备进行铍粉尘在线监测的方法为：首先大气采样器进行大气样本采集，之后将大气样本送入石英炬管内进行电离，然后利用光纤光谱仪和四级杆滤质器对电离后的大气样本进行测量分析，最后在数据采集与处理单元进行铍粉尘浓度计算，在低浓度铍粉尘环境中监测时，需在石英矩管前增加粉尘浓缩器。本发明公开的设备体积小，移动方便，可实现涉铍场所铍浓度的在线监测，在含铍粉尘浓度较高和含铍粉尘浓度较低的环境中均能通用；本发明公开的方法操作简单，监测铍粉尘浓度下限可达0.078μg/m3。
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公开(公告)号：CN108977789B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201811047875.1
申请日：2018-09-07
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： C23C14/50
摘要： 本发明提供了一种微球涂层系统，其包括有公转盘以及自转盘，自转盘安装在公转盘上，自转盘的转动轴线与公转盘的中轴线偏心设置，自转盘用于安装石英盘。该反弹盘装置在使用过程中转动的线路多样化，进而使得微球在涂层过程中转动更加合理，提高微球涂层的均匀性。
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公开(公告)号：CN106694905B
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201710123461.1
申请日：2017-03-03
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种纳米铍粉的制备方法及制备装置，属于铍粉制备技术领域，采用的方法为：采用载气将有机铍醚合物蒸气从源瓶通过管道输送到已加热恒温的矿物油中；有机铍醚合物气态分子在矿物油中热解生成BeH2，副产物异丁烯、乙醚作为尾气排出；在矿物油中，BeH2再热解脱氢生成铍；分离矿物油，并干燥得到纳米铍粉，本发明的制备装置包括源瓶、反应瓶、鼓泡瓶和冷凝装置，所述源瓶与所述反应瓶连接，所述源瓶还与一进气管连通，所述反应瓶还与所述冷凝装置连通，所述冷凝装置的另一端通过第二管道与所述鼓泡瓶连通；本发明制备得到的铍粉，其直径更小，小于65 nm；碳杂质含量低，低于0.2 at%，最终得到的铍粉金属杂质总量小于12 ppm。
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公开(公告)号：CN106967964A
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201710342715.9
申请日：2017-05-16
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： C23C16/505
CPC分类号： C23C16/505
摘要： 本发明公开了一种掺铍的碳氢涂层的制备方法，其步骤为：氢气在射频电感放电激发下电离形成氢等离子体，另一路氢气作为载气，经过预先加热后进入源瓶，携带有机铍蒸汽进入所述氢等离子体中心，所述有机铍在所述氢等离子体中，被打断成铍和碳氢片段，所述铍和碳氢片段共沉积在基底上，得到掺铍的碳氢涂层；还公开了用于制备该掺铍的碳氢涂层的装置；本方法通过共沉积铍和碳氢片段，形成均一的、无定形的掺铍的碳氢聚合物涂层材料，该材料作为激光聚变能源研究中的烧蚀层材料，该材料具有高X射线透过率、高烧蚀稳定性等优点。
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公开(公告)号：CN106694905A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201710123461.1
申请日：2017-03-03
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种纳米铍粉的制备方法及制备装置，属于铍粉制备技术领域，采用的方法为：采用载气将有机铍醚合物蒸气从源瓶通过管道输送到已加热恒温的矿物油中；有机铍醚合物气态分子在矿物油中热解生成BeH2，副产物异丁烯、乙醚作为尾气排出；在矿物油中，BeH2再热解脱氢生成铍；分离矿物油，并干燥得到纳米铍粉，本发明的制备装置包括源瓶、反应瓶、鼓泡瓶和冷凝装置，所述源瓶与所述反应瓶连接，所述源瓶还与一进气管连通，所述反应瓶还与所述冷凝装置连通，所述冷凝装置的另一端通过第二管道与所述鼓泡瓶连通；本发明制备得到的铍粉，其直径更小，小于65 nm；碳杂质含量低，低于0.2 at%，最终得到的铍粉金属杂质总量小于12 ppm。
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公开(公告)号：CN105177508A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510665321.8
申请日：2015-10-16
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明提供了一种氢化铍涂层材料的制备方法及装置。本发明通过射频原子源，将氢气离化形成活性氢原子射流，与蒸发的铍原子在气相中或者基片上发生氢化反应生成氢化铍沉积在基片上。采用离化源，使不与铍原子反应的氢分子离化成高活性的氢自由基，氢自由基易与蒸发铍原子氢化反应，生成氢化铍沉积在基片上。所述的装置有效的屏蔽了高能量电子、离子、蒸发源热辐射对样品的损伤。本发明只采用了铍、氢两种元素作为反应原料，不会引入其它杂质，因此可以制备高纯度的氢化铍材料。
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公开(公告)号：CN106967964B
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN201710342715.9
申请日：2017-05-16
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： C23C16/505
摘要： 本发明公开了一种掺铍的碳氢涂层的制备方法，其步骤为：氢气在射频电感放电激发下电离形成氢等离子体，另一路氢气作为载气，经过预先加热后进入源瓶，携带有机铍蒸汽进入所述氢等离子体中心，所述有机铍在所述氢等离子体中，被打断成铍和碳氢片段，所述铍和碳氢片段共沉积在基底上，得到掺铍的碳氢涂层；还公开了用于制备该掺铍的碳氢涂层的装置；本方法通过共沉积铍和碳氢片段，形成均一的、无定形的掺铍的碳氢聚合物涂层材料，该材料作为激光聚变能源研究中的烧蚀层材料，该材料具有高X射线透过率、高烧蚀稳定性等优点。
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